【技术实现步骤摘要】
本公开涉及真空镀膜，尤其涉及一种碳离子激发源装置及真空镀膜系统。
技术介绍
1、碳离子激发源在材料科学、核物理、医疗和工业应用中具有重要作用，特别是在医疗领域，碳离子疗法因其高精度和对肿瘤细胞的高效杀伤性，成为癌症治疗中的一种前沿技术。在材料科学中，碳离子束可以用于材料的表面改性、掺杂以及纳米结构的形成。
2、相关技术中的碳离子激发源系统通常依赖单一离子源和电源进行操作，存在镀膜区域较小、靶材利用率较低、可靠性较差、效率低下、能量不稳定等问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供一种碳离子激发源装置及真空镀膜系统，可以提高可靠性。
2、在本公开的一个方面，提供一种碳离子激发源装置，包括：
3、阳极；
4、多个第一引弧组件，沿第一方向设置于阳极的一侧，每个第一引弧组件具有第一起弧部、第一点火部和第一绝缘部；
5、支撑组件，具有容纳多个第一引弧组件的支撑部，并向第一引弧组件供电；
6、多个靶材，沿第一方向与支撑组件远离支撑结构的一侧连接，多个靶材分别与多个第一引弧组件对应；
7、其中，多个靶材被配置为分别与阳极之间形成电弧。
8、在一些实施例中，第一起弧部包括：
9、第一起弧电极，卡接于支撑部；
10、第一石墨电极，沿第一方向与第一起弧电极相邻设置，用于与对应的靶材之间形成电弧。
11、在一些实施例中，第一起弧部还包括：
12、第二石
13、第二起弧电极，沿第一方向与第二石墨电极卡接，第二石墨电极和第二起弧电极沿第一方向设置于第一石墨电极和第一点火部之间；
14、其中，第二石墨电极通过第二起弧电极与第一点火部电连接，第一点火部被配置为使第二石墨电极与第一石墨电极之间产生电弧。
15、在一些实施例中，第一绝缘部包括：
16、绝缘环，设置于第一石墨电极和第二石墨电极之间；
17、第一绝缘底座，与第二起弧电极相邻设置，沿第一方向设置于第二起弧电极远离第二石墨电极的一侧；
18、第一绝缘支撑柱，设置于第一绝缘底座远离第二起弧电极的一侧；
19、多个第一绝缘垫片，分别设置于第一绝缘支撑柱与第一绝缘底座之间以及第一点火部与第一绝缘底座之间。
20、在一些实施例中，第一点火部包括多个第一点火器，多个第一点火器分别与多个靶材对应，并沿第一起弧部的周向等距间隔设置。
21、在一些实施例中，第二石墨电极和第二起弧电极的数量为多个，第二石墨电极和第二起弧电极的数量分别与第一点火器的数量相等；
22、其中，每个第二石墨电极和每个第二起弧电极均呈月牙型，且每个第二石墨电极和每个第二起弧电极对应的圆弧角度相等。
23、在一些实施例中，支撑组件包括：
24、第一支撑座，支撑结构设置于第一支撑座；
25、第二支撑座，沿第一方向与第一支撑座间隔设置；
26、第二点火部，包括多个第二点火器，多个第二点火器穿过第二支撑座分别与多个第一点火部插接；
27、第三支撑座，沿第一方向与第二支撑座间隔设置，具有供靶材插接的开孔；
28、连接件，分别支撑于第一支撑座与第二支撑座之间以及第二支撑座和第三支撑座之间；
29、第二接线柱，插设于第三支撑座，用于向第二点火部、第一起弧部供电。
30、在一些实施例中，碳离子激发源装置还包括：
31、第二引弧组件，沿第一方向设置于第一引弧组件和靶材之间，并位于第一支撑座和第三支撑座围成的支撑空间内；
32、其中，第二引弧组件包括：
33、多个第三石墨电极，每个第三石墨电极分别与多个第一引弧组件和多个靶材对应，用于与第一石墨电极之间形成电弧；
34、第三起弧电极，与多个第三石墨电极连接，第三起弧电极具有供第二点火部穿过的开孔；
35、第三接线柱，分别与第三起弧电极和支撑组件插接，用于向第三石墨电极供电。
36、在一些实施例中，碳离子激发源装置还包括：
37、多个冷却组件，分别与多个靶材连接；
38、其中，冷却组件包括沿第一方向依次设置的冷却管道、冷却介质进入管、冷却管入口和冷却管出口，冷却管道被配置为向靶材供电。
39、在一些实施例中，支撑组件还包括：
40、第二绝缘座，套设于第二点火器远离第一点火器的端部；
41、冷却水套管，插设于第三支撑座；
42、密封垫片，设置于冷却水套管。
43、在本公开的另一方面，提供一种真空镀膜系统，包括：
44、如上述任一实施例的碳离子激发源装置。
45、因此，根据本公开实施例，设置一个阳极为多个靶材供电，简化了电源配置，减少了系统的硬件成本和复杂性，可以更有效地控制电弧的发生和发展，减少因单点故障导致的不稳定因素，显著扩大离子源的镀膜有效区域，提升离子源的整体加工能力，提高碳离子激发源装置的可靠性。
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1.一种碳离子激发源装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一起弧部包括：
3.如权利要求2所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一起弧部还包括：
4.如权利要求3所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一绝缘部包括：
5.如权利要求3~5任一所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一点火部包括多个第一点火器（29），多个所述第一点火器（29）分别与所述多个靶材（4）对应，并沿所述第一起弧部的周向等距间隔设置。
6.如权利要求5所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第二石墨电极（23）和所述第二起弧电极（24）的数量为多个，所述第二石墨电极（23）和所述第二起弧电极（24）的数量分别与所述第一点火器（29）的数量相等；
7.如权利要求5所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述支撑组件（3）包括：
8.如权利要求7所述的碳离子激发源装置，其特征在于，还包括：
9.如权利要求7所述的碳离子激发源装置，其特征在于，还包括：
1
11.一种真空镀膜系统，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种碳离子激发源装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一起弧部包括：
3.如权利要求2所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一起弧部还包括：
4.如权利要求3所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一绝缘部包括：
5.如权利要求3~5任一所述的碳离子激发源装置，其特征在于，所述第一点火部包括多个第一点火器（29），多个所述第一点火器（29）分别与所述多个靶材（4）对应，并沿所述第一起弧部的周向等距间隔设置。
6.如权利要求5所述的碳离子激发源装...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯森，邹梁，陈新春，
申请(专利权)人：江苏徐工工程机械研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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