【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种用于极紫外线(euv)光源中的涂覆有氙冰的筒的计量，且更特定来说，涉及使用共焦色彩传感器进行此计量。
技术介绍
1、euv光源可包含具有涂覆有氙(xe)冰(即，固体xe)的外表面的转筒。发射euv光的等离子体通过用激光束照射xe冰而形成。可执行使用相机的光学成像以确定xe冰的参数，例如xe冰的厚度及表面质量。相机使xe冰的区段成像且图像处理算法从图像提取相关信息。然而，所提取的信息在空间分辨率及带宽方面是受限的。因此，使用光学成像识别xe冰的参数(例如，用于实时反馈)是具有挑战性的。
技术实现思路
1、因此，需要监测euv光源中的转筒上的xe冰的改进系统及方法。此类系统及方法可涉及共焦色彩传感器，其也被简称为共焦传感器。
2、在一些实施例中，一种光源包含待涂覆有xe冰且由激光束照射以产生等离子体的可旋转筒。所述光源还包含共焦色彩传感器以测量从所述共焦色彩传感器到所述可旋转筒的距离。
3、在一些实施例中，一种操作光源的方法包含：旋转筒；在旋转所述筒时用xe冰涂覆所述筒；及在旋转所述筒且用所述xe冰涂覆所述筒时用激光束照射所述筒以产生等离子体。所述方法还包含：在用所述激光束照射所述筒时使用共焦色彩传感器监测所述筒以检测所述筒上的所述xe冰中的缺陷；及响应于检测到所述筒上的所述xe冰中的缺陷而关闭所述激光束。
【技术保护点】
1.一种光源，其包括：
2.根据权利要求1所述的光源，其进一步包括真空室，其中：
3.根据权利要求2所述的光源，其中所述共焦色彩传感器进一步包括安置于所述真空室外部的控制器以控制所述共焦色彩传感器的操作且产生待提供到所述传感器头的宽带光。
4.根据权利要求3所述的光源，其中所述共焦色彩传感器进一步包括耦合在所述传感器头与所述控制器之间的光纤以将所述宽带光提供到所述传感器头，其中：
5.根据权利要求2所述的光源，其进一步包括所述真空室内的外壳，其中：
6.根据权利要求2所述的光源，其中待通过所述共焦色彩传感器测量的从所述共焦色彩传感器到所述可旋转筒的所述距离包括：
7.根据权利要求1所述的光源，其进一步包括：
8.根据权利要求7所述的光源，其中：
9.根据权利要求8所述的光源，其进一步包括真空室，其中：
10.根据权利要求7所述的光源，其中：
11.根据权利要求10所述的光源，其中：
12.根据权利要求7所述的光源，其中：
13.根据权利要
14.根据权利要求13所述的光源，其中：
15.根据权利要求13所述的光源，其中：
16.根据权利要求13所述的光源，其中：
17.根据权利要求7所述的光源，其中所述一或多个程序进一步包括用于至少部分基于检测到所述可旋转筒上的所述Xe冰中的所述缺陷来触发维护的指令。
18.根据权利要求7所述的光源，其中所述一或多个程序进一步包括用于以下的指令：在所述可旋转筒涂覆有所述Xe冰之前，测量所述可旋转筒的裸露外表面的粗糙度；及
19.根据权利要求7所述的光源，其进一步包括电动化平移台，其中：
20.根据权利要求19所述的光源，其中：
21.一种操作光源的方法，其包括：
22.根据权利要求21所述的方法，其中监测所述筒包括使用所述共焦色彩传感器来测量选自由所述筒上的所述Xe冰的相应部分的厚度、所述筒上的所述Xe冰的粗糙度及所述筒上的所述Xe冰的相应部分的反射率组成的群组的参数。
23.根据权利要求21所述的方法，其进一步包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光源，其包括：
2.根据权利要求1所述的光源，其进一步包括真空室，其中：
3.根据权利要求2所述的光源，其中所述共焦色彩传感器进一步包括安置于所述真空室外部的控制器以控制所述共焦色彩传感器的操作且产生待提供到所述传感器头的宽带光。
4.根据权利要求3所述的光源，其中所述共焦色彩传感器进一步包括耦合在所述传感器头与所述控制器之间的光纤以将所述宽带光提供到所述传感器头，其中：
5.根据权利要求2所述的光源，其进一步包括所述真空室内的外壳，其中：
6.根据权利要求2所述的光源，其中待通过所述共焦色彩传感器测量的从所述共焦色彩传感器到所述可旋转筒的所述距离包括：
7.根据权利要求1所述的光源，其进一步包括：
8.根据权利要求7所述的光源，其中：
9.根据权利要求8所述的光源，其进一步包括真空室，其中：
10.根据权利要求7所述的光源，其中：
11.根据权利要求10所述的光源，其中：
12.根据权利要求7所述的光源，其中：
13.根据权利要求7所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：P·唐，苏才钧，R·贾甘纳特，B·阿尔，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。