【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅片加工领域，具体涉及一种脱插洗选一体设备。
技术介绍
1、在硅片制备过程中，需经切割、脱胶、插片、清洗、烘干、分选等环节，现有技术中，各个环节独立设置，且缺少对过程中硅片的预筛选、花篮的好坏检测等，这导致整体的效率低、末端分选瑕疵率高等问题。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种脱插洗选一体设备，其能解决上述问题。
2、一种脱插洗选一体设备，包括脱胶机、插片机、清洗机、对接装置、分选机和总控制器；其中，所述脱胶机采用药剂监控的喷淋和浸泡脱胶方式，并采用脱胶检测组件对硅片花篮内的硅片脱胶处理情况进行检测；所述插片机集成分片、抽片、插片预分选、插片和花篮循环供给工段，花篮循环供给工段接收对接装置检测后ok的空花篮，并向清洗机输送插满硅片的满料花篮；所述清洗机集成浸泡、不同洗涤剂清洗和烘干工段，用于批量的满料花篮的清洗和烘干；所述对接装置集成硅片满篮检测预选工段和空篮检测回流工段，用于满篮硅片的预筛选和空花篮的外观检测及回流；所述分选机包括硅片综合检测工段和硅片分选工段，通过顶吸分片方式实现对不同瑕疵类型的硅片的分选；所述总控制器根据分选机的分选结果展示并前馈至上游的脱胶机、插片机、清洗机和对接装置，判定对应工段是否停机检修。
3、可选的，所述脱胶机包括喷淋装置、脱胶装置、漂洗装置、脱胶工作流线、脱胶机架、脱胶移载模块、上料车、脱胶横移盖板组件和脱胶检测组件；喷淋装置设置在脱胶工作流线的上游处进行喷淋脱胶，脱胶检测组件通过
4、可选的，所述插片机包括依次布置的分片模块、抽片模块、预分选插片输送模块和快速换篮模块；在快速换篮模块的下游并排的布置空花篮翻转模块和满花篮翻输送模块，在所述空花篮翻转模块和满花篮翻输送模块上方布置花篮吊装模块；所述快速换篮模块用于空花篮供给和满料花篮退出的循环转运。
5、可选的，所述清洗机包括多级水槽、烘干槽、抛动机构、慢拉机构、料篮回流线、液控清洗系统和料篮搬运机构，多级水槽并排设置且具有同类清洗液的相邻水槽之间采用由工艺清洗下游至上游的阶梯溢流设计，所述烘干槽布置在所述多级水槽的末端水槽下游，所述抛动机构和慢拉机构布置在多级水槽的临近烘干槽的水槽处，所述料篮回流线布置在多级水槽和烘干槽的同一侧端，所述液控清洗系统连接至所述多级水槽并提供清洗液，所述料篮搬运机构用于料篮在多级水槽、烘干槽和料篮回流线间的转运。
6、可选的，所述多级水槽包括浸泡槽、多个清洗槽和多个洗涤槽；浸泡槽设置在清洗工艺上游端，各水槽由液控清洗系统提供对应成分、比例和保证液位量的清洗液；各水槽上设有温度检测单元，多个清洗槽和多个洗涤槽处按需设置超声振动单元和加热单元，临近烘干槽的末节水槽内设置所述慢拉机构，末节水槽相邻的上游多个水槽设置所述抛动机构。
7、可选的，所述液控清洗系统包括清水供给液路、加热水箱、清洗液供给液路、清洗排水流路和水槽自循环流路；所述清水供给液路设置在多级水槽和加热水箱之间，用于向多级水槽提供比列可调的热水和冷水；所述清洗液供给液路用于向多个所述清洗槽和洗涤槽提供不同类型和比例的清洗液；所述清洗排水流路开闭可控的连接至多级水槽的各个水槽；所述水槽自循环流路连通至对应的洗涤槽，用于洗涤槽内的洗涤液的循环搅动。
8、可选的，对接装置包括硅片进料对接皮带线、满篮瑕疵检测模块、满篮瑕疵剔除模块、对接段花篮转运模块、空篮篮齿检测回流线和空篮外形检测流线；所述满篮瑕疵检测模块和满篮瑕疵剔除模块布置在所述硅片进料对接皮带线的流线末端；所述满篮瑕疵剔除模块采用瑕疵篮上层输出和修复篮下层流入及升降的“回”字形料篮供给方式；所述对接段花篮转运模块用于硅片花篮的空间转运；所述空篮外形检测流线布置在所述空篮篮齿检测回流线的下游；其中，在所述空篮篮齿检测回流线的上方布置用于对空篮篮齿检测的线扫相机，在空篮外形检测流线的上方布置用于对空篮外形检测的面阵相机。
9、可选的，所述分选机包括分选系统包括分选上料装置、硅片综合检测装置和非接触顶吸分片式的下料分选装置；在所述分选上料装置和硅片综合检测装置之间设置料型检测装置和分选段碎片剔除装置，用于检测硅片型号以及是否发生破碎，并将破碎的硅片剔除，避免破碎硅片流入硅片综合检测装置；通过所述硅片综合检测装置对硅片进行包括左右崩边、倒角崩、厚度、上下脏污、电阻率、隐裂模组、上下表崩的检测，根据对应项标准比较判定为ok片或ng片，为下料分选装置提供分选依据。
10、相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：本申请的脱胶、插片阶段均对硅片进行了预检测，并增设了兼顾下游输送满篮硅片筛选和上游输送空花篮检测的对接装置，提高了整体效率，保证了末端分选机的分选成品率，自动化程度高，便于在硅片的生产制造领域推广应用。
