【技术实现步骤摘要】
本申请涉及针压测试，具体涉及一种针压测试模块和质检设备。
技术介绍
1、目前，一些行业中，为了保证生产产品的性能，需要通过针压测试技术进行质检。例如，在半导体领域中，制作晶圆是较为重要的一环，晶圆的质量会直接影响半导体的性能，为此，需要在完成晶圆的制作后，对晶圆进行质检。在晶圆的质检中，包括一个针压测试的环节，需要使用探针对晶圆上的晶片(di e)进行电性测试；再例如，在表面贴片技术(surface mounted techno l ogy，smt)领域，为了保证生产的集成电路(i ntegrated c ircu it，i c)或者组装印刷电路板(pr i nted c i rcu it board assemb l y，pcba)的质量，需要对i c或者pcba使用探针对被测单元(i c或pcba)进行电性测试等。
2、而在针压测试的过程中，为了保证探针向类如晶片、i c、pcba等被测单元施加的压力不至于损伤当前的被测单元，需要对探针的针压进行测量和监控。一般的探针的针压测量是通过在测量体上设置应变传感器来实现，基于应变效应进行针压测试。然而，应变传感器的形变是有限度的，在将探针安装至测量体或者被测单元存在电极高低差异较大等情况下，会使得测量体发生较大形变，而往往这种形变会导致应变传感器产生超过自身形变限度的形变，造成应变传感器损坏，影响了针压测试的效率。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本申请提出了一种针压测试模块和质检设备，旨在减少因应变传感器的过度形变
2、为实现上述目的，一方面，本申请提供了一种针压测试模块，所述针压测试模块包括：
3、测量部，包括通槽，所述通槽在所述测量部的水平方向上设置；
4、连接座，用于装设所述测量部的第一端；
5、探针部，装设于所述测量部的第二端；
6、限位部，所述限位部的第一端设置于所述通槽的第一端，所述限位部的第二端在所述通槽内悬空，所述限位部的第二端用于对所述测量部在垂直方向产生的形变进行限位；
7、应变传感器，设置于所述测量部在垂直方向的表面。
8、在本申请一些可能的实施例，所述针压测试模块还包括：
9、接触部，设置于所述通槽的第二端；
10、警示部，包括警示部主体、警示单元和回路弹片部，所述警示部主体的第一端设置于所述通槽内，所述警示部主体的第二端在所述通槽内悬空并设置有所述回路弹片部，所述警示单元设置于所述测量部的第一端，所述警示单元用于在所述测量部在垂直方向进行形变时，当所述回路弹片部与所述接触部进行接触，发出警示信号。
11、在本申请一些可能的实施例，述限位部设置有装夹结构，所述装夹结构对所述警示部主体进行装夹。
12、在本申请一些可能的实施例，所述警示部主体的第一端与所述限位部相对并列设置于所述通槽的第一端。
13、在本申请一些可能的实施例，所述接触部设置有多个，多个所述接触部中的至少一个设置于所述通槽的第二端在垂直方向的上内壁，多个所述接触部中的至少一个设置于所述通槽的第二端在垂直方向的下内壁。
14、在本申请一些可能的实施例，所述回路弹片部包括：
15、两组回路弹片，每组所述回路弹片设置于所述警示部主体的第二端，两组所述回路弹片中的一对与设置于所述通槽的第二端在垂直方向的上内壁的所述接触部对应，另一对与设置于所述通槽的第二端在垂直方向的下内壁的所述接触部对应。
16、在本申请一些可能的实施例，所述应变传感器设置有多个，多个所述应变传感器中的至少一个设置于所述测量部在垂直方向的上表面，多个所述应变传感器中的至少一个设置于所述测量部在垂直方向的下表面。
17、在本申请一些可能的实施例，所述应变传感器和所述警示单元均被控制单元连接，以令所述控制单元当所述应变传感器反馈的数据表示所述测量部的形变达到预设形变程度，使所述警示单元发出所述警示信号。
18、在本申请一些可能的实施例，所述探针部包括：
19、针压探针；
20、装夹块，用于装夹所述针压探针；
21、绝缘块，装设于所述测量部的第二端，所述绝缘块用于绝缘安装所述装夹块。
22、另一方面，本申请提供了一种质检设备，所述质检设备包括如上述方面所述的针压测试模块。
23、本申请实施例提供了一种针压测试模块和质检设备，针压测试模块包括：测量部，包括通槽，所述通槽在所述测量部的水平方向上设置；连接座，用于装设所述测量部的第一端；探针部，装设于所述测量部的第二端；限位部，所述限位部的第一端设置于所述通槽的第一端，所述限位部的第二端在所述通槽内悬空，所述限位部的第二端用于对所述测量部在垂直方向产生的形变进行限位；应变传感器，设置于所述测量部在垂直方向的表面。通过设置限位部对测量体的形变进行限制，使得应变传感器因测量体的形变而产生的形变也可以得到限制，从而可以将应变传感器的形变限制在应变传感器的形变极限内，进而可以减少因应变传感器的过度形变而造成应变传感器损坏的情况。
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1.一种针压测试模块，其特征在于，所述针压测试模块包括：
2.根据权利要求1所述的针压测试模块，其特征在于，所述针压测试模块还包括：
3.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，所述限位部设置有装夹结构，所述装夹结构对所述警示部主体进行装夹。
4.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，所述警示部主体的第一端与所述限位部相对并列设置于所述通槽的第一端。
5.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，所述接触部设置有多个，多个所述接触部中的至少一个设置于所述通槽的第二端在垂直方向的上内壁，多个所述接触部中的至少一个设置于所述通槽的第二端在垂直方向的下内壁。
6.根据权利要求5所述的针压测试模块，其特征在于，所述回路弹片部包括：
7.根据权利要求1所述的针压测试模块，其特征在于，所述应变传感器设置有多个，多个所述应变传感器中的至少一个设置于所述测量部在垂直方向的上表面，多个所述应变传感器中的至少一个设置于所述测量部在垂直方向的下表面。
8.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，
9.根据权利要求1所述的针压测试模块，其特征在于，所述探针部包括：
10.一种质检设备，其特征在于，所述质检设备包括如权利要求1至9中任一项所述的针压测试模块。
...【技术特征摘要】
1.一种针压测试模块，其特征在于，所述针压测试模块包括：
2.根据权利要求1所述的针压测试模块，其特征在于，所述针压测试模块还包括：
3.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，所述限位部设置有装夹结构，所述装夹结构对所述警示部主体进行装夹。
4.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，所述警示部主体的第一端与所述限位部相对并列设置于所述通槽的第一端。
5.根据权利要求2所述的针压测试模块，其特征在于，所述接触部设置有多个，多个所述接触部中的至少一个设置于所述通槽的第二端在垂直方向的上内壁，多个所述接触部中的至少一个设置于所述通槽的第二端在垂直方向的下内壁。
6.根据权利要求5所述的针压测试...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴贵阳，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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