【技术实现步骤摘要】
本公开涉及太阳能电池领域，更具体地，涉及晶体硅太阳能电池及其制备方法和槽体装置。
技术介绍
1、在太阳能电池领域，目前广泛使用的是恒温制绒清洗方法，通过碱、制绒添加剂和纯水的混合溶液在恒定温度下对硅片表面进行腐蚀，形成随机金字塔的陷光结构。
2、然而，通过恒温制绒清洗方法产生的金字塔绒面结构，会对后续的钝化、金属化等工艺产生不良影响，进而导致效率降低。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本公开提供了一种晶体硅太阳能电池及其制备方法及槽体装置，可以更好地调控绒面结构的制备过程，提高绒面结构的均匀性，进而提高太阳能电池片的光电转换效率。
2、本公开提供了一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，包括：在变温环境下对所述硅片进行制绒，以得到所述晶体硅太阳能电池的绒面结构，其中，所述变温环境对应多个时间段，不同时间段的温度不全相同。
3、在一些实施例中，晶体硅太阳能电池的制备方法还包括：所述变温环境对应的多个时间段中，在前时间段的温度大于在后时间段的温度。
4、在一些实施例中，在变温环境下对所述硅片进行制绒，还包括：第一时间段，在第一温度下对所述硅片进行制绒；第二时间段，在第二温度下对所述硅片进行制绒；其中，所述第一温度大于所述第二温度。
5、在一些实施例中，所述变温环境还包括第三时间段；所述第三时间段位于所述第一时间段和所述第二时间段之间；在变温环境下对所述硅片进行制绒，还包括：第三时间段，在温度由所述第一温度降低至所述第
6、在一些实施例中，在变温环境下对所述硅片进行制绒之前，还包括：对硅片进行抛光，包括：使用碱溶液在65至85℃下对所述硅片进行抛光20至100秒，其中，所述碱溶液的浓度为3.0至8.0wt％。
7、在一些实施例中，在对硅片进行抛光之后并且在变温环境下对所述硅片进行制绒之前，还包括：对所述硅片进行预清洗，包括：在60至70℃下，使用碱和双氧水的第一混合溶液对所述硅片进行预清洗100至240秒，其中，在所述第一混合溶液中，碱的浓度为0.5至3.0wt％，双氧水的浓度为2.0至5.0wt％。
8、在一些实施例中，在变温环境下对所述硅片进行制绒，包括：在变温环境下，使用碱和制绒添加剂的第二混合溶液与所述硅片进行反应制绒。
9、在一些实施例中，在所述第二混合溶液中，碱的浓度为0.4至2.0wt％，所述制绒添加剂的浓度为0.3至1.0wt％。
10、在一些实施例中，所述变温环境包括第一时间段、第二时间段、第三时间段；所述第一时间段的第一温度为80至85℃，所述第一时间段为120至240秒；所述第二时间段为200至300秒，所述第二时间段的第二温度为70至75℃；所述第三时间段为120至360秒。
11、在一些实施例中，在变温环境下对所述硅片进行制绒之后，还包括：使用碱和双氧水的第三混合溶液对所述硅片进行清洗；使用包括氢氟酸和盐酸的混合酸溶液浸泡所述硅片；对所述硅片进行预脱水、烘干。
12、在一些实施例中，在所述第三混合溶液中，碱的浓度为0.4至2.0wt％，双氧水的浓度为2.0至5.0wt％，使用碱和双氧水的第三混合溶液对所述硅片进行清洗包括：在60至70℃下对所述硅片进行清洗150至250秒。
13、在一些实施例中，在所述混合酸溶液中，氢氟酸的浓度为3.0至6.0wt％，盐酸的浓度为2.0至5.0wt％，使用包括氢氟酸和盐酸的混合酸溶液浸泡所述硅片包括：在20至25℃下浸泡所述硅片120至250秒。
14、在一些实施例中，所述预脱水包括使用25至60℃的水，利用慢提拉方式对所述硅片进行预脱水60至120秒；所述烘干包括使用80至100℃的循环热气流将所述硅片烘干500至1000秒。
15、在一些实施例中，对所述硅片进行抛光时使用的碱溶液、对所述硅片进行预清洗时使用的第一混合溶液、对所述硅片进行制绒时使用的第二混合溶液、对所述硅片进行清洗时使用的第三混合溶液中的碱各自独立地包括氢氧化钾和/或氢氧化钠。
16、本公开还提供了一种太阳能电池，该太阳能电池为通过上述制备方法制备得到的晶体硅太阳能电池。
17、本公开还提供了一种用于制备太阳能电池的槽体装置，包括：主槽，主槽中设置有温度传感器；副槽，其中，主槽和副槽之间通过依次连接的冷却循环阀门、冷却循环泵和换热器进行冷却循环，通过依次连接的加热循环阀门、加热循环泵和加热器进行日常循环和加热循环，以在变温环境下对硅片进行制绒；排液系统，用于排出主槽和副槽中的液体。
18、本公开提供的晶体硅太阳能电池的制备方法，通过在变温环境下对硅片进行制绒，其中变温环境对应多个时间段，不同时间段的温度不全相同，如此可以形成更为均匀的金字塔绒面结构，进而提高太阳能电池片的光电转换效率。
19、另外，本公开还提供一种槽体装置，可以实现对槽体工艺温度的快速调节。本公开提供的晶体硅太阳能电池的制备方法和槽体装置，宽容度高，可适配多种太阳能电池硅片，例如，多种单晶硅片，可应用于发射极和背面钝化电池(perc)、氧化层钝化接触(topcon)、异质结(hjt)等各种太阳能电池工艺技术，具有广泛的应用前景。
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1.一种晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述变温环境对应的多个时间段中，在前时间段的温度大于在后时间段的温度。
3.根据权利要求2所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对硅片进行制绒，包括：
4.根据权利要求3所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述变温环境还包括第三时间段；所述第三时间段位于所述第一时间段和所述第二时间段之间；
