【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太阳能电池制备，具体涉及一种新型扩散合并工艺。
技术介绍
1、现如今太阳能发电行业迎来快速发展阶段，光伏行业也迎来了难得发展机遇，同时也将面临更加巨大挑战。
2、目前pecvd高温工序普遍采用扩散→se→氧化工艺，有少部分采用（leco代替se）扩散→氧化工艺。
3、然而这两种工序均需要先进行扩散工艺，在扩散工艺设备中结束后扩散操作后，需将硅片移至氧化工艺设备中，工序的数量越多，将导致整体工艺时间越长，相应设备维护成本和人工成本也越高，降低了产品竞争力。
技术实现思路
1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本专利技术提供一种新型扩散合并工艺，以解决现有工艺的工序数量多，导致整体工艺时间长，相应设备维护成本和人工成本高，降低了产品竞争力的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种新型扩散合并工艺，包括以下步骤：
4、步骤1：炉管内回常压；
5、步骤2：将装有硅片的小舟放入炉管内；
6、步骤3：将炉管内温度升至816℃-825℃；
7、步骤4：向炉管内通入氧气和氮气，管内压力100-300mbar，温度为810℃-850℃，对硅片进行前氧化工艺；
8、步骤5：进行两次通源沉积，向炉管内通入氮气、氧气和硼源，炉管内压力100-300mbar，温度为810℃-850℃，硅片形成pn结；
9、步骤6：向炉管内通入氮气，通过高温推结操作做深
10、步骤7：向炉管内持续通入氧气，在硅片表面生成二氧化硅，管内温度为800℃-1100℃，管内压力为500-900mbar；
11、步骤8：吹扫，炉管内通氮气，下降炉管内的温度；
12、步骤9：向炉管内通入氮气，使炉管内压力回常压；
13、步骤10：小舟出炉管，完成新型扩散合并工艺。
14、优选的，在步骤2中，小舟放入炉管内时，炉管温度设置为800℃-810℃。
15、优选的，新型扩散合并工艺还包括步骤0：检测炉管漏率，步骤0设置在步骤4之前。
16、优选的，步骤7具体为：
17、步骤7.1：反应时间设置为660s，温度设置为1040℃，向炉管内持续通入氧气，氧气流量设置为18000sccm，泵压设置为850mbar，对硅片进行氧化；
18、步骤7.2：反应时间设置为3600s，温度设置为1040℃，向炉管内持续通入氧气，氧气流量设置为18000sccm，泵压设置为850mbar，对硅片进行氧化；
19、步骤7.3：反应时间设置为900s，温度设置为970℃，向炉管内持续通入氧气，氧气流量设置为18000sccm，泵压设置为850mbar，对硅片进行氧化；
20、步骤7.4：反应时间设置为1800s，温度设置为850℃，向炉管内持续通入氧气，氧气流量设置为18000sccm，泵压设置为850mbar，对硅片进行氧化。
21、优选的，步骤8中，炉管内温度下降至800℃。
22、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
23、本申请使用扩散合并工艺，即将（leco代替se）扩散→氧化工艺的基础上，取消氧化工序，将氧化步骤合并到扩散工艺中，可以使生产线更简单、更快速，同时降低了生产成本，也减少了潜在的制程带来的影响，而且因为制程步骤的减少，可以缩短生产周期，增加产线的产量。
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1.一种新型扩散合并工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种新型扩散合并工艺，其特征在于，在步骤2中，小舟放入炉管内时，炉管温度设置为800℃-810℃。
3.根据权利要求1所述的一种新型扩散合并工艺，其特征在于，新型扩散合并工艺还包括步骤0：检测炉管漏率，步骤0设置在步骤4之前。
4.根据权利要求1所述的一种新型扩散合并工艺，其特征在于，步骤7具体为：
5.根据权利要求2所述的一种新型扩散合并工艺，其特征在于，步骤8中，炉管内温度下降至800℃。
【技术特征摘要】
1.一种新型扩散合并工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种新型扩散合并工艺，其特征在于，在步骤2中，小舟放入炉管内时，炉管温度设置为800℃-810℃。
3.根据权利要求1所述的一种新型扩散合并工艺，其特征在于，新...
【专利技术属性】
技术研发人员：田素霞，谢泰宏，袁正国，谢耀辉，何佳龙，黄菊梅，
申请(专利权)人：和光同程光伏科技宜宾有限公司，
类型：发明
国别省市：
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