【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种高稳定性微型柱体针尖成型装置，特别涉及一种适用于原子力显微镜探针装置、电子显微镜电子束发射针及离子束发射装置的高稳定性微型柱体针尖成型装置。
技术介绍
1、电子显微镜及原子力显微镜是当代重要的科学基础研究工具，在工程材料检测、半导体的先进制程等众多科研领域发挥重要作用。原子力显微镜探针在样品观测过程中，极易受到样品表面影响而导致针尖损耗，同时操作过程中的位移也易导致撞针，造成探针损坏。而原子力显微镜设备一般需进口，耗材贸易周期长且耗费较高成本。
2、此外，聚焦离子束显微镜作为重要的芯片加工设备，其中的离子束发射装置消耗量较大，离子束核心配件需求市场较大。
3、对于原子力显微镜探针而言，想要达到原子间相互作用的探针效果，必须具备高精度的尖端圆角曲率半径，才能实现工程材料表面性能的监测效果。同时，保持较高精度的尖端曲率半径，也是离子束发射尖的必备条件之一。
4、用于缓解原子力显微镜探针、电子束/离子束发射针等耗材的市场需求以及相关耗材应用于设备的运行稳定性，高精度圆角曲率半径的针尖成型工艺方法十分关键。由于金属发射针一般都是采用电化学腐蚀法，尤其是在人工操作时，制作的发射尖曲率半径存在上下浮动，直接影响了仪器运行的稳定性和寿命等性能，进而影响到整个系统的工作特性。
5、因此，特别需要一种高稳定性微型柱体针尖成型装置，以解决上述现有存在的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种高稳定性微型柱体针尖成型装置，针对现有技
2、本技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
3、一种高稳定性微型柱体针尖成型装置，包括装置底座、阴极反应器、夹具、移动滑台组件、驱动装置和电源；移动滑台组件的固定端通过固定连接件固定在装置底座上，移动滑台组件的滑动端固定有驱动移动滑台组件的滑动端在移动滑台组件的固定端上垂直方向上下运动的驱动装置，驱动装置连接有电源；夹具固定在移动滑台组件的滑动端的下部表面，阴极反应器设置在装置底座上并与夹具在垂直方向上相对应。
4、在本技术的一个优选实施例中，所述驱动装置包括联轴器、步进电机和驱动器，步进电机通过联轴器与移动滑台组件相连接，步进电机通过驱动器与电源相连接。
5、在本技术的一个优选实施例中，所述移动滑台组件的固定端与所述移动滑台组件的滑动端之间设置有位置固定旋紧螺丝。
6、在本技术的一个优选实施例中，所述夹具通过一连接件固定在所述移动滑台组件的滑动端的下部表面，所述连接件上设置有震动马达，所述震动马达通过引线连接所述电源。
7、本技术的高稳定性微型柱体针尖成型装置，与现有技术相比，实现金属柱形体针尖成型过程中深度的精准控制，使金属柱形体针尖成型具有高稳定性，金属柱形体针尖曲率半径具备较高精度，确保金属柱形体针尖多次制备的成型重复性在较高水平，复现性好，制备成品率高，实现本技术的目的。
8、本技术的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
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1.一种高稳定性微型柱体针尖成型装置，其特征在于，包括装置底座、阴极反应器、夹具、移动滑台组件、驱动装置和电源；移动滑台组件的固定端通过固定连接件固定在装置底座上，移动滑台组件的滑动端固定有驱动移动滑台组件的滑动端在移动滑台组件的固定端上垂直方向上下运动的驱动装置，驱动装置连接有电源；夹具固定在移动滑台组件的滑动端的下部表面，阴极反应器设置在装置底座上并与夹具在垂直方向上相对应。
2.如权利要求1所述的高稳定性微型柱体针尖成型装置，其特征在于，所述驱动装置包括联轴器、步进电机和驱动器，步进电机通过联轴器与移动滑台组件相连接，步进电机通过驱动器与电源相连接。
3.如权利要求1所述的高稳定性微型柱体针尖成型装置，其特征在于，所述移动滑台组件的固定端与所述移动滑台组件的滑动端之间设置有位置固定旋紧螺丝。
4.如权利要求1所述的高稳定性微型柱体针尖成型装置，其特征在于，所述夹具通过一连接件固定在所述移动滑台组件的滑动端的下部表面，所述连接件上设置有震动马达，所述震动马达通过引线连接所述电源。
【技术特征摘要】
1.一种高稳定性微型柱体针尖成型装置，其特征在于，包括装置底座、阴极反应器、夹具、移动滑台组件、驱动装置和电源；移动滑台组件的固定端通过固定连接件固定在装置底座上，移动滑台组件的滑动端固定有驱动移动滑台组件的滑动端在移动滑台组件的固定端上垂直方向上下运动的驱动装置，驱动装置连接有电源；夹具固定在移动滑台组件的滑动端的下部表面，阴极反应器设置在装置底座上并与夹具在垂直方向上相对应。
2.如权利要求1所述的高稳定性微型柱体针尖成型装置，其特征在于，所述驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：余学鹏，张金霞，李冰，盛昊阳，崔树静，王宁，
申请(专利权)人：无锡纳斯凯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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