【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及角速度传感器，尤其涉及一种角速度传感器。
技术介绍
1、陀螺仪作为一种惯性传感器，广泛用于测量各种载体的角速度，对于载体的姿态测量与控制、导航与制导系统至关重要。随着技术的发展，微机械陀螺仪凭借其成本低、性能稳定、环境适应性强、可个性化定制等优势，逐渐成为主流选择，尤其在测绘、物流、巡检等工业级无人机、智能驾驶、商业航天、无人船等领域中的应用越来越广泛。然而，传统的分立式石英微机械陀螺仪由于结构复杂，导致整体体积较大，难以集成到对尺寸有严格要求的应用场景中。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种体积小的角速度传感器，用以解决现有技术中角速度传感器体积较大的缺陷。
2、本专利技术提供一种角速度传感器，包括：
3、盖板；
4、壳体，所述壳体包括主体和阶梯腔，所述盖板与所述壳体相连以便密封所述阶梯腔，所述阶梯腔包括在第一方向上依次连通的第一腔、第二腔和第三腔，所述第一腔、所述第二腔和所述第三腔的横截面积依次减小，所述第三腔设在所述阶梯腔的底部，所述壳体的内壁上设有内部电路；
5、隔离件，所述隔离件设在所述第一腔内，所述隔离件上设有凸台；
6、角速度检测件，所述角速度检测件与所述凸台固定连接；
7、电子模块，所述电子模块设在所述第二腔内；
8、解调模块，所述解调模块设在所述第三腔内；
9、所述角速度检测件、所述电子模块和所述解调模块均与所述内部电路电连接。
10、在一些
11、在一些实施例中，所述第二腔的底壁上设有多组第四电极板，所述第三腔的开口形成在所述第二腔的底壁上，所述第四电极板与所述第三腔的开口在第二方向上间隔布置，所述第二方向与所述第一方向正交，所述电子模块与所述第四电极板电连接，所述解调模块的一部分伸入所述第二腔内。
12、在一些实施例中，所述第二腔的底壁上设有四组第五电极板，四组所述第五电极板分别设置在所述第三腔的开口的四周，所述解调模块与所述第五电极板电连接，所述解调模块与所述第三腔的底壁固定连接。
13、在一些实施例中，所述角速度传感器包括屏蔽环，所述屏蔽环设在所述盖板和所述主体之间，所述盖板和所述主体均与所述屏蔽环焊接相连。
14、在一些实施例中，所述盖板与所述壳体配合的一面设有第一凸出部，所述第一凸出部能够伸入所述屏蔽环内。
15、在一些实施例中，所述第一凸出部上设有第二凸出部，所述第二凸出部能够伸入两组所述第一电极板之间。
16、在一些实施例中，所述第一腔的内周壁上设有第六电极板，所述壳体与所述盖板配合的端面上设有第七电极板，所述第六电极板和所述第七电极板均接地连接。
17、在一些实施例中，所述壳体内设有多个沿所述第一方向延伸的第一孔，所述第一孔内设有第一导线，所述内部电路包括所述第一导线；
18、和/或，所述壳体内设有多个沿所述第二方向延伸的第二孔，所述第二孔内设有第二导线，所述内部电路包括所述第二导线。
19、在一些实施例中，所述隔离件背离所述凸台的一侧设有屏蔽电极板，所述屏蔽电极板接地连接。
20、本专利技术实施例的角速度传感器，通过将角速度检测件、隔离件、电子模块和解调模块从上到下依次布置在阶梯腔内，相较于平面布局，这种垂直布局能够提高空间利用率。而且在壳体内壁上设有内部电路，不仅减少了外部布线的数量和复杂度，避免了长距离布线带来的信号干扰和功耗增加，还充分利用了壳体内部的空间，使各组件能够紧凑地排列，进一步减小了角速度传感器的体积。
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1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述角速度检测件（2）背离所述凸台（31）的一面设有两组间隔布置的第一电极板（21），所述隔离件（3）上设有两组间隔布置的第二电极板（32），两组所述第一电极板（21）与两组所述第二电极板（32）一一对应且通过金丝相连，所述第一腔（11）内设有第一台阶部（111），所述第一台阶部（111）上设有第三电极板（1111），所述隔离件（3）通过导电银胶（1112）与所述第三电极板（1111）相连。
3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第二腔（12）的底壁上设有多组第四电极板（121），所述第三腔（13）的开口形成在所述第二腔（12）的底壁上，所述第四电极板（121）与所述第三腔（13）的开口在第二方向上间隔布置，所述第二方向与所述第一方向正交，所述电子模块（4）与所述第四电极板（121）电连接，所述解调模块（5）的一部分伸入所述第二腔（12）内。
4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第二腔（12）的底壁上设有四组第五电极板（
5.根据权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，所述角速度传感器包括屏蔽环（6），所述屏蔽环（6）设在所述盖板（7）和所述主体（17）之间，所述盖板（7）和所述主体（17）均与所述屏蔽环（6）焊接相连。
6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，所述盖板（7）与所述壳体（1）配合的一面设有第一凸出部（71），所述第一凸出部（71）能够伸入所述屏蔽环（6）内。
7.根据权利要求6所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一凸出部（71）上设有第二凸出部（72），所述第二凸出部（72）能够伸入两组所述第一电极板（21）之间。
8.根据权利要求6所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一腔（11）的内周壁上设有第六电极板（112），所述壳体（1）与所述盖板（7）配合的端面上设有第七电极板（14），所述第六电极板（112）和所述第七电极板（14）均接地连接。
9.根据权利要求3所述的角速度传感器，其特征在于，所述壳体（1）内设有多个沿所述第一方向延伸的第一孔（15），所述第一孔（15）内设有第一导线，所述内部电路包括所述第一导线；
10.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述隔离件（3）背离所述凸台（31）的一侧设有屏蔽电极板（34），所述屏蔽电极板（34）接地连接。
...【技术特征摘要】
1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述角速度检测件（2）背离所述凸台（31）的一面设有两组间隔布置的第一电极板（21），所述隔离件（3）上设有两组间隔布置的第二电极板（32），两组所述第一电极板（21）与两组所述第二电极板（32）一一对应且通过金丝相连，所述第一腔（11）内设有第一台阶部（111），所述第一台阶部（111）上设有第三电极板（1111），所述隔离件（3）通过导电银胶（1112）与所述第三电极板（1111）相连。
3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第二腔（12）的底壁上设有多组第四电极板（121），所述第三腔（13）的开口形成在所述第二腔（12）的底壁上，所述第四电极板（121）与所述第三腔（13）的开口在第二方向上间隔布置，所述第二方向与所述第一方向正交，所述电子模块（4）与所述第四电极板（121）电连接，所述解调模块（5）的一部分伸入所述第二腔（12）内。
4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第二腔（12）的底壁上设有四组第五电极板（122），四组所述第五电极板（122）分别设置在所述第三腔（13）的开口的四周，所述解调模块（5）与所述第五电极板（122）电连接，所述解调模块（5）与所述第三腔（13）的底壁固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖兴才，魏琳，张旭东，李曼，王松杰，姚冉，
申请(专利权)人：北京晨晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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