【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是一种ald工艺复合式温控方法，属于光伏ald。
技术介绍
1、在ald工艺中，每炉物料的工艺过程都需要在特定温度下进行，因此，工艺前需要将炉温升高至工艺温度，并在整个工艺过程中保持稳定。
2、现有技术中，通常采用p id控温进行加热控制，由于真空炉腔内散热较慢，温度过冲后，回落会消耗较长时间，导致稳定温度的时间变长。因此实际应用中会设法将p id曲线的振荡拉缓，或将第一周期振荡拉低至设定温度以下。但这个过程中，也会导致p id整个过程中压低功率输出，同时也会使加热时间变长。
技术实现思路
1、本专利技术提出的是一种ald工艺复合式温控方法，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现减少温度过冲，缩短加热时间。
2、本专利技术的技术解决方案：一种ald工艺复合式温控方法，包括以下步骤：
3、s1、全速加热至第一阶段设定温度，可有效缩短加热时间；
4、s2、靠积蓄的热量缓冲升温至第二阶段设定温度，可有效减少温度过冲；
5、s3、p id控温调整至最终设定温度，可有效缩短p id的振荡时间。
6、优选的，还包括步骤s4、根据控温过程采集到的数据即控温结果，反馈调整第一阶段和第二阶段的设定温度值和第二阶段输出功率。可使控温不断趋于理想化。
7、优选的，所述的步骤s1具体是：首先读取预设的第一阶段设定温度t1，然后与当前反馈的温度t比较，若t<t1，则输出q为100％，加热棒以最大功率
8、优选的，所述的步骤s2具体是：读取预设的第二阶段设定温度t2，其中,t2＞t1，然后t2与当前反馈的温度t比较，若t<t2，则输出q保持低功率输出，输出值ql为预设功率值，设备依靠第一阶段加热过程中的蓄热继续升温至t2。在此过程中，设备会释放掉部分蓄热。同时由于是低功率输出，加热棒的温度也会下降至合适的控温区间。
9、优选的，所述的步骤s3具体是：读取设备的最终设定温度t3，t3＞t2，然后启用p id控制，将t3作为p id控制的目标值，p id的控制输出作为输出q，使温度最终恒定在最终设定温度t3上。
10、优选的，所述的p id的输出：
11、
12、其中，t3表示设定温度，kp、ki、kd分别代表pid控制的比例系数、积分系数、微分系数，q(t)表示pid控制的输出。
13、优选的，所述的步骤s4，加热过程中，采集如下数据：
14、第二阶段时长t2，
15、第三阶段温度过冲量δt3，
16、第三阶段温度稳定过程时长t3，
17、第三阶段温度稳定后的平均输出qa，
18、第三阶段温度稳定过程中，输出过冲量δq3；
19、根据以上采集数据，反馈调整各阶段控制参数，如下：
20、调整第一阶段设定温度：
21、t1＝t’1+a1t2-a2δt3-a3t3
22、其中，t’1是原第一阶段设定温度，a1、a2、a3为预设的调整系数；
23、调整第二阶段设定温度：
24、t2＝t’2+a4δt3+a5δq3
25、其中，t’2是原第二阶段设定温度，a4、a5为预设的调整系数；
26、调整第二阶段输出功率：
27、ql＝q’l+a6(qa-q’l)
28、其中，q’l是原第二阶段设定输出功率，a6为预设的调整系数；
29、调整过后的控制参数作为下一次加热控温的参数。
30、本专利技术的优点：方法设计合理，具体的，
31、1)前半段全速加热，可有效缩短加热时间；
32、2)中段低功率加热，靠蓄热继续升温，释放蓄热，可有效减少温度过冲；
33、3)在设定温度附近启动p id，可有效缩短pid的振荡时间；
34、4)每次加热都反馈并自调整参数，可使控温不断趋于理想化。
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1.一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，还包括步骤S4、根据控温过程采集到的数据即控温结果，反馈调整第一阶段和第二阶段的设定温度值和第二阶段输出功率。
3.如权利要求1或2所述的一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的步骤S1具体是：首先读取预设的第一阶段设定温度T1，然后与当前反馈的温度T比较，若T<T1，则输出Q为100％，加热棒以最大功率输出，直到当前反馈温度T≥T1。
4.如权利要求3所述的一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的步骤S2具体是：读取预设的第二阶段设定温度T2，其中,T2＞T1，然后T2与当前反馈的温度T比较，若T<T2，则输出Q保持低功率输出，输出值QL为预设功率值，设备依靠第一阶段加热过程中的蓄热继续升温至T2。
5.如权利要求4所述的一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的步骤S3具体是：读取设备的最终设定温度T3，T3＞T2，然后启用PID控制，将T3作为PID控制的目标值，PID
6.如权利要求5所述的一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的PID的输出：
7.如权利要求6所述的一种ALD工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的步骤S4，加热过程中，采集如下数据：
...【技术特征摘要】
1.一种ald工艺复合式温控方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种ald工艺复合式温控方法，其特征在于，还包括步骤s4、根据控温过程采集到的数据即控温结果，反馈调整第一阶段和第二阶段的设定温度值和第二阶段输出功率。
3.如权利要求1或2所述的一种ald工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的步骤s1具体是：首先读取预设的第一阶段设定温度t1，然后与当前反馈的温度t比较，若t<t1，则输出q为100％，加热棒以最大功率输出，直到当前反馈温度t≥t1。
4.如权利要求3所述的一种ald工艺复合式温控方法，其特征在于，所述的步骤s2具体是：读取预设的第二阶段设定温度t2，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：田京波，宣荣卫，叶成江，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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