【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制备，具体涉及一种传输设备和传输方法。
技术介绍
1、碳化硅的外延生长是在工艺环境下，在晶体基板上生成具有一定厚度和浓度的外延材料，该工艺一般采用石墨盘作为承载和导热平台。常见的通过载板环和载板盘承载基板，然后再将其放入外延反应腔室进行外延生长，在此过程中，若载板环、载板盘和基板出现组装误差，则会影响外延生长的质量，造成产品不良。
2、现有的载板环、载板盘和基板组合拆分过程的传输方法主要是人工手动组装运输和自动化组合拆分运输，人工手动组装会造成基板的污染，在搬运过程中也容易造成触碰损伤；现有的自动化组合拆分则存在组装精度低效率低的问题。
技术实现思路
1、本申请提出一种传输设备和传输方法，以解决现有技术中载板环、载板盘和基板的组装传输自动化低效率低的问题。
2、为解决上述技术问题，本申请提出一种传输设备，用于传输载板盘、载板环以及基板，包括：料仓，用于放置载板盘和载板环；料盒，用于放置基板；组合拆分装置，用于载板盘、载板环以及基板的组合拆分；基板校准器，用于调整基板的位置姿态；搬运机械手，用于在料仓和组合拆分装置之间传输载板盘和载板环，用于在料盒和基板校准器之间传输基板，用于在基板校准器和组合拆分装置之间传输基板；料仓、料盒、组合拆分装置、基板校准器围绕搬运机械手设置。
3、在一实施例中，组合拆分装置包括载环台和升降台，载环台形成有通孔，升降台可在竖直方向上活动穿设于通孔；通孔的尺寸大于载板盘的尺寸、小于载板环的外环尺寸，且小
4、在一实施例中，组合拆分装置还包括位置识别器，在竖直方向上相对载环台和所述升降台设置，用于识别载环台和升降台的中心位置，还用于识别载环台和升降台上载板盘、载板环或基板的中心位置。
5、在一实施例中，组合拆分装置还包括测高传感器，在竖直方向上相对载环台和升降台设置，用于识别载板环的上表面高度和基板的上表面高度。
6、在一实施例中，组合拆分装置还包括反应腔室，用于对组合后的载板盘、载板环以及基板进行反应；搬运机械手用于组合拆分装置和反应腔室之间传输组合后的载板盘、载板环以及基板。
7、为解决上述技术问题，本申请提出一种传输方法，用于通过传输设备对载板盘、载板环以及基板进行传输，传输设备包括：用于放置载板盘和载板环的料仓；用于放置基板的料盒；组合拆分装置，用于载板盘、载板环以及基板的组合拆分；基板校准器，用于调整基板的位置姿态；搬运机械手，用于在料仓和组合拆分装置之间传输载板盘和载板环，用于在料盒和基板校准器之间传输基板，用于在基板校准器和组合拆分装置之间传输基板；料仓、料盒、组合拆分装置、基板校准器围绕搬运机械手设置；传输方法包括：搬运机械手从料仓取出载板盘和载板环的组合体放置于组合拆分装置；组合拆分装置分离载板盘和载板环，搬运机械手将载板盘传输至料仓；搬运机械手从料盒取出基板放置于基板校准器；基板校准器对基板进行位置姿态调整，搬运机械手将基板传输至组合拆分装置；搬运机械手从料仓取出载板盘放置于组合拆分装置；组合拆分装置将载板盘、载板环以及基板由下到上组合在一起。
8、在一实施例中，组合拆分装置包括载环台和升降台，载环台形成有通孔，升降台可在竖直方向上活动穿设于通孔；通孔的尺寸大于载板盘的尺寸、小于载板环的外环尺寸，且小于基板的尺寸；基板的尺寸大于载板环的内环尺寸；传输方法包括：搬运机械手从料仓取出载板盘和载板环的组合体放置于组合拆分装置之前，控制升降台穿过通孔升起于载环台，使得载板盘和载板环的组合体放置于升降台；控制升降台穿过通孔下降于载环台，载板环留在载环台上，载板盘跟随升降台下降，以分离载板盘和载板环；搬运机械手将载板盘传输至料仓之后，控制升降台穿过通孔升起于载环台；搬运机械手将基板传输至组合拆分装置的升降台后，控制升降台穿过通孔下降于载环台，基板留在载板环上；搬运机械手将载板盘放置于升降台上，控制升降台穿过通孔升起于载环台，以组合载板盘、载板环以及基板。
9、在一实施例中，组合拆分装置还包括位置识别器，在竖直方向上相对载环台和升降台设置，组合拆分方法还包括：在将载板盘和载板环的组合体放置于升降台上之前，通过位置识别器识别通孔的通孔中心坐标；在将载板盘和载板环的组合体放置于升降台上之后，通过位置识别器识别载板盘和载板环的组合体的组合中心坐标；调整载板盘和载板环的组合体的位置，以控制通孔中心坐标和所述组合中心坐标的偏差在容许范围。
10、在一实施例中，组合拆分装置还包括测高传感器，在竖直方向上相对载环台和升降台设置，传输方法还包括：在控制升降台穿过通孔下降于载环台，基板留在载板环上之后，通过位置识别器识别载板环中心坐标和基板中心坐标；通过测高传感器识别载板环的上表面高度和基板的上表面高度；若载板环中心坐标和基板中心坐标的偏差在容许范围，且载板环和基板的上表面高度差在容许范围；则将载板盘放置于升降台上，控制升降台穿过通孔升起于载环台，以组合载板盘、载板环以及基板；若载板环中心坐标和基板中心坐标的偏差不在容许范围，或载板环和基板的上表面高度差不在容许范围；则通过搬运机械手将基板放回基板校准器重新进行位置姿态的校准。
11、在一实施例中，组合拆分装置还包括反应腔室，用于对组合后的载板盘、载板环以及基板进行反应；传输方法还包括：搬运机械手将载板盘、载板环以及基板的组合体放入反应腔室。
