【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体清洗工艺领域，具体涉及一种活动隔板装置以及一种半导体清洗设备。
技术介绍
1、目前，半导体清洗设备通常具有多个清洗槽，用以利用不同成分药液适应于不同的清洗需求。而且，各个清洗槽周侧还设置有多个隔板，以防止不同的清洗药液的挥发气体串混而产生影响清洗工艺或干扰的半导体清洗设备内微环境稳定的副产物。半导体清洗设备中还具有机械手装置，用以抓取晶圆并将晶圆在多个清洗槽之间转移。而且，相邻的清洗槽之间隔板能够活动，以在机械手装置转移晶圆的过程中进行避让，并在晶圆转移完毕后复位，以再阻挡在相邻的清洗槽之间。
2、但在半导体清洗设备的运行和调试过程中，机械手装置与隔板之间存在相撞的风险，进可能会导致机械手装置夹持的晶圆损毁，而且也可能导致半导体清洗设备中的部件损坏，造成经济损失和安全事故。
技术实现思路
1、本技术至少部分解决现有的半导体清洗设备中机械手与活动隔板发生碰撞而容易导致晶圆受损的问题，提供一种活动隔板装置及半导体清洗设备。
2、本技术实施例提供一种活动隔板装置，应用于半导体清洗设备；其包括：隔板、驱动源和用于连接所述隔板和所述驱动源的支撑组件；其中，
3、所述驱动源用于驱动所述隔板移动；
4、所述支撑组件包括第一支撑件、第二支撑件和第一连接件；所述第一支撑件与所述隔板固定连接；所述第二支撑件与所述驱动源固定连接；所述第一支撑件和所述第二支撑件相对的两个端部通过所述第一连接件连接；所述第一连接件能够在受到指定大小的冲击力时断
5、可选的，所述第一支撑件的靠近所述第二支撑件的一端上具有安装槽；所述第二支撑件的靠近所述第一支撑件的一端上具有与所述安装槽形状相配合的安装凸块，所述安装块用于与所述安装槽插接；
6、所述第一连接件包括销钉；
7、所述第一支撑件中具有贯穿所述安装槽的侧壁的第一销接孔，所述第二支撑件中具有贯穿所述安装凸块的第二销接孔；所述第一销接孔和所述第二销接孔同轴设置；所述销钉贯穿所述第一销接孔和所述第二销接孔，用以连接所述第一支撑件和所述第二支撑件；所述销钉还用于在受到指定大小的冲击力时断裂，以使所述第一支撑件和所述第二支撑件的相互连接的端部分离。
8、可选的，所述支撑组件还包括第二连接件；所述第二连接件由柔性材料制成；
9、所述第二连接件分别与所述第一支撑件和所述第二支撑件固定连接；所述第二连接件用于在所述第一支撑件与所述第二支撑件的相互连接的端部脱离后使所述第一支撑件与所述第二支撑件保持连接。
10、可选的，所述第一支撑件包括第一连杆；所述第二支撑件包括第二连杆；所述第一连杆和第二连杆同轴设置；
11、所述安装槽具有形成在第一连杆端部的第一开口以及形成在所述第一连杆两侧的两个第二开口；两个所述第二开口均平行于所述第一连杆的轴线方向延伸；
12、所述第一销接孔和所述第二销接孔的延伸方向与所述第一连杆的轴线方向相垂直。
13、可选的，所述第二连接件包括连接绳；所述连接绳的两端分别与所述第一支撑件和所述第二支撑件连接固定。
14、可选的，所述第二支撑件的外周面上开设有用于容置所述连接绳的储线槽；所述储线槽内壁上设置有连接钉；所述第一支撑件上也设置有连接钉；两个所述连接钉分别用于连接所述连接绳的两端部。
15、可选的，所述安装槽的底面在平行于所述销钉轴线方向上的宽度大于所述第一开口在平行于所述销钉轴线方向上的宽度。
16、可选的，所述安装槽的两侧壁上均具有沿所述第一连杆轴线方向延伸的辅助凹槽，所述辅助凹槽在垂直于所述第一连杆轴线方向上的截面为劣弧形；
17、所述安装凸块中具有与所述辅助凹槽形状配合的辅助凸起。
18、可选的，所述销钉的外周面上开设有环状槽；所述环状槽用于使所述销钉能够在受到指定大小的冲击力断裂。
19、作为另一种技术方案，本专利技术实施例还提供一种半导体清洗设备，其包括多个清洗槽、机械手装置以及如上文所述的活动隔板装置；
20、所述机械手装置设置在多个所述清洗槽上方，用于夹持晶圆并带动所述晶圆在多个所述清洗槽中进行清洗工艺；
21、所述活动隔板装置的隔板位于所述清洗槽的槽口之上，用于阻挡在相邻的两个所述清洗槽之间，并在所述机械手装置在相邻的两个所述清洗槽之间移动过程中避让。
22、本技术具有以下有益效果：
