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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体输送,具体为一种防堵塞的气体流量控制装置及方法。
技术介绍
1、气体输送是指借助气体的流动将气体从一处输送到另一处的过程,气体质量流量控制器用于对气体质量流量进行精密测量及控制,它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
2、现有的相关技术,往往存在以下缺陷:采用传统结构的压力式气体流量控制器一般由限流器、比例阀、压力传感器以及转速固定的泵组成,其中,比例阀需进口采购,这使得其价格高昂,成本大幅增加,而且,在恶劣环境下,比例阀易被气体中的杂质堵塞,报废率居高不下,维修也极为困难,同时,其调节方式较为单一,难以满足日益多样化的实际需求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种防堵塞的气体流量控制装置及方法,其调节方式多样化,而且成本低廉,同时能够对气体中的杂质进行过滤,延长装置中阀件的使用寿命。
2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种防堵塞的气体流量控制装置,包括泵体、过滤箱和汇流箱,所述汇流箱的一侧连通设置有罩壳,所述罩壳的另一侧连通设置有出管,所述出管的表面固定有气压检测模块,所述泵体的出口连通设置有进管,所述进管的另一端与过滤箱相互连通,所述过滤箱的底部开设有底槽,所述过滤箱的内部和底部设置有过滤机构,所述过滤箱的另一侧连通设置有连管,所述连管的另一端连通设置有电磁阀,所述电磁阀的另一端连通设置有输管,所述电磁阀的表面设置有支撑组件,所述输
3、优选的,所述过滤机构包括液压杆、连板、封堵板和过滤网,所述连板与液压杆的输出轴栓接,所述封堵板栓接在连板的顶部,所述过滤网固定在封堵板的顶部。
4、优选的,所述封堵板表面的两侧还粘接设置有密封垫,所述密封垫的长度与封堵板的长度相同。
5、优选的,所述底槽的内壁呈t字形设计,且封堵板的形状与底槽内壁的形状相同。
6、优选的,所述驱动机构包括驱动电机、驱动杆、螺纹套、移动板、纵杆、滑套和限位组件,所述驱动电机栓接在顶罩的内部,所述驱动杆与顶罩的内壁转动连接,所述螺纹套与驱动杆的表面螺纹连接,所述移动板与螺纹套栓接,所述纵杆栓接在移动板的底部,所述滑套贯穿设置在调节箱顶部的表面,所述纵杆与滑套的内壁滑动连接,所述纵杆的底端与调节板栓接,所述驱动电机的输出轴与驱动杆通过皮带传动连接。
7、优选的,所述限位组件由第一限位开关、支板和第二限位开关构成,所述第一限位开关栓接在顶罩内腔的顶部,所述支板栓接在顶罩内腔的底部,所述第二限位开关栓接在支板的顶部,所述第一限位开关和第二限位开关均与驱动电机电连接。
8、优选的,所述滑套的上下两侧均粘接有弹性环,且纵杆与弹性环的内圈滑动连接。
9、优选的,所述支撑组件由竖板、横板和支撑块构成,所述竖板的数量为两组,所述横板栓接在两侧所述竖板相对的一侧,所述支撑块栓接在横板的顶部。
10、优选的,所述通孔的内径与通管的内径相同,所述调节板的宽度大于通孔的内径。
11、一种防堵塞的气体流量控制方法,其方法包括如下步骤:
12、步骤a:首先开启泵体,气体经过泵体的入口进入,然后经过进管进入过滤箱中,气体进入过滤箱后,穿过过滤箱中的过滤网,过滤网能够对气体中的杂质进行过滤;
13、步骤b:同时开启电磁阀,使相对应的连管处于开放的状态,如果需要调节大流量,便可打开更多的电磁阀,使更多的连管处于通畅的状态,增加气体流量,如果需要调节小流量,只需开启少量的电磁阀,使少量的连管处于通畅的状态,减少气体流量,此过程中实现对气体流量进行粗调节的效果;
14、步骤c:气体经过电磁阀和输管进入调节箱中,开启驱动电机带动驱动杆旋转,从而使移动板和纵杆带动调节板下降,改变通孔开口的大小,即改变通孔的流量,实现细调节;
15、步骤d:气体经过调节箱、通管、汇流箱、罩壳和出管后,实现对气体的调节输送;
16、步骤e:在输送工作结束后,便可开启液压杆使其输出轴收缩,来带动连板和封堵板下降,使过滤网置于外侧,方便进行清理。
17、与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下:
18、本专利技术通过开启或关闭电磁阀,可以控制相应数量的连管和输管处于关闭或开放的状态,从而实现对气体流量大小的粗调节,这种方式操作简便,能够快速地在较大范围内调整气体流量,同时,当需要进行更为精细的流量调节时,可以开启驱动电机,驱动电机带动驱动杆旋转,使驱动杆表面的螺纹套带动移动板下降,移动板通过纵杆进一步带动调节板下降,对通孔的大小进行调节,这样一来,就可以精确地改变通孔的流量,实现对气体流量的细调节,无论是在对气体流量精度要求较高的科研实验中,还是在工业生产的精确控制环节,这种精细调节功能都具有极大的实用价值,此外,本专利技术还考虑到了气体中可能存在的杂质问题,在气体流经的通道中设置了过滤网,能够有效地对气体中的杂质进行过滤,这不仅可以保证气体的纯净度,避免杂质对后续设备或工艺造成不良影响,还能提高整个气体输送系统的稳定性和可靠性,而在气体输送工作结束后,可开启液压杆,使其输出轴收缩,液压杆的收缩会带动连板、封堵板和过滤网下降,使过滤网位于外侧,这样的设计非常人性化,方便工作人员对过滤网表面的杂质进行清洁,过滤网的可清洁性确保了其在长期使用过程中能够始终保持良好的过滤效果,延长了过滤网的使用寿命,降低了设备的维护成本,同时,也使得整个气体输送系统能够持续稳定地运行,为各种应用场景提供可靠的气体供应。
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1.一种防堵塞的气体流量控制装置,包括泵体(1)、过滤箱(2)和汇流箱(3),其特征在于:所述汇流箱(3)的一侧连通设置有罩壳(6),所述罩壳(6)的另一侧连通设置有出管(4),所述出管(4)的表面固定有气压检测模块(5),所述泵体(1)的出口连通设置有进管(7),所述进管(7)的另一端与过滤箱(2)相互连通,所述过滤箱(2)的底部开设有底槽(8),所述过滤箱(2)的内部和底部设置有过滤机构(9),所述过滤箱(2)的另一侧连通设置有连管(10),所述连管(10)的另一端连通设置有电磁阀(11),所述电磁阀(11)的另一端连通设置有输管(13),所述电磁阀(11)的表面设置有支撑组件(12),所述输管(13)的另一端连通设置有调节箱(14),所述调节箱(14)的顶部栓接有顶罩(15),所述顶罩(15)的内壁栓接有固定板(16),所述固定板(16)的表面贯穿开设有通孔(17),所述调节箱(14)另一侧连通设置有通管(19),所述通管(19)的另一端与汇流箱(3)相互连通,所述固定板(16)的表面滑动设置有调节板(18),所述顶罩(15)的内部设置有驱动机构(20)。
2.
