【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电子，尤其涉及一种震动检测报警电路、震动检测报警方法及半导体设备。
技术介绍
1、在半导体与集成电路的研究和生产中通常会使用冷泵。冷泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到高真空的效果，冷泵的低温介质来自于压缩机的液氦，通过活塞的往复运动实现液氦的输送。活塞的往复运动会造成冷泵的震动，而冷泵的异常震动可能会导致意外宕机现象的发生。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种震动检测报警电路、震动检测报警方法及半导体设备，旨在解决因无法侦测冷泵异常震动而导致冷泵意外宕机的问题。
2、为达到上述目的，本申请的实施例采用如下技术方案：
3、第一方面，提供一种震动检测报警电路。震动检测报警电路包括：震动收集电路、主控电路以及报警发生电路。震动收集电路被配置为检测待检测部件的机械震动，并根据机械震动生成检测信号。主控电路与震动收集电路电连接，主控电路被配置为，接收检测信号，并根据检测信号获取待检测部件的震动幅度和设定时间内的震动次数。在待检测部件的震动幅度大于震动幅度阈值，且在设定时间内待检测部件的震动次数大于震动次数阈值的情况下，输出报警触发信号。报警发生电路被配置为，在接收到报警触发信号的情况下，触发报警。
4、待检测部件在工作时会产生机械震动，以待检测部件是冷泵为例。震动收集电路收集冷泵的机械震动，将机械震动转换为检测信号输出到主控电路。主控电路中预设的震动幅度阈值和设定时间内的震动次数阈值是冷泵异常震动判断的标准。当震动收集电路
5、作为一种可能的实现方式，震动收集电路包括震动传感器和模数转换器。震动传感器和待检测部件连接，震动传感器的第一端与模数转换器的第一输入端电连接，震动传感器的第二端还与第二电压端电连接。模数转换器的第一输出端与主控电路电连接。震动传感器被配置为，检测待检测部件的机械震动，并根据机械震动生成模拟检测信号。模数转换器被配置为，接收模拟检测信号，并根据模拟检测信号生成检测信号。
6、震动传感器检测机械震动，并将机械震动转换为模拟信号，模数转换器将模拟信号转换为检测信号输出至主控电路。主控电路能够根据检测信号获得震动幅度和设定时间内的震动次数，通过与震动幅度阈值和震动次数阈值对比，对待检测部件是否发生异常震动做出判断。
7、作为一种可能的实现方式，震动收集电路还包括：滑动变阻器以及第一电阻。滑动变阻器的第一接线柱与第一电压端电连接，滑动变阻器的第二接线柱与第三接线柱电连接，滑动变阻器的第三接线柱与第一电阻的一端电连接。第一电阻的另一端与第二电压端电连接。滑动变阻器的第三接线柱还与模数转换器的第二输入端电连接。模数转换器的第二输出端和第三输出端电连接，且与主控电路电连接。模数转换器还被配置为，将第二输入端接收到的模拟电压信号转化为数字电压信号，并传输至主控电路。主控电路还被配置为，接收数字电压信号，并根据数字电压信号的大小得到震动幅度阈值。通过调节滑动变阻器接入模数转换器的电压值的大小来对震动幅度阈值进行设定，使管理维护人员对阈值的大小的调节更加便捷。
8、作为一种可能的实现方式，报警发生电路包括开关管和继电器。开关管的第一端与主控电路电连接。开关管的第二端与第一电压端电连接。开关管被配置为，在主控电路输出的报警触发信号的控制下导通。继电器包括线圈和触点开关，线圈电连接于开关管的第三端与第二电压端之间。触点开关和主机台连接，触点开关常闭。继电器被配置为，在线圈通电的情况下，触点开关断开。
9、作为一种可能的实现方式，震动检测报警电路还包括操作电路。操作电路与主控电路电连接，操作电路被配置为对震动检测报警电路进行复位，以及设置主控电路在设定时间内的震动次数阈值。通过设置操作电路来实现对震动检测报警电路的复位，重新计算在达到震动幅度阈值时，设定时间内的震动次数，保证了震动检测报警电路的精准性。
10、作为一种可能的实现方式，操作电路包括复位子电路和设定子电路。复位子电路包括第一按键、第一电容以及第二电阻。第一按键的第一端与第一电压端电连接，第一按键的第二端与主控电路电连接。第一电容的一端与第一电压端电连接，第一电容的另一端与第二电阻的一端电连接，第二电阻的另一端与第二电压端电连接。第二电阻与第一电容相连接的节点还与主控电路电连接。复位子电路被配置为，在上电时对震动检测报警电路进行复位。以及，在第一按键被按下时，对震动检测报警电路进行复位。设定子电路包括第二按键。第二按键的第一端与第二电压端电连接，第二按键的第二端与主控电路电连接。设定子电路被配置为，在第二按键被按下时，将第二电压端的信号传输至主控电路。主控电路还被配置为，记录设定时间内所接收的来自第二电压端的信号的次数，作为震动次数阈值。通过按压第一按键来实现对震动检测报警电路的复位，通过按压第二按键来实现震动次数阈值的设定，降低了管理人员的维护难度。
11、作为一种可能的实现方式，震动检测报警电路还包括显示电路。显示电路与主控电路电连接，显示电路被配置为显示首次震动幅度大于震动幅度阈值时的设定时间内待检测部件的震动次数。显示电路包括显示器和第三电阻，显示器与主控电路电连接，显示器还与第三电阻的一端电连接。第三电阻的另一端与第一电压端电连接。显示器能够显示首次震动幅度大于震动幅度阈值时的设定时间内待检测部件的震动次数，便于管理维护人员对震动次数的监测。
12、作为一种可能的实现方式，震动检测电路还包括电源电路。电源电路包括稳压芯片。稳压芯片的输入端与第三电压端电连接，稳压芯片的输出端与第一电压端电连接。稳压芯片的接地端与第二电压端电连接。电源电路被配置为将来自第三电压端的第三电压，转化为第一电压并输出至第一电压端。