23、本技术实施例提供的活动隔板装置，其包括用于连接隔板和驱动源的支撑组件，且该支撑组件包括用于连接隔板的第一支撑件、用于连接驱动源的第二支撑件和第一连接件。其中，第一支撑件和第二支撑件相对的两个端部通过第一连接件连接，而且第一连接件能够在受到指定大小的冲击力时断裂，以使第一支撑件和第二支撑件的相互连接的两个端部脱离；这样，在机械手装置与隔板发生碰撞时，第一支撑件和第二支撑件能够解除连接，以使隔板能够随着第一支撑件一同掉落，从而可以避免隔板阻挡机械手装置运动，进而可以避免机械手装置夹持的晶圆与隔板发生碰撞而损坏。
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1.一种活动隔板装置，应用于半导体清洗设备；其特征在于，包括：隔板、驱动源和用于连接所述隔板和所述驱动源的支撑组件；其中，
2.根据权利要求1所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第一支撑件的靠近所述第二支撑件的一端上具有安装槽；所述第二支撑件的靠近所述第一支撑件的一端上具有与所述安装槽形状相配合的安装凸块，所述安装凸块用于与所述安装槽插接；
3.根据权利要求1所述的活动隔板装置，其特征在于，所述支撑组件还包括第二连接件；所述第二连接件由柔性材料制成；
4.根据权利要求2所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第一支撑件包括第一连杆；所述第二支撑件包括第二连杆；所述第一连杆和第二连杆同轴设置；
5.根据权利要求3所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第二连接件包括连接绳；所述连接绳的两端分别与所述第一支撑件和所述第二支撑件连接固定。
6.根据权利要求5所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第二支撑件的外周面上开设有用于容置所述连接绳的储线槽；所述储线槽内壁上设置有连接钉；所述第一支撑件上也设置有连接钉；两个所述连接钉分别用于连接所
7.根据权利要求4所述的活动隔板装置，其特征在于，所述安装槽的底面在平行于所述销钉轴线方向上的宽度大于所述第一开口在平行于所述销钉轴线方向上的宽度。
8.根据权利要求4所述的活动隔板装置，其特征在于，所述安装槽的两侧壁上均具有沿所述第一连杆轴线方向延伸的辅助凹槽，所述辅助凹槽在垂直于所述第一连杆轴线方向上的截面为劣弧形；
9.根据权利要求2所述的活动隔板装置，其特征在于，所述销钉的外周面上开设有环状槽；所述环状槽用于使所述销钉能够在受到指定大小的冲击力断裂。
10.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括多个清洗槽、机械手装置以及如权利要求1-9任意一项所述的活动隔板装置；
...【技术特征摘要】
1.一种活动隔板装置，应用于半导体清洗设备；其特征在于，包括：隔板、驱动源和用于连接所述隔板和所述驱动源的支撑组件；其中，
2.根据权利要求1所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第一支撑件的靠近所述第二支撑件的一端上具有安装槽；所述第二支撑件的靠近所述第一支撑件的一端上具有与所述安装槽形状相配合的安装凸块，所述安装凸块用于与所述安装槽插接；
3.根据权利要求1所述的活动隔板装置，其特征在于，所述支撑组件还包括第二连接件；所述第二连接件由柔性材料制成；
4.根据权利要求2所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第一支撑件包括第一连杆；所述第二支撑件包括第二连杆；所述第一连杆和第二连杆同轴设置；
5.根据权利要求3所述的活动隔板装置，其特征在于，所述第二连接件包括连接绳；所述连接绳的两端分别与所述第一支撑件和所述第二支撑件连接固定。
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘林，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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