【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及mems气体传感器测试，具体是基于socket的mems气体传感器批量测试系统及方法。
技术介绍
1、mems气体传感器是一种常见的气体检测设备，广泛应用于各种领域和应用场景，例如室内空气质量监测、工业安全监测、火灾预警系统以及医疗应用。为了保证mems气体传感器的性能和可靠性，并在生产过程中有效筛选出优劣品，需要对其进行全面且准确的测试。当前，有专利公开了一种半导体气体传感器电气性能检测系统，该系统通过集成多个测试插孔，实现了对多个半导体气体传感器的批量检测，但是，这种系统主要适用于to封装的气体传感器，其结构特点并不完全适用于mems气体传感器，导致在检测mems气体传感器方面存在精准度不足的问题。
技术实现思路
1、针对上述缺陷，本专利技术提出了基于socket的mems气体传感器批量测试系统及方法，目的在于解决现有的半导体气体传感器电气性能检测系统通过集成多个测试插孔，实现对多个半导体气体传感器的批量检测，但这种系统主要适用于to封装的气体传感器，其结构特点并不完全适用于mems气体传感器的问题。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、基于socket的mems气体传感器批量测试系统，包括若干测试底板、上位机模块和数据显示模块，所述测试底板上设置有单片机主控模块、若干socket插座模块、多路复用模块、通讯模块以及隔离运放模块；
4、若干所述socket插座模块均与所述多路复用模块的输入端电连接，所述多路复用模块
5、相邻两个所述测试底板上的通讯模块之间相互电连接，若干所述测试底板上的单片机主控模块均与所述上位机模块通讯连接，所述数据显示模块与所述上位机模块通讯连接。
6、优选地，所述测试底板上还设置有串口转换模块，所述串口转换模块的输入端电连接于所述单片机主控模块的输出端，所述串口转换模块的输出端电连接于电连接于所述上位机模块的输入端。
7、优选地，所述测试底板上还设置有电源模块，所述电源模块用于给所述单片机主控模块、所述socket插座模块、所述多路复用模块、所述通讯模块、所述隔离运放模块以及所述串口转换模块供电。
8、本申请的另一方面提供了基于socket的mems气体传感器批量测试方法，所述方法包括以下步骤：
9、步骤s1：将若干待测试的mems气体传感器分别接入所述测试底板上对应的socket插座模块；
10、步骤s2：启动所述电源模块，以给所述单片机主控模块、所述socket插座模块、所述多路复用模块、所述通讯模块、所述隔离运放模块以及所述串口转换模块供电；
11、步骤s3：若干待测试的mems气体传感器将各自采集到的气体数据的模拟信号传输至所述多路复用模块，所述多路复用模块采集若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的模拟信号；
12、步骤s4：将若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的模拟信号传输至所述隔离运放模块进行放大和调理，得到处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的模拟信号；
13、步骤s5：将处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的模拟信号输入所述单片机主控模块，所述单片机主控模块接收若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的模拟信号，并对若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的模拟信号进行模/数转换，得到若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值，以及处理若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值，输出处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值；
14、步骤s6：将处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值通过所述串口转换模块传输至所述上位机模块，所述上位机模块接收和分析处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值，得到若干待测试的mems气体传感器的输出特性曲线；
15、步骤s7：将若干待测试的mems气体传感器的输出特性曲线通过所述数据显示模块进行显示，以完成若干待测试的mems气体传感器的测试。
16、优选地，在步骤s5中，所述单片机主控模块处理若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值，具体包括以下子步骤：
17、步骤s51：在所述单片机主控模块内构建数据储存库；
18、步骤s52：将若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值依次储存于所述数据储存库。
19、优选地，在步骤s6中，所述上位机模块分析处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值，得到若干待测试的mems气体传感器的输出特性曲线，具体包括以下子步骤：
20、步骤s61：分别对处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值进行转换，得到对应的转换值，其中，待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始adc值转换公式如下：
21、
22、其中，rref表示电阻值；s表示adc的最大值；
23、步骤s62：根据对应的转换值，生成相应的输出特性曲线。
24、本申请实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
25、本方案中通过在所述测试底板设置若干socket插座模块，将若干待测试的mems气体传感器接入对应的socket插座模块，并在多路复用模块、通讯模块、隔离运放模块、上位机模块和数据显示模块的相互配合下，实现对多个mems气体传感器的批量检测。相比于现有的适用于to封装气体传感器的测试插孔，本方案采用socket插座模块，拥有与mems气体传感器芯片上的各种接口相匹配的结构特点，具有更高的兼容性和稳定性，能够确保mems气体传感器芯片能够稳定、可靠地连接到测试系统中，减少因接口不匹配或接触不良而导致的测试误差，进一步提高了mems气体传感器检测的精准度。
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1.基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：包括若干测试底板、上位机模块和数据显示模块，所述测试底板上设置有单片机主控模块、若干socket插座模块、多路复用模块、通讯模块以及隔离运放模块；
2.根据权利要求1所述的基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：所述测试底板上还设置有串口转换模块，所述串口转换模块的输入端电连接于所述单片机主控模块的输出端，所述串口转换模块的输出端电连接于电连接于所述上位机模块的输入端。
3.根据权利要求2所述的基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：所述测试底板上还设置有电源模块，所述电源模块用于给所述单片机主控模块、所述socket插座模块、所述多路复用模块、所述通讯模块、所述隔离运放模块以及所述串口转换模块供电。
4.基于socket的mems气体传感器批量测试方法，应用于如权利要求1-3任意一项所述基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：所述方法包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的基于socket的mems气
6.根据权利要求5所述的基于socket的mems气体传感器批量测试方法，其特征在于：在步骤S6中，所述上位机模块分析处理后若干待测试的mems气体传感器采集到的气体数据的原始ADC值，得到若干待测试的mems气体传感器的输出特性曲线，具体包括以下子步骤：
...【技术特征摘要】
1.基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：包括若干测试底板、上位机模块和数据显示模块，所述测试底板上设置有单片机主控模块、若干socket插座模块、多路复用模块、通讯模块以及隔离运放模块；
2.根据权利要求1所述的基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：所述测试底板上还设置有串口转换模块，所述串口转换模块的输入端电连接于所述单片机主控模块的输出端，所述串口转换模块的输出端电连接于电连接于所述上位机模块的输入端。
3.根据权利要求2所述的基于socket的mems气体传感器批量测试系统，其特征在于：所述测试底板上还设置有电源模块，所述电源模块用于给所述单片机主控模块、所述socket插座模块、所述多路复用模块、所述通讯模块、所述隔离...
【专利技术属性】
技术研发人员：周清峰，阮俊杰，廖树伟，李涛，
申请(专利权)人：艾感科技广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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