【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，具体涉及一种真空腔体观察窗的挡板结构。
技术介绍
1、在真空镀膜的过程中，观察窗挡板扮演着重要的角色。它可以有效地保护操作员的视线，减少由于材料飞溅或者突然的亮度变化导致的眼部损伤。真空观察窗挡板的手驱动结构设计可以在不需要打破真空的情况下打开或者关闭，这有助于节省时间并提高生产效率。挡板也可以有效的减少观察窗玻璃上的物质沉积，确保视窗的清晰度和寿命。
2、一般情况下，大气侧的手柄通过磁流体与真空侧的挡板直接连接，通过摇动手柄驱动磁流体转动挡板，从而达到开启和关闭挡板的效果。真空镀膜等工艺过程中往往需要高温的环境，由于观察窗挡板与磁流体直接连接，挡板上的热量会通过挡板与磁流体的连接处直接传导至磁流体，从而导致磁流体温度升高。磁流体耐热性相对较差，温度过高的时候就需要给磁流体增加冷却管道，从而增加成本。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单，能减少热量传递，避免增设冷却管道，降低生产成本的真空腔体观察窗的挡板结构。
2、为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
3、一种真空腔体观察窗的挡板结构，包括用于遮挡观察窗的挡板，所述挡板可摆动地设于真空腔体内侧，所述挡板靠近腔壁的一侧设有凹槽，所述凹槽内配设有拨杆，所述拨杆连接有用于使拨杆摆动的摆动机构，所述摆动机构穿过腔壁延伸至真空腔外侧，并通过磁流体与腔壁密封，所述凹槽的宽度大于拨杆的宽度。
4、作为上述技术方案的进一步改进：
5、所述摆动机构包括摆动杆，所述摆动杆一端与拨杆连接，另一端与旋转轴连接，所述旋转轴的另一端依次穿过腔壁和磁流体。
6、所述旋转轴于真空腔体外侧的一端设有摇柄。
7、所述真空腔体外侧设有连接法兰，所述磁流体与连接法兰连接，所述旋转轴穿设于连接法兰中并可相对连接法兰转动。
8、所述磁流体与连接法兰之间设有密封圈。
9、所述摆动杆上设有配重块。
10、所述凹槽顶部两侧均设有锁止弯，所述锁止弯用于将暂锁拨杆。
11、所述挡板包括挡板本体，所述挡板本体靠近观察窗的一侧设有遮挡檐。
12、所述挡板本体呈梨形，底部与观察窗对应，所述凹槽和摆动机构位于观察窗的上方。
13、所述真空腔体的腔壁上设有挂杆，所述挡板与挂杆转动连接。
14、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
15、本技术公开的真空腔体观察窗的挡板结构，需要观察真空腔体内情况时，摆动机构带动拨杆摆动，拨杆抵住凹槽侧壁，从而带动挡板摆动，露出真空窗，观察完毕后，摆动机构带动拨杆反向摆动，使挡板复位，又凹槽的宽度大于拨杆的宽度，故在挡板在自然关闭状态时，拨杆与凹槽的侧壁之间留有间隙，不会直接接触，进而减少了真空腔体内的热量传递至磁流体，避免磁流体因温度太高需要另外增设冷却管道，降低了生产成本。
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1.一种真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：包括用于遮挡观察窗的挡板(1)，所述挡板(1)可摆动地设于真空腔体内侧，所述挡板(1)靠近腔壁的一侧设有凹槽(11)，所述凹槽(11)内配设有拨杆(2)，所述拨杆(2)连接有用于使拨杆(2)摆动的摆动机构(3)，所述摆动机构(3)穿过腔壁延伸至真空腔外侧，并通过磁流体(4)与腔壁密封，所述凹槽(11)的宽度大于拨杆(2)的宽度。
2.根据权利要求1所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述摆动机构(3)包括摆动杆(31)，所述摆动杆(31)一端与拨杆(2)连接，另一端与旋转轴(32)连接，所述旋转轴(32)的另一端依次穿过腔壁和磁流体(4)。
3.根据权利要求2所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述旋转轴(32)于真空腔体外侧的一端设有摇柄(33)。
4.根据权利要求2所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述真空腔体外侧设有连接法兰(5)，所述磁流体(4)与连接法兰(5)连接，所述旋转轴(32)穿设于连接法兰(5)中并可相对连接法兰(5)转动。
5.根据权利要求4
6.根据权利要求2所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述摆动杆(31)上设有配重块(7)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述凹槽(11)顶部两侧均设有锁止弯(111)，所述锁止弯(111)用于将暂锁拨杆(2)。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述挡板(1)包括挡板本体(12)，所述挡板本体(12)靠近观察窗的一侧设有遮挡檐(13)。
9.根据权利要求8所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述挡板本体(12)呈梨形，底部与观察窗对应，所述凹槽(11)和摆动机构(3)位于观察窗的上方。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述真空腔体的腔壁上设有挂杆(14)，所述挡板(1)与挂杆(14)转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：包括用于遮挡观察窗的挡板(1)，所述挡板(1)可摆动地设于真空腔体内侧，所述挡板(1)靠近腔壁的一侧设有凹槽(11)，所述凹槽(11)内配设有拨杆(2)，所述拨杆(2)连接有用于使拨杆(2)摆动的摆动机构(3)，所述摆动机构(3)穿过腔壁延伸至真空腔外侧，并通过磁流体(4)与腔壁密封，所述凹槽(11)的宽度大于拨杆(2)的宽度。
2.根据权利要求1所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述摆动机构(3)包括摆动杆(31)，所述摆动杆(31)一端与拨杆(2)连接，另一端与旋转轴(32)连接，所述旋转轴(32)的另一端依次穿过腔壁和磁流体(4)。
3.根据权利要求2所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述旋转轴(32)于真空腔体外侧的一端设有摇柄(33)。
4.根据权利要求2所述的真空腔体观察窗的挡板结构，其特征在于：所述真空腔体外侧设有连接法兰(5)，所述磁流体(4)与连接法兰(5)连接，所述旋转轴(32)穿设于连接法兰(5)中并可相对连接法兰(...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁伟，袁祖浩，李勇，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：新型
国别省市：
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