【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密光学测量领域，具体涉及一种离焦扩束系统放大倍率检测装置及方法。
技术介绍
1、随着光学技术的快速发展，离焦扩束系统的运用越来越广泛，放大倍率作为其关键核心技术指标，需要进行精密测量，以指导整个光学系统安装调试。
2、目前，常用光学系统放大倍率检测方法主要包括：标准光阑法、平行光管和前置镜法。
3、标准光阑法主要利用垂轴放大率测量原理进行测量。平行光管和前置镜法主要通过测量视角来计算放大倍率。标准光阑具备结构简单、测量方便的优点，但由于光阑像差的影响，准确度较低。平行光管和前置镜法具备测量精度高的特点，但结构复杂，调整难度大。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题为：针对离焦扩束系统放大倍率检测需求，提供一种离焦扩束系统放大倍率检测装置及方法。
2、本专利技术的技术解决方案是：通过控制多齿分度台精密转角运动，并读出多齿分度台转动角度α，使用自准直仪测量经过离焦扩束系统后的角度变化β，通过计算角度比值β/α，得到离焦扩束系统放大倍率。检测装置包括：光学隔振平台、多齿分度台、反射镜调整座、反射镜、离焦扩束系统、自准直仪、自准直仪调整平台。其中：
3、光学隔振平台，用于安装整个检测装置，并实现外部环境振动隔离。
4、多齿分度台，用于固定反射镜调整座，并带动反射镜转动产生角度转动，实现精密转角运动。
5、反射镜调整座，固定于多齿分度台，用于实现反射镜姿态调整，具备绕y绕z二维角度调整和xyz三维
6、反射镜，固定于反射镜调整座，用于实现自准直仪的测量光反射。
7、离焦扩束系统，属于待测系统，安装于光学隔振平台。
8、自准直仪，固定于自准直仪调整平台，用于实现经过离焦扩束系统后的角度变化测量。
9、自准直仪调整平台，固定于光学隔振平台，用于实现自准直仪姿态调整，具备绕y绕z二维角度调整和xyz三维平移调整功能。
10、本专利技术与现有技术相比有如下优点：
11、（1）检测装置结构简单，调整方便；
12、（2）利用多齿分度台精密转角和自准直仪高测量精度的特点，本专利技术检测方法精度高。
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1.一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于，包括：光学隔振平台、多齿分度台、反射镜调整座、反射镜、离焦扩束系统、自准直仪、自准直仪调整平台；其中：
2.根据权利要求1的一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于：反射镜调整座至少能够实现X、Y、Z三维平移移动以及θx、θz二维倾斜调整，三维平移移动分辨率小于1μm，调整范围≥10mm；二维倾斜调整分辨率0.001°，调整范围≥3°。
3.根据权利要求1的一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于：多齿分度台台面尺寸不小于100mm，精度即峰峰值不超过0.3″，重复测量精度不超过0.08″，承载能力不小于10kg。
4.根据权利要求1的一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于：自准直仪调整平台至少能够实现X、Y、Z三维平移移动以及θx、θz二维倾斜调整，三维平移移动分辨率小于1μm，调整范围≥10mm；二维倾斜调整分辨率0.001°，调整范围≥3°。
5.根据权利要求1的一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于：自准直仪自身具备二维角度调整功能，具备二维角度测量功能，
6.一种如权利要求1-5任一项所述的离焦扩束系统放大倍率检测装置的检测方法，其特征在于，所述方法包括以下：
...【技术特征摘要】
1.一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于，包括：光学隔振平台、多齿分度台、反射镜调整座、反射镜、离焦扩束系统、自准直仪、自准直仪调整平台；其中：
2.根据权利要求1的一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于：反射镜调整座至少能够实现x、y、z三维平移移动以及θx、θz二维倾斜调整，三维平移移动分辨率小于1μm，调整范围≥10mm；二维倾斜调整分辨率0.001°，调整范围≥3°。
3.根据权利要求1的一种离焦扩束系统放大倍率检测装置，其特征在于：多齿分度台台面尺寸不小于100mm，精度即峰峰值不超过0.3″，重复测量精度不超过0.08″，承载能力不小于...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，李杰，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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