【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造，具体而言，涉及一种自动加源控制系统。
技术介绍
1、半导体元器件制造行业过程中，teos工艺是非常重要的一种产品工艺。teos源液一般储存在离生产设备较近的源瓶内，若源液量过多或过少，会影响芯片质量，所以需要及时补充源液使其保持在一定量内。如果每次补充皆由人工进行，会需要大量人力，提高人工成本，且人工手动加源容易造成加源过多，需要做验证程序后才能进行正式芯片生产，降低生产率，增加生产成本。
技术实现思路
1、为了至少克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种自动加源控制系统。
2、第一方面，本申请实施例提供一种自动加源控制系统，所述自动加源控制系统包括主控单元、第一源瓶、第二源瓶以及与所述主控单元连接测量单元；
3、所述第一源瓶包括与所述主控单元连接的进气管道与出气管道，所述进气管道用于向所述第一源瓶输送氮气，所述出气管道与所述第二源瓶连接，用于在所述主控单元的控制及所述氮气的压力作用下将所述第一源瓶中的源液压入所述第二源瓶；
4、所述第二源瓶用于存储反应所需的源液，可以通过输气管道将源液传输至反应炉体；
5、所述测量单元设置于所述第二源瓶的内部，用于测量所述第二源瓶内的液位及温度，并将测量结果发送至所述主控单元，由所述主控单元生成相应的控制指令。
6、在一种可能的实现方式中，所述自动加源控制系统还包括与所述主控单元连接的加热单元；
7、所述加热单元设置于所述第二源瓶外侧，用于对所
8、在一种可能的实现方式中，所述测量单元还包括第一子测量单元及第二子测量单元；
9、所述第一子测量单元与所述第二源瓶的底面垂直，用于检测所述源瓶的实时液位，并将所述实时液位发送至所述主控单元；
10、所述第二子测量单元用于测量所述源瓶的实时温度，并将所述实时温度发送至所述主控单元，由所述主控单元根据所述实时温度与预设温度阈值生成报警指令。
11、在一种可能的实现方式中，所述第一子测量单元包括液位计，第二子测量单元包括温度计。
12、在一种可能的实现方式中，所述出气管道包括与所述主控单元连接的电磁阀；
13、所述主控单元还用于根据所述实时液位与预设液位的关系生成响应的指令，当所述实时液位低于第一预设液位时，生成加源指令，当所述实时液位高于第二预设液位时，生成停止加源指令，其中，所述第二预设液位大于所述第一预设液位；
14、所述电磁阀用于根据所述加源指令及所述停止加源指令控制所述出气管道的通断。
15、在一种可能的实现方式中，所述自动加源控制系统还包括监测单元；
16、所述监测单元设置于所述出气管道及所述输气管道上，用于监测所述第一源瓶及所述第二源瓶的出气情况，并将监测结果发送至所述主控单元，由所述主控单元根据所述监测结果生成报警指令。
17、在一种可能的实现方式中，所述监测单元包括设置于所述第一源瓶的出口处的光电传感器，所述光电传感器用于检测所述第一源瓶是否正确输出源液。
18、在一种可能的实现方式中，所述监测单元还包括设置于所述输气管道中部的流量传感器，所述流量传感器用于测量所述第二源瓶向所述反应炉体输送的源液流量。
19、在一种可能的实现方式中，所述自动加源控制系统还包括与所述主控单元连接的报警单元，用于接收所述报警指令，并根据所述报警指令进行报警提示。
20、在一种可能的实现方式中，所述自动加源控制系统还包括电源单元；
21、所述电源单元分别与所述主控单元、所述测量单元及所述报警单元连接，用于为各个单元提供直流电源。
22、基于上述任意一个方面，本申请实施例提供的自动加源控制系统，当主控单元检测到位于第二源瓶中的测量单元所测量得到的液位过低时，可以生成加源指令控制进气管道向第一源瓶输送氮气，并打开出气管道，在氮气的压力作用下将第一源瓶内的源液压入第二源瓶内，当第二源瓶内的液位到了预设阈值以后，主控单元可以根据测量结果生成停止加源指令，关闭进气管道和出气管道，至此完成加源。在上述结构中，主控单元通过测量单元的实时测量结果生成加源指令或停止加源指令，由此实现对第二源瓶的自动化加源，从而将第二源瓶中的源液控制在一定液位范围，不仅可以减少由于人工手动加源造成的误差，保证产品的反应质量，还可以减少人工。
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1.一种自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统包括主控单元、第一源瓶、第二源瓶以及与所述主控单元连接测量单元；
2.根据权利要求1所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统还包括与所述主控单元连接的加热单元；
3.根据权利要求1所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述测量单元还包括第一子测量单元及第二子测量单元；
4.根据权利要求3所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述第一子测量单元包括液位计，第二子测量单元包括温度计。
5.根据权利要求3所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述出气管道包括与所述主控单元连接的电磁阀；
6.根据权利要求1所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统还包括监测单元；
7.根据权利要求6所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述监测单元包括设置于所述第一源瓶的出口处的光电传感器，所述光电传感器用于检测所述第一源瓶是否正确输出源液。
8.根据权利要求6所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述监测单元还包括设置于所述输气管道中部的流量
9.根据权利要求3或权利要求6所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统还包括与所述主控单元连接的报警单元，用于接收所述报警指令，并根据所述报警指令进行报警提示。
10.根据权利要求9所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统还包括电源单元；
...【技术特征摘要】
1.一种自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统包括主控单元、第一源瓶、第二源瓶以及与所述主控单元连接测量单元；
2.根据权利要求1所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控制系统还包括与所述主控单元连接的加热单元；
3.根据权利要求1所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述测量单元还包括第一子测量单元及第二子测量单元；
4.根据权利要求3所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述第一子测量单元包括液位计，第二子测量单元包括温度计。
5.根据权利要求3所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述出气管道包括与所述主控单元连接的电磁阀；
6.根据权利要求1所述的自动加源控制系统，其特征在于，所述自动加源控...
【专利技术属性】
技术研发人员：李铁，李伟，刘小星，赵炳博，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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