取料装置和固晶机制造方法及图纸

技术编号:44061209 阅读:5 留言:0更新日期:2025-01-17 16:01
本技术公开一种取料装置和固晶机,该取料装置包括安装座、驱动件、取料机构、第一导电件、第二导电件、第一线路、及第二线路,该驱动件设于安装座,驱动件具有输出轴,输出轴开设有用以供线路通过的通道;取料装置包括与输出轴驱动连接的取料件;第一导电件与输出轴驱动连接;第二导电件固定于安装座、并与第一导电件转动连接;第一线路一端连接于第一导电件,另一端穿设于通道与取料件连接;第二线路一端用以与电源连接,另一端与第二导电件连接。本技术的技术方案旨在将连接取料装置的连接线路收容于气电传输器、并可随取料装置同步转动,减小连接线路缠绕取料装置的可能性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及固晶机的,特别涉及一种取料装置和固晶机


技术介绍

1、目前,固晶机在对进行固晶时,通过吸嘴吸附拾取晶圆,再由转盘将晶圆移动至进行加工的位置,转盘和吸嘴这些设备上通常需要连接较多的连接线路,由于这些连接线路在转盘和吸嘴的周围设置,转盘受这些线路干扰,可能在转动过程中可能会被这些连接线路缠绕,从而导致转盘和其他设备无法正常运行。


技术实现思路

1、本技术的主要目的是提供一种取料装置,旨在将连接取料装置的连接线路收容于气电传输器、并可随取料装置同步转动,减小连接线路缠绕取料装置的可能性。

2、为实现上述目的,本技术提出的取料装置包括:

3、安装座;

4、驱动件,设于所述安装座,所述驱动件具有输出轴,所述输出轴开设有用以供线路通过的通道

5、取料机构,包括与所述输出轴驱动连接的取料件;

6、第一导电件,与所述输出轴驱动连接;

7、第二导电件,固定于所述安装座,所述第二导电件与所述第一导电件转动连接;

8、第一线路,一端连接于所述第一导电件,另一端穿设于所述通道与所述取料件连接;以及

9、第二线路,一端用以与电源连接,另一端与所述第二导电件连接。

10、可选地,所述取料装置还包括设于所述第一导电件外周面的第一连接口,所述第一连接口与所述取料件之间连接有第一管道,所述第一管道穿设通过所述输出轴。

11、可选地,所述取料件包括设于所述取料机构的升降机构、及滑动设于所述升降机构的吸嘴,所述吸嘴具有与所述第一管道连通的吸附气道。

12、可选地,所述取料装置还包括设于所述第二导电件外周面的多个第二连接口,用以连接第二管道,所述第一管道与所述第二管道相连通,以用于供气体在所述第二管道和所述第一管道之间流通。

13、可选地,所述取料件设置有多个,所述第二连接口设置对应多个所述取料件设置有多个,每个所述取料件对应每个所述第二连接口连接有一所述第二管道。

14、可选地,所述安装座还包括挡护件,所述第二导电件固定于所述挡护件。

15、可选地,所述取料装置还包括连接所述取料件的控制器、及与所述输出轴驱动连接的转动件,所述取料件设于所述转动件,所述取料件与所述转动件限制有收容腔,所述控制器收容于所述收容腔。

16、可选地,所述收容腔与所述通道相连通。

17、可选地,所述转动件开设有多个减重孔。

18、本技术还提出一种固晶机,包括前述的取料装置。

19、本技术的技术方案中,该取料装置包括安装座、驱动件、取料机构、第一导电件、第二导电件、第一线路、及第二线路,该驱动件设于安装座,驱动件具有输出轴,输出轴开设有用以供线路通过的通道;取料装置包括与输出轴驱动连接的取料件;第一导电件与输出轴驱动连接;第二导电件固定于安装座、并与第一导电件转动连接;第一线路一端连接于第一导电件,另一端穿设于通道与取料件连接;第二线路一端用以与电源连接,另一端与第二导电件连接。如此,当驱动件驱动取料件转动时,第二导电件与用以连接电源的第二线路连接,第一导电件连接第二导电件,以将电能传导至第一线路,为取料机构提供电能,使第二连接线路无需穿设通过通道与取料件连接,第一导电件与输出轴驱动连接,使第一导电件能够跟随取料件同步转动,第一线路穿设于通道内与取料件连接,使第一连接线路不会因第一导电件和取料件的转动而发生缠绕,第二导电件固定于安装座,限制第二导电件的移动,第一导电件与第二导电件转动连接,使第二连接线路不会因为第一导电件转动而发生缠绕,以此,减小了第一线路和第二线路因取料机构在工作转动时而发生缠绕的可能性,提高了取料装置运行的稳定性与安全性,同时减小了第一连接线路和第二连接线路的占用空间。

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【技术保护点】

1.一种取料装置,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的取料装置,其特征在于,所述取料装置还包括设于所述第一导电件外周面的第一连接口,所述第一连接口与所述取料件之间连接有第一管道,所述第一管道穿设通过所述输出轴。

3.如权利要求2所述的取料装置,其特征在于,所述取料件包括设于所述取料机构的升降机构、及滑动设于所述升降机构的吸嘴,所述吸嘴具有与所述第一管道连通的吸附气道。

4.如权利要求2所述的取料装置,其特征在于,所述取料装置还包括设于所述第二导电件外周面的多个第二连接口,用以连接第二管道,所述第一管道与所述第二管道相连通,以用于供气体在所述第二管道和所述第一管道之间流通。

5.如权利要求4所述的取料装置,其特征在于,所述取料件设置有多个,所述第二连接口设置对应多个所述取料件设置有多个,每个所述取料件对应每个所述第二连接口连接有一所述第二管道。

6.如权利要求1所述的取料装置,其特征在于,所述安装座还包括挡护件,所述第二导电件固定于所述挡护件。

7.如权利要求1所述的取料装置,其特征在于,所述取料装置还包括连接所述取料件的控制器、及与所述输出轴驱动连接的转动件,所述取料件设于所述转动件,所述取料件与所述转动件限制有收容腔,所述控制器收容于所述收容腔。

8.如权利要求7所述的取料装置,其特征在于,所述收容腔与所述通道相连通。

9.如权利要求1所述的取料装置,其特征在于,所述转动件开设有多个减重孔。

10.一种固晶机,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的取料装置。

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【技术特征摘要】

1.一种取料装置,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的取料装置,其特征在于,所述取料装置还包括设于所述第一导电件外周面的第一连接口,所述第一连接口与所述取料件之间连接有第一管道,所述第一管道穿设通过所述输出轴。

3.如权利要求2所述的取料装置,其特征在于,所述取料件包括设于所述取料机构的升降机构、及滑动设于所述升降机构的吸嘴,所述吸嘴具有与所述第一管道连通的吸附气道。

4.如权利要求2所述的取料装置,其特征在于,所述取料装置还包括设于所述第二导电件外周面的多个第二连接口,用以连接第二管道,所述第一管道与所述第二管道相连通,以用于供气体在所述第二管道和所述第一管道之间流通。

5.如权利要求4所述的取料装置,其特征在于,所述取料件设置有多个,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖志永吴勇张维伦
申请(专利权)人:深圳市卓兴半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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