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对硅片进行制绒之前，还包括：对硅片进行抛光，包括：使用碱溶液在65至85℃下对所述硅片进行抛光20至100秒，其中，所述碱溶液的浓度为3.0至8.0wt％。
6.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在对硅片进行抛光之后并且在变温环境下对所述硅片进行制绒之前，还包括：对所述硅片进行预清洗，包括：在60至70℃下，使用碱和双氧水的第一混合溶液对所述硅片进行预清洗10
7.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对所述硅片进行制绒，包括：
8.根据权利要求7所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述第二混合溶液中，碱的浓度为0.4至2.0wt％，所述制绒添加剂的浓度为0.3至1.0wt％。
9.根据权利要求8所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述变温环境包括第一时间段、第二时间段、第三时间段；所述第一时间段的第一温度为80至85℃，所述第一时间段为120至240秒；所述第二时间段为200至300秒，所述第二时间段的第二温度为70至75℃；所述第三时间段为120至360秒。
10.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对所述硅片进行制绒之后，还包括：
11.根据权利要求10所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述第三混合溶液中，碱的浓度为0.4至2.0wt％，双氧水的浓度为2.0至5.0wt％，使用碱和双氧水的第三混合溶液对所述硅片进行清洗包括：在60至70℃下对所述硅片进行清洗150至250秒。
12.根据权利要求10所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述混合酸溶液中，氢氟酸的浓度为3.0至6.0wt％，盐酸的浓度为2.0至5.0wt％，使用包括氢氟酸和盐酸的混合酸溶液浸泡所述硅片包括：在20至25℃下浸泡所述硅片120至250秒。
13.根据权利要求10所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述预脱水包括使用25至60℃的水，利用慢提拉方式对所述硅片进行预脱水60至120秒；所述烘干包括使用80至100℃的循环热气流将所述硅片烘干500至1000秒。
14.根据权利要求10所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，对所述硅片进行抛光时使用的碱溶液、对所述硅片进行预清洗时使用的第一混合溶液、对所述硅片进行制绒时使用的第二混合溶液、对所述硅片进行清洗时使用的第三混合溶液中的碱各自独立地包括氢氧化钾和/或氢氧化钠。
15.一种太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池为根据权利要求1至14中任一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法制备得到的晶体硅太阳能电池。
16.一种用于制备太阳能电池的槽体装置，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述变温环境对应的多个时间段中，在前时间段的温度大于在后时间段的温度。
3.根据权利要求2所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对硅片进行制绒，包括：
4.根据权利要求3所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述变温环境还包括第三时间段；所述第三时间段位于所述第一时间段和所述第二时间段之间；
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对硅片进行制绒之前，还包括：对硅片进行抛光，包括：使用碱溶液在65至85℃下对所述硅片进行抛光20至100秒，其中，所述碱溶液的浓度为3.0至8.0wt％。
6.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在对硅片进行抛光之后并且在变温环境下对所述硅片进行制绒之前，还包括：对所述硅片进行预清洗，包括：在60至70℃下，使用碱和双氧水的第一混合溶液对所述硅片进行预清洗100至240秒，其中，在所述第一混合溶液中，碱的浓度为0.5至3.0wt％，双氧水的浓度为2.0至5.0wt％。
7.根据权利要求1至4中任意一项所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在变温环境下对所述硅片进行制绒，包括：
8.根据权利要求7所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述第二混合溶液中，碱的浓度为0.4至2.0wt％，所述制绒添加剂的浓度为0.3至1.0wt％。
9.根据权利要求8所述的晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述变温环境包括第一时间段、第二时间段、第三时间段；所述第一时间段的第一温度为80至85...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓清，刘娟，赵杰，陈如龙，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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