12、本申请传输设备包括用于放置载板盘和载板环的料仓、用于放置基板的料盒，用于载板盘、载板环以及基板的组合拆分的组合拆分装置，用于调整基板位置姿态的基准校准器，以及搬运机械手，用于在料仓和组合拆分装置之间传输载板盘和载板环，用于在料盒和基板校准器之间传输基板，用于在基板校准器和组合拆分装置之间传输基板；搬运机械手用于进行所有的运输动作，因而将搬运机械手设置于中间，其他部件料仓、料盒、组合拆分装置和基板校准器均围绕搬运机械手设置，提高运输效率，且通过基板校准器和组合拆分装置实现组合的准确度。
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1.一种传输设备，其特征在于，所述传输设备用于传输载板盘、载板环以及基板，包括：
2.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置包括载环台和升降台，所述载环台形成有通孔，所述升降台可在竖直方向上活动穿设于所述通孔；所述通孔的尺寸大于所述载板盘的尺寸、小于所述载板环的外环尺寸，且小于所述基板的尺寸；所述基板的尺寸大于所述载板环的内环尺寸。
3.根据权利要求2所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置还包括位置识别器，在所述竖直方向上相对所述载环台和所述升降台设置，用于识别所述载环台和所述升降台的中心位置，还用于识别所述载环台和所述升降台上载板盘、载板环或基板的中心位置。
4.根据权利要求2所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置还包括测高传感器，在所述竖直方向上相对所述载环台和所述升降台设置，用于识别载板环的上表面高度和基板的上表面高度。
5.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置还包括反应腔室，用于对组合后的载板盘、载板环以及基板进行反应；所述搬运机械手用于组合拆分装置和所述反应腔室之间传输
6.一种传输方法，其特征在于，所述传输方法用于通过传输设备对载板盘、载板环以及基板进行传输，所述传输设备包括：用于放置载板盘和载板环的料仓；用于放置基板的料盒；组合拆分装置，用于载板盘、载板环以及基板的组合拆分；基板校准器，用于调整所述基板的位置姿态；搬运机械手，用于在料仓和组合拆分装置之间传输载板盘和载板环，用于在料盒和基板校准器之间传输基板，用于在基板校准器和组合拆分装置之间传输基板；所述料仓、料盒、组合拆分装置、基板校准器围绕所述搬运机械手设置；所述传输方法包括：
7.根据权利要求6所述的传输方法，其特征在于，所述组合拆分装置包括载环台和升降台，所述载环台形成有通孔，所述升降台可在竖直方向上活动穿设于所述通孔；所述通孔的尺寸大于所述载板盘的尺寸、小于所述载板环的外环尺寸，且小于所述基板的尺寸；所述基板的尺寸大于所述载板环的内环尺寸；所述传输方法包括：
8.根据权利要求7所述的传输方法，其特征在于，所述组合拆分装置还包括位置识别器，在所述竖直方向上相对所述载环台和所述升降台设置，所述组合拆分方法还包括：
9.根据权利要求8所述的传输方法，其特征在于，所述组合拆分装置还包括测高传感器，在所述竖直方向上相对所述载环台和所述升降台设置，所述传输方法还包括：
10.根据权利要求6所述的传输方法，其特征在于，所述组合拆分装置还包括反应腔室，用于对组合后的载板盘、载板环以及基板进行反应；所述传输方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种传输设备，其特征在于，所述传输设备用于传输载板盘、载板环以及基板，包括：
2.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置包括载环台和升降台，所述载环台形成有通孔，所述升降台可在竖直方向上活动穿设于所述通孔；所述通孔的尺寸大于所述载板盘的尺寸、小于所述载板环的外环尺寸，且小于所述基板的尺寸；所述基板的尺寸大于所述载板环的内环尺寸。
3.根据权利要求2所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置还包括位置识别器，在所述竖直方向上相对所述载环台和所述升降台设置，用于识别所述载环台和所述升降台的中心位置，还用于识别所述载环台和所述升降台上载板盘、载板环或基板的中心位置。
4.根据权利要求2所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置还包括测高传感器，在所述竖直方向上相对所述载环台和所述升降台设置，用于识别载板环的上表面高度和基板的上表面高度。
5.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述组合拆分装置还包括反应腔室，用于对组合后的载板盘、载板环以及基板进行反应；所述搬运机械手用于组合拆分装置和所述反应腔室之间传输组合后的载板盘、载板环以及基板。
6.一种传输方法，其特征在于，所述传输方法用于通过传输设备对载板盘、载板环以及基板进行传输，所述传输设备包括：用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：谷坚胜，黄国辉，姚超智，李俊武，
申请(专利权)人：深圳众为兴技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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