【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到镀膜领域，一种复合防水膜制造设备及使用方法。
技术介绍
1、parylene涂层是一种透明的薄膜，可以在各种复杂形状的物体表面形成均匀的保护层。parylene镀膜的工作原理：parylene原料（通常是二聚体形式）在600-700℃的高温下进行热解，裂解成具有反应活性的单体分子。热解产生的气态单体分子通过真空管道传输到沉积室。在沉积室内，气态单体分子在室温下沉积在目标物体的表面，并在沉积过程中进行聚合反应，形成薄膜涂层。气态单体分子在沉积过程中，通过化学反应聚合成固态的parylene聚合物。从而形成均匀、无孔的涂层。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、有优异的电绝缘性和防护性，是有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
2、原子层沉积（ald）是一种精确控制薄膜沉积的技术，能够在原子层级别上实现薄膜的生长。其原理基于化学气相沉积（cvd）技术，但采用分步反应，使得每次反应只生长一个原子层。
3、由于parylene和ald工艺的沉积温度不同。制备二者交替叠加的防水涂层时，传统的涂层工艺需要在parylene真空气相沉积设备和ald沉积设备之间来回切换，以完成薄膜涂层的制备。这种方法不仅效率低下，而且显著增加了制备过程中的时间成本和经济成本。
技术实现思路
1、基于以上现有技术中的问题，本专利技术提供一种复合防水膜制造设备及使用方法。通过parylene镀膜ald/cvd镀膜工艺相结合，解决了al
2、本专利技术采用的技术方案是：
3、一种复合防水膜制造设备及使用方法，包括载气管路、尾气管路、ald/cvd管路、parylene管路、样品台、加热装置，其中载气管路、尾气管路、ald/cvd管路、parylene管路有序排列组成一组气路单元。
4、进一步的，本专利技术中的载气管路通入惰性气体，包括但不限于氮气、氧气中的一种。
5、进一步的，ald/cvd管路通入前驱体模式包括但不限于cvd、ald、peald中的一种。
6、进一步的，一组气路单元可以按照需求设置载气管路、尾气管路、ald/cvd管路、parylene管路的数量和位置。
7、进一步的，样品台和气路单元中间为开放式镀膜腔室。
8、进一步的，样品从开放式镀膜腔室中通过，可反复通过。
9、进一步的，样品经过ald/cvd管路和parylene管路被镀上膜。
10、本专利技术达到了以下技术效果：本专利技术为一种复合防水膜制造设备及使用方法，样品在样品台上传送，依次经过parylene管路和ald/cvd管路，进过parylene管路时被镀上一层parylene膜，经过ald/cvd管路时镀上一层金属氧化物，比如氧化铝。样品重复经后，在表面形成parylene膜-氧化物-parylene膜-氧化物的薄膜。
11、ald/cvd生长的氧化物膜柔性和阻水性能极佳，但在开放腔室中容易产生颗粒，不能做到均匀成膜；parylene镀膜速率较高，可以轻易实现微米级镀膜，且具有一定的防水性能。该专利技术所合成的复合膜层是一层parylene膜一层氧化物颗粒的叠加，形成具有优异防水性并且适合于柔性材料的薄膜。
12、在parylene真空气相沉积工艺的基础上通过增加ald沉积工艺，实现制备ald涂层加parylene的反复叠层防水涂层，与单parylene薄膜涂层相比，可以极大提升涂层防水效果，与ald/cvd镀膜相比极大提高镀膜效率。
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1.一种复合防水膜制造设备及使用方法，其特征是：包括1、 一种复合防水膜制造设备及使用方法，其特征是：包括载气管路（1）、尾气管路（2）、ALD/CVD管路（3）、Parylene管路（4）、样品台（6）、加热装置（7），其中载气管路、尾气管路、ALD/CVD管路、Parylene管路有序排列成一组气路单元，排列顺序按需设置。
2.根据权利要求1所述的载气管路，其特征是：载气管路通入惰性气体，包括但不限于氮气、氧气中的一种。
3.根据权利要求1所述的ALD/CVD管路，其特征是：ALD/CVD管路通入前驱体模式包括但不限于CVD、ALD、PEALD中的一种。
4.根据权利要求1所述的气路单元，其特征是：一组气路单元可以按照需求设置载气管路、尾气管路、ALD/CVD管路、Parylene管路的数量和位置。
5.根据权利要求1所述的复合防水膜制造设备，其特征是：样品台和气路单元中间为开放式镀膜腔室，样品可从其中反复通过。
【技术特征摘要】
1.一种复合防水膜制造设备及使用方法，其特征是：包括1、 一种复合防水膜制造设备及使用方法，其特征是：包括载气管路（1）、尾气管路（2）、ald/cvd管路（3）、parylene管路（4）、样品台（6）、加热装置（7），其中载气管路、尾气管路、ald/cvd管路、parylene管路有序排列成一组气路单元，排列顺序按需设置。
2.根据权利要求1所述的载气管路，其特征是：载气管路通入惰性气体，包括但不限于氮气、氧气中的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：张岳，杜新伍，张金刚，
申请(专利权)人：上海派拉纶生物技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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