【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到多层薄膜沉积。
技术介绍
1、parylene作为当代良好的电绝缘、防潮、防霉、防盐雾涂层材料，因其具有有机材料中最好的阻水能力，被广泛应用于制备微米级别高保形性防水薄膜涂层，但是阻水效果依然不如无机的氧化铝等薄膜；利用ald技术沉积的纳米级别金属氧化物薄膜，如铝氧化物、锌氧化物或其他金属的氧化物薄膜同样可用于制备致密无针孔阻水涂层，但其存在薄膜涂层容易被表面颗粒干扰的缺点。在parylene真空气相沉积工艺的基础上通过增加ald沉积工艺，实现制备ald涂层加parylene的反复叠层防水涂层，发挥叠层优势取长补短，与单parylene薄膜涂层相比，涂层阻水能力得到进一步提升。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本专利技术提供一种复合叠层防水涂层制备技术的设备，解决在同一腔体的条件下实现ald涂层加parylene的反复叠层防水涂层的制备时需花费较长时间等待降温的技术问题。避免了传统制备工艺更换腔体的高耗时与温度升降的高成本。同时本专利技术可以实现在同一腔体条件下通过腔室的快速降温能力实现不同沉积温度的薄膜的叠层的高效制备，可以更好地贴合生产工艺。
2、本专利技术采用的技术方案是：
3、一种复合叠层防水涂层制备装置，主体为双层腔室，包括外层腔室与内层腔室，内层腔室设有ald进气管路、parylene进气管路、内部加热装置和抽空管路，外层腔室设有低温流质输送管路。样品通过打开腔室顶盖后放置在样品支架上，腔室顶盖部分设有密封胶圈用于密封保护
4、进一步的，腔室的气路结构包括，双层镀膜腔室上设有腔室进气管路和抽空气路，与所述的腔室进气管路相连的是ald进气单元与parylene进气单元，与抽空气路相连的是冷阱和真空泵。
5、进一步的，本专利技术上在结构上采用有ald进气和parylene进气的双层腔室设计方案，同时因在双层腔室之间加入低温流质（如液氮）而使腔体具有快速降温能力，将parylene沉积-升温-ald沉积-等待降温（大量时间）-parylene沉积流程简化为parylene沉积-升温-ald沉积-parylene沉积，解决了普遍存在的升温容易降温难的难点，极大限度减少了降温等待时间，大大提高了ald涂层加parylene的反复叠层的制备效率。
6、一种复合叠层防水涂层制备方式，通过以上所述的装置实现，内层腔室接入ald进气单元与parylene进气单元，样品放置在样品支架上之后密封腔室，开启腔室内部加热装置升温至金属氧化物沉积温度，例如80℃。打开ald进气管路的阀门，开始ald金属氧化物涂层的沉积。然后通过低温流质实现镀膜腔室快速降温至室温沉积另一种薄膜涂层，极大提高了ald涂层加parylene的复合叠层防水涂层的制备效率。
7、本专利技术的有意技术效果是：
8、本专利为一种真空气相沉积设备，应用ald技术与真空气相沉积技术实现样品表面反复叠层防水涂层的制备。例如parylene和氧化铝叠层。若按照传统的沉积制备工艺，需在parylene真空气相沉积设备与ald沉积设备间来回切换实现薄膜叠层制备以及面临镀膜设备降温慢等待时间长拉低镀膜效率的痛点。传统工艺制备效率低且会极大提高制备过程中的时间成本与经济成本。因此在本专利的设计中在结构上采用有ald进气和parylene进气的双层腔室设计方案，通过在双层腔室之间加入低温流质（如液氮）实现腔体的快速降温，避免了在ald工艺沉积之后花费大量时间等待降温。因此本专利可以实现快速ald涂层加parylene的复合叠层的制备。与传统的制备工艺相比大大降低了时间成本与经济成本。
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1.一种复合叠层防水涂层制备装置，其特征是：主体为双层腔室，包括外层腔室（10）与内层腔室（11），内层腔室（11）设有ALD进气管路（4）、Parylene进气管路（5）、内部加热装置（12）和抽空管路（14），外层腔室（10）设有低温流质输送管路（2）。样品通过打开腔室顶盖（8）后放置在样品支架（13）上，腔室顶盖部分设有密封胶圈（9）用于密封保护，在内层腔室（11）实现样品的不同沉积温度复合叠层的制备。
2.根据权利要求1所述的一种复合叠层防水涂层制备装置，其特征是：镀膜腔室的气路结构包括，在内层腔室（11）上设有ALD进气路（4），Parylene进气管路（5）和抽空气路（14），与所述的腔室ALD进气路（4）相连的是ALD进气单元（3），与Parylene进气管路（5）相连的是Parylene进气单元（6），与抽空气路相连的是冷阱（15）和真空泵（16）。
3.根据权利要求1所述的一种复合叠层防水涂层制备装置，其特征是：结构上采用有ALD进气和Parylene进气的双层腔室设计方案，同时因在双层腔室之间加入低温流质（如液氮）而使腔体具有快速降温能
4.复合叠层防水涂层的制备方式，其特征是：通过权利要求1所述的装置实现，内层腔室（11）接入ALD进气单元（3）与Parylene进气单元（6），样品放置在样品支架（13）上之后密封腔室，开启腔室内部加热装置（12）升温至金属氧化物沉积温度，例如80℃。打开ALD进气管路（4）的阀门（7），开始ALD金属氧化物涂层的沉积。之后通过低温流质实现镀膜腔室快速降温至室温沉积另一种薄膜涂层，极大提高了ALD涂层加Parylene的复合叠层防水涂层的制备效率。
...【技术特征摘要】
1.一种复合叠层防水涂层制备装置，其特征是：主体为双层腔室，包括外层腔室（10）与内层腔室（11），内层腔室（11）设有ald进气管路（4）、parylene进气管路（5）、内部加热装置（12）和抽空管路（14），外层腔室（10）设有低温流质输送管路（2）。样品通过打开腔室顶盖（8）后放置在样品支架（13）上，腔室顶盖部分设有密封胶圈（9）用于密封保护，在内层腔室（11）实现样品的不同沉积温度复合叠层的制备。
2.根据权利要求1所述的一种复合叠层防水涂层制备装置，其特征是：镀膜腔室的气路结构包括，在内层腔室（11）上设有ald进气路（4），parylene进气管路（5）和抽空气路（14），与所述的腔室ald进气路（4）相连的是ald进气单元（3），与parylene进气管路（5）相连的是parylene进气单元（6），与抽空气路相连的是冷阱（15）和真空泵...
【专利技术属性】
技术研发人员：张岳，杜新伍，张金刚，
申请(专利权)人：上海派拉纶生物技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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