13、作为一种可能的实现方式，主控电路还包括主控芯片、晶体谐振器、第六电容以及第七电容。晶体谐振器的第一端与主控芯片的第一引脚电连接，晶体谐振器的第二端与主控芯片的第二引脚电连接。晶体谐振器的第一端还与第六电容的一端电连接，第六电容的另一端与第二电压端电连接。晶体谐振器的第二端还与第七电容的一端电连接，第七电容的另一端与第二电压端电连接。
14、第二方面，提供一种半导体设备。半导体设备包括冷泵、与冷泵连接的主机台以及如第一方面任一种实现方式提供的震动检测报警电路。震动收集电路包括震动传感器，震动传感器与冷泵连接。
15、作为一种可能的实现方式，震动传感器设置在冷泵的气缸处或设置在所述冷泵靠近主机台处。由于冷泵发生震动的主要部分集中在气缸附近，因此将震动传感器设置在冷泵气缸附近，震动传感器对冷泵的震动检测更加灵敏。而将震动传感器设置在冷泵靠近主机台附近的位置，能够兼顾侦测冷泵震动对主机台的负面影响。...
【技术保护点】
1.一种震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测报警电路包括：
2.根据权利要求1所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动收集电路包括震动传感器和模数转换器；
3.根据权利要求2所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动收集电路还包括：滑动变阻器以及第一电阻；
4.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述报警发生电路包括开关管和继电器；
5.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测报警电路还包括操作电路，所述操作电路与所述主控电路电连接，所述操作电路被配置为对所述震动检测报警电路进行复位，以及在设定时间内对震动次数阈值进行设置。
6.根据权利要求5所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述操作电路包括复位子电路和设定子电路；
7.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测报警电路还包括显示电路，所述显示电路与所述主控电路电连接，所述显示电路被配置为显示首次震动幅度大于震动幅度阈值时的设定时间内所述待检测部件的震动
8.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测电路还包括电源电路，所述电源电路包括稳压芯片；
9.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述主控电路包括主控芯片、晶体谐振器、第六电容以及第七电容；
10.一种半导体设备，其特征在于，所述半导体设备包括：
11.根据权利要求10所述的半导体设备，其特征在于，所述震动传感器设置在所述冷泵的气缸处或设置在所述冷泵靠近所述主机台的位置。
12.根据权利要求10所述的半导体设备，其特征在于，所述主机台包括隔离阀和信号互锁通讯板；
13.一种震动检测报警方法，其特征在于，所述震动检测报警方法包括：
14.根据权利要求13所述的震动检测报警方法，其特征在于，在所述触发报警后还包括：获取触发报警的次数，在第一次触发报警且在所述待检测部件正常的情况下，提高所述震动幅度阈值和/或所述震动次数阈值，再次执行对所述待检测部件的震动进行检测的操作。
...【技术特征摘要】
1.一种震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测报警电路包括：
2.根据权利要求1所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动收集电路包括震动传感器和模数转换器；
3.根据权利要求2所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动收集电路还包括：滑动变阻器以及第一电阻；
4.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述报警发生电路包括开关管和继电器；
5.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测报警电路还包括操作电路，所述操作电路与所述主控电路电连接，所述操作电路被配置为对所述震动检测报警电路进行复位，以及在设定时间内对震动次数阈值进行设置。
6.根据权利要求5所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述操作电路包括复位子电路和设定子电路；
7.根据权利要求1-3中任一项所述的震动检测报警电路，其特征在于，所述震动检测报警电路还包括显示电路，所述显示电路与所述主控电路电连接，所述显示电路被配置为显示首次震动幅度大于震动幅度阈值时...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶旭，
申请(专利权)人：武汉楚兴技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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