【技术实现步骤摘要】
本公开涉及带电粒子束装置(charged particle beam apparatus)和相机图像显示方法，尤其涉及具备对试样室(sample chamber)内进行拍摄的相机的带电粒子束装置。
技术介绍
1、带电粒子束装置是为了试样的观察、加工等而对试样照射带电粒子束的装置。作为带电粒子束，可列举出电子束、离子束等。以下，关于作为代表性的带电粒子束装置的扫描电子显微镜(sem)进行说明。
2、扫描电子显微镜具有收纳有可动载台(试样载台)的试样室。载置有试样的试样保持器被安装到可动载台。以下，将试样和试样保持器表现为试样单元。可动载台是变更试样单元的位置和姿势的机构。
3、在观察试样之前，先调整试样单元的位置和姿势。具体来说，在光轴上决定试样的观察部位。在以高分辨率观察时，观察部位要靠近物镜。为此，将试样单元向上方提升。
4、扫描电子显微镜具备用于避免试样单元与物镜等结构物碰撞的若干装置。其中代表性的装置是在试样单元到达设定在结构物表面附近的禁止进入空间的情况下限制试样单元的运动的装置。
5、即使在上述若干避免碰撞装置起作用的状况下，由于试样的突出量的误设定等各种各样的原因，也可能发生试样单元向试样室内的结构物的碰撞。即使是不可能发生这样的碰撞，有时也会在观察试样前要求确认试样的状态(包含位置、姿势等)。因此，在扫描电子显微镜设置有拍摄试样室的相机(光学相机)。在调整试样单元的位置和姿势的过程中，显示通过上述相机取得的相机图像。相机图像为实时(real time)图像，也就是即时
6、尤其是，在使试样单元靠近物镜的上升过程中，由用户来参照相机图像。此时，作为相机图像的显示倍率，若设定的是小的显示倍率，则难以准确地确定试样室内的结构物与试样单元的空间关系。其结果是，容易产生以接近或者碰撞的识别的延迟为主要原因的上升停止判断的延迟。
7、此外，包围试样室的外壳或者试样室内的结构物一般由具有光泽的金属构成。试样保持器也通常由具有光泽的金属构成。因此，在表示出试样室内的相机图像中，其整体容易产生耀眼的光辉或者晕影(halation)。在这样的状况下，希望向用户提供易于具体地确定试样室内的结构物与试样单元的空间关系的相机图像。
8、文献1(日本特开2014-93283号公报)公开了一种具备对试样室内进行拍摄的相机的扫描电子显微镜。文献2(日本特开2020-126721号公报)记载了在扫描电子显微镜中通过计算机仿真来防止碰撞。在文献1和文献2中，没有关于在试样单元的上升过程中的相机图像的显示控制的记载。另外，在文献1和文献2中，没有关于在试样单元的上升过程中取得的相机图像的有效利用的记载。
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、本公开的目的在于，在试样单元的上升过程中，使得用户能够可靠地识别试样单元向结构物的接近。或者，本公开的目的在于，在试样单元的上升过程中，在试样单元靠近了结构物的情况下，使得用户能够具体地确定试样单元与结构物的位置关系。
3、用于解决问题的方案
4、本公开涉及的带电粒子束装置的特征在于，包含：可动载台，其设置于试样室内，用来安装由试样和保持所述试样的试样保持器构成的试样单元；光学相机，其从与光轴方向交叉的观察方向拍摄所述试样室的内部，生成包含试样单元像和物镜像的相机图像；以及控制器，其在使所述可动载台上升而使所述试样单元靠近物镜的上升过程中，在所述试样单元的代表高度到达倍率变更高度的情况下，提高所述相机图像的显示倍率。
5、本公开涉及的带电粒子束装置的相机图像显示方法的特征在于，包含：对设置于试样室内的可动载台安装由试样和保持所述试样的试样保持器构成的试样单元的工序；从与光轴方向交叉的观察方向通过相机拍摄所述试样室的内部，由此生成包含试样单元像和物镜像的相机图像的工序；在使所述可动载台上升而使所述试样单元靠近物镜的上升过程中，显示所述相机图像的工序；以及在所述上升过程中，在所述试样单元的代表高度到达倍率变更高度的情况下，提高所述相机图像的显示倍率的工序。
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1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，
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7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，包含：
8.根据权利要求7所述的带电粒子束装置，其特征在于，
9.一种带电粒子束装置的相机图像显示方法，其特征在于，包含：
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿部圣，服部拓，宫原丈知，
申请(专利权)人：日本电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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