3.根据权利要求2所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述封堵板(93)表面的两侧还粘接设置有密封垫(95),所述密封垫(95)的长度与封堵板(93)的长度相同。
4.根据权利要求2所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述底槽(8)的内壁呈T字形设计,且封堵板(93)的形状与底槽(8)内壁的形状相同。
5.根据权利要求1所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述驱动机构(20)包括驱动电机(201)、驱动杆(202)、螺纹套(203)、移动板(204)、纵杆(205)、滑套(206)和限位组件(208),所述驱动电机(201)栓接在顶罩(15)的内部,所述驱动杆(202)与顶罩(15)的内壁转动连接,所述螺纹套(203)与驱动杆(202)的表面螺纹连接,所述移动板(204)与螺纹套(203)栓接,所述纵杆(205)栓接在移动板(204)的底部,所述滑套(206)贯穿设置在调节箱(14)顶部的表面,所述纵杆(205)与滑套(206)的内壁滑动连接,所述纵杆(205)的底端与调节板(18)栓接,所述驱动电机(201)的输出轴与驱动杆(202)通过皮带传动连接。
6.根据权利要求5所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述限位组件(208)由第一限位开关(2081)、支板(2082)和第二限位开关(2083)构成,所述第一限位开关(2081)栓接在顶罩(15)内腔的顶部,所述支板(2082)栓接在顶罩(15)内腔的底部,所述第二限位开关(2083)栓接在支板(2082)的顶部,所述第一限位开关(2081)和第二限位开关(2083)均与驱动电机(201)电连接,所述滑套(206)的上下两侧均粘接有弹性环(207),且纵杆(205)与弹性环(207)的内圈滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述支撑组件(12)由竖板(121)、横板(122)和支撑块(123)构成,所述竖板(121)的数量为两组,所述横板(122)栓接在两侧所述竖板(121)相对的一侧,所述支撑块(123)栓接在横板(122)的顶部。
8.根据权利要求1所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述通孔(17)的内径与通管(19)的内径相同,所述调节板(18)的宽度大于通孔(17)的内径。
9.一种防堵塞的气体流量控制方法,其特征在于:其方法包括如下步骤:
...【技术特征摘要】
1.一种防堵塞的气体流量控制装置,包括泵体(1)、过滤箱(2)和汇流箱(3),其特征在于:所述汇流箱(3)的一侧连通设置有罩壳(6),所述罩壳(6)的另一侧连通设置有出管(4),所述出管(4)的表面固定有气压检测模块(5),所述泵体(1)的出口连通设置有进管(7),所述进管(7)的另一端与过滤箱(2)相互连通,所述过滤箱(2)的底部开设有底槽(8),所述过滤箱(2)的内部和底部设置有过滤机构(9),所述过滤箱(2)的另一侧连通设置有连管(10),所述连管(10)的另一端连通设置有电磁阀(11),所述电磁阀(11)的另一端连通设置有输管(13),所述电磁阀(11)的表面设置有支撑组件(12),所述输管(13)的另一端连通设置有调节箱(14),所述调节箱(14)的顶部栓接有顶罩(15),所述顶罩(15)的内壁栓接有固定板(16),所述固定板(16)的表面贯穿开设有通孔(17),所述调节箱(14)另一侧连通设置有通管(19),所述通管(19)的另一端与汇流箱(3)相互连通,所述固定板(16)的表面滑动设置有调节板(18),所述顶罩(15)的内部设置有驱动机构(20)。
2.根据权利要求1所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述过滤机构(9)包括液压杆(91)、连板(92)、封堵板(93)和过滤网(94),所述连板(92)与液压杆(91)的输出轴栓接,所述封堵板(93)栓接在连板(92)的顶部,所述过滤网(94)固定在封堵板(93)的顶部。
3.根据权利要求2所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述封堵板(93)表面的两侧还粘接设置有密封垫(95),所述密封垫(95)的长度与封堵板(93)的长度相同。
4.根据权利要求2所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特征在于:所述底槽(8)的内壁呈t字形设计,且封堵板(93)的形状与底槽(8)内壁的形状相同。
5.根据权利要求1所述的一种防堵塞的气体流量控制装置,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:林广森,开彪,范艳喜,
申请(专利权)人:深圳市山孟科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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