【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及micro-led显示领域，特别是涉及一种倒装三色micro-led及其制备方法。
技术介绍
1、因micro-led显示设备具有高效率、高亮度、高可靠度、节能、体积小和厚度小等优点，所以，micro-led显示设备已经成为新一代应用较广泛的显示设备。
2、在micro-led显示设备的制作过程中，需要先制作一颗一颗的micro-led芯片，再将红绿蓝三种颜色的micro-led芯片分三次排列到一个临时基板上，然后再用排列好的临时基板将micro-led芯片一次转移绑定到显示设备的基板上，来实现显示设备的全彩化。
3、在micro-led显示技术的发展中，巨量转移是一个关键的挑战。巨量转移过程需要高精度的对准技术，同时要解决倒装焊接中可能出现的对准偏差问题。在当前的技术实践中，每个micro-led芯片需要逐个抓取并进行集成转移，这不仅耗时，而且对设备的精度要求极高，增加了制造的复杂性和成本。
4、因此本领域技术人员致力于开发一种倒装三色micro-led及其制备方法，以节省其工艺步骤，提升micro-led的显示精度。
技术实现思路
1、有鉴于现有技术的上述缺陷，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种倒装三色micro-led及其制备方法。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种倒装三色micro-led，包括第一外延片，所述第一外延片上刻蚀有第一台面；
3、所述第一外延片上设置有第二外延片，所述第二外延
4、所述第二外延片上设置有第三外延片，所述第三外延片上刻蚀有第三台面，所述第三外延片上还开有沿第三台面轴向延伸的第二通孔，所述第二通孔远离第三台面一侧开有第三通孔。
5、较佳的，所述第一外延片为红光外延片，所述第二外延片为绿光外延片，所述第三外延片为蓝光外延片。
6、较佳的，所述第二台面穿过第二通孔；
7、所述第一台面依次穿过第一通孔和第三通孔。
8、较佳的，所述第一外延片、第二外延片和第三外延片绝缘处理。
9、较佳的，所述第一外延片、第二外延片和第三外延片倒装设置。
10、本专利技术还提供一种倒装三色micro-led的制备方法，包括以下步骤：
11、s1、准备第一芯片、第二芯片和第三芯片，在第一芯片、第二芯片和第三芯片上分别刻蚀形成第一台面、第二台面和第三台面；
12、s2、在第三芯片上分别刻蚀第二通孔和第三通孔至衬底，第二台面可穿过第二通孔；
13、s3、在第二芯片上刻蚀第一通孔至衬底，第一台面可穿过第一通孔和第三通孔；
14、s4、将各芯片分别钝化保护；
15、s5、将各芯片分别镀金属电极；
16、s6、将各芯片上的衬底分别剥离；
17、s7、将第三台面倒装焊接在驱动电路上；
18、s8、将第二台面插入第二通孔内倒装焊接在驱动电路上；
19、s9、将第一台面依次插入第一通孔和第三通孔内倒装焊接在驱动电路上。
20、较佳的，在步骤s7中，所述焊接材料为锌。
21、较佳的，其特征在于：在步骤s8中，所述焊接材料为锡。
22、较佳的，在步骤s9中，所述焊接材料为铟。
23、本专利技术的有益效果是：本专利技术通过垂直堆叠设计，可以将三色芯片集成在同一像素单元内，仅占用传统方式1/3或1/4的空间，这一设计大大减少了显示设备的体积和厚度，提升了空间利用率，同时，由于三色芯片的垂直堆叠，能够在同样的基板面积上容纳更多的像素单元，从而显著提高了像素密度(ppi)，这使得该方案能够满足4k、8k甚至更高分辨率的显示需求，为下一代高清显示技术提供了有力支持。
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1.一种倒装三色Micro-LED，其特征在于：包括第一外延片(1)，所述第一外延片(1)上刻蚀有第一台面(1a)；
2.如权利要求1所述的倒装三色Micro-LED，其特征在于：所述第一外延片(1)为红光外延片，所述第二外延片(2)为绿光外延片，所述第三外延片(3)为蓝光外延片。
3.如权利要求1所述的倒装三色Micro-LED，其特征在于：所述第二台面(2a)穿过第二通孔(3b)；
4.如权利要求1所述的倒装三色Micro-LED，其特征在于：所述第一外延片(1)、第二外延片(2)和第三外延片(3)绝缘处理。
5.如权利要求1所述的倒装三色Micro-LED，其特征在于：所述第一外延片(1)、第二外延片(2)和第三外延片(3)倒装设置。
6.一种倒装三色Micro-LED的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
7.如权利要求6所述的倒装三色Micro-LED的制备方法，其特征在于：在步骤S7中，所述焊接材料为锌。
8.如权利要求6所述的倒装三色Micro-LED的制备方法，其特征在于：在步骤S
9.如权利要求6所述的倒装三色Micro-LED的制备方法，其特征在于：在步骤S9中，所述焊接材料为铟。
...【技术特征摘要】
1.一种倒装三色micro-led，其特征在于：包括第一外延片(1)，所述第一外延片(1)上刻蚀有第一台面(1a)；
2.如权利要求1所述的倒装三色micro-led，其特征在于：所述第一外延片(1)为红光外延片，所述第二外延片(2)为绿光外延片，所述第三外延片(3)为蓝光外延片。
3.如权利要求1所述的倒装三色micro-led，其特征在于：所述第二台面(2a)穿过第二通孔(3b)；
4.如权利要求1所述的倒装三色micro-led，其特征在于：所述第一外延片(1)、第二外延片(2)和第三外延片(3)绝缘处理。
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