【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于容纳衬底以用于存储及运输，且更具体来说，涉及衬底容器中的薄衬底的支撑系统。
技术介绍
1、许多常规衬底容器(例如前开式统集盒(foup))经配置以从衬底的边缘支撑衬底。但是，随着电子器件变得越来越紧凑及小型化，我们将重点放在减小电子衬底的厚度或提供柔性衬底(例如柔性电子装置及容纳于其内的显示器)上。因此，衬底变得越来越薄，使得其无法在水平定向上从其边缘悬吊时进行自支撑。
2、鉴于上文，需要可支撑柔性衬底的容器系统。
技术实现思路
1、本专利技术大体上涉及用于使柔性衬底维持在实质上平坦状态中的支撑系统。在本文中，“衬底”是具有实质上均匀厚度且在经适当支撑时实质上平坦或希望为实质上平坦的结构。衬底形式包含薄板、平板及层片。衬底可具有任何形状，包含圆形、矩形及多边形。衬底可具有均质或多层材料，例如玻璃、硅、玻璃环氧树脂或薄膜。衬底也可包含材料的组合物，例如掺杂材料(例如掺杂有铜或碳的玻璃环氧树脂)、层压或涂料复合物或其上沉积有涂层的核心材料。衬底的非限制性实例包含用于光刻应用中的主光罩及已由光刻技术处理或部分处理的硅晶片。在本文中，“柔性衬底”是在由其周边或个别点支撑时无法在不施加张力的情况下维持实质上平坦状态的衬底。
2、各种实施例涉及使用foup(例如300mm或450mm foup)来运输、存储及处置具有变化厚度的柔性衬底。一些实施例还涉及在变化工艺或工艺设备之间将柔性衬底转移进及转移出foup。
3、在一个说明性实施例中，一种
4、在一个实施例中，所述悬臂式支撑托架包含经配置以接触由所述支撑托架支撑的衬底的向后边缘的配准壁架。所述支撑托架进一步包含从所述配准壁架向前延伸的突耳特征，所述突耳特征经配置以限制由所述支撑托架支撑的衬底的侧向移动。
5、所述悬臂式支撑托架可包含从所述支撑托架向上延伸的销，所述销经配置以配合由所述悬臂式支撑托架支撑的衬底的配准孔。在优选实施例中，所述销在所述销的远端附近具有锥形轮廓。
6、保持机构可耦合到所述门。在一个实施例中，所述保持机构可经配置以通过在第一方向上将衬底夹紧到所述悬臂式支撑托架而防止所述衬底移动。优选地，所述保持机构经进一步配置以防止由所述支撑框架支撑的衬底在第二方向或不同方向中的至少一者上移动。
7、在另一实施例中，一种衬底容器包括界定开口的壳、经配置以选择性地密封所述开口的门及支撑框架。所述支撑框架包含经配置以支撑衬底的框架及耦合到所述框架的闩锁组合件。所述框架界定内周边及外周边。所述闩锁组合件经配置以选择性地接合由所述框架支撑于所述内周边与所述外周边之间的位置处的衬底(且在特定实施例中为柔性衬底)。
8、在特定实施例中，所述框架可进一步包含与所述闩锁组合件接触的弹簧构件。所述弹簧构件经配置以将所述闩锁组合件偏置成闩锁配置及完全打开配置。在一个方面，所述闩锁组合件包含与所述弹簧构件接触的凸轮凸部。优选地，所述弹簧构件从所述框架悬吊且与所述框架一体成型。
9、所述闩锁组合件可包含铰链销及经配置以围绕所述铰链销枢转的闩锁臂。优选地，所述闩锁臂包含经配置以选择性地接合由所述框架支撑的衬底的肋。
10、在一个实施例中，所述框架包含经配置以提供从所述框架外接取由所述框架支撑的衬底的转角的嵌入角。
11、提供上述概要来促进本专利技术特有的一些创新特征的理解且上述概要不意在为完全描述。可通过整体考虑本说明书、权利要求书、图式及摘要而获得本专利技术的完全了解。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种支撑托架，其经配置以支撑衬底容器内的衬底，所述支撑托架包括：
2.根据权利要求1所述的支撑托架，其中所述至少一个支撑轴环经配置以包围所述至少一个支撑柱。
3.根据权利要求1所述的支撑托架，其中所述支撑托架包括经配置以接触由所述支撑托架支撑的衬底的向后边缘的配准壁架。
4.根据权利要求3所述的支撑托架，其中所述支撑托架进一步包括从所述配准壁架向前延伸的突耳特征，所述突耳特征经配置以限制由所述支撑托架支撑的衬底的侧向移动。
5.根据权利要求1所述的支撑托架，其中所述支撑托架包括从所述支撑托架向上延伸的销，所述销经配置以配合由所述支撑托架支撑的衬底的配准孔。
6.根据权利要求5所述的支撑托架，其中所述销在所述销的远端附近具有锥形轮廓。
【技术特征摘要】
1.一种支撑托架，其经配置以支撑衬底容器内的衬底，所述支撑托架包括：
2.根据权利要求1所述的支撑托架，其中所述至少一个支撑轴环经配置以包围所述至少一个支撑柱。
3.根据权利要求1所述的支撑托架，其中所述支撑托架包括经配置以接触由所述支撑托架支撑的衬底的向后边缘的配准壁架。
4.根据权利要求3所述的支撑托架，其中所...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·V·史密斯，G·M·加拉格尔，B·格雷格森，M·A·富勒，M·L·约翰逊，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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