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1.一种脱插洗选一体设备，其特征在于：所述脱插洗选一体设备包括脱胶机(1000)、插片机(2000)、清洗机(3000)、对接装置(4000)、分选机(5000)和总控制器；
2.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述脱胶机(1000)包括喷淋装置(1100)、脱胶装置(1200)、漂洗装置(1300)、脱胶工作流线(1400)、脱胶机架(1500)、脱胶移载模块(1600)、上料车(1700)、脱胶横移盖板组件(1800)和脱胶检测组件(1900)；喷淋装置(1100)设置在脱胶工作流线(1400)的上游处进行喷淋脱胶，脱胶检测组件(1900)通过光学组件采集硅片料篮里硅片的着胶处的图像。
3.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述插片机(2000)包括依次布置的分片模块(2100)、抽片模块(2200)、预分选插片输送模块(2300)和快速换篮模块(2400)；在快速换篮模块(2400)的下游并排的布置空花篮翻转模块(2500)和满花篮翻输送模块(2600)，在所述空花篮翻转模块(2500)和满花篮翻输送模块(2600)
4.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述清洗机(3000)包括多级水槽(3100)、烘干槽(3200)、抛动机构(3300)、慢拉机构(3400)、料篮回流线(3500)、液控清洗系统(3600)和料篮搬运机构，多级水槽(3100)并排设置且具有同类清洗液的相邻水槽之间采用由工艺清洗下游至上游的阶梯溢流设计，所述烘干槽(3200)布置在所述多级水槽(3100)的末端水槽下游，所述抛动机构(3300)和慢拉机构(3400)布置在多级水槽(3100)的临近烘干槽(3200)的水槽处，所述料篮回流线(3500)布置在多级水槽(3100)和烘干槽(3200)的同一侧端，所述液控清洗系统(3600)连接至所述多级水槽(3100)并提供清洗液，所述料篮搬运机构用于料篮在多级水槽(3100)、烘干槽(3200)和料篮回流线(3500)间的转运。
5.根据权利要求4所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述多级水槽(3100)包括浸泡槽(3110)、多个清洗槽(3120)和多个洗涤槽(3130)；浸泡槽(3110)设置在清洗工艺上游端，各水槽由液控清洗系统(3600)提供对应成分、比例和保证液位量的清洗液；各水槽上设有温度检测单元，多个清洗槽(3120)和多个洗涤槽(3130)处按需设置超声振动单元和加热单元，临近烘干槽(3200)的末节水槽内设置所述慢拉机构(3400)，末节水槽相邻的上游多个水槽设置所述抛动机构(3300)。
6.根据权利要求5所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述液控清洗系统(3600)包括清水供给液路(3610)、加热水箱(3620)、清洗液供给液路(3630)、清洗排水流路(3640)和水槽自循环流路(3650)；所述清水供给液路(3610)设置在多级水槽(3100)和加热水箱(3620)之间，用于向多级水槽(3100)提供比列可调的热水和冷水；所述清洗液供给液路(3630)用于向多个所述清洗槽(3120)和洗涤槽(3130)提供不同类型和比例的清洗液；所述清洗排水流路(3640)开闭可控的连接至多级水槽(3100)的各个水槽；所述水槽自循环流路(3650)连通至对应的洗涤槽(3130)，用于洗涤槽(3130)内的洗涤液的循环搅动。
7.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：对接装置(4000)包括硅片进料对接皮带线(4100)、满篮瑕疵检测模块(4200)、满篮瑕疵剔除模块(4300)、对接段花篮转运模块(4400)、空篮篮齿检测回流线(4500)和空篮外形检测流线(4600)；所述满篮瑕疵检测模块(4200)和满篮瑕疵剔除模块(4300)布置在所述硅片进料对接皮带线(4100)的流线末端；所述满篮瑕疵剔除模块(4300)采用瑕疵篮上层输出和修复篮下层流入及升降的“回”字形料篮供给方式；所述对接段花篮转运模块(4400)用于硅片花篮的空间转运；所述空篮外形检测流线(4600)布置在所述空篮篮齿检测回流线(4500)的下游；其中，在所述空篮篮齿检测回流线(4500)的上方布置用于对空篮篮齿检测的线扫相机(4700)，在空篮外形检测流线(4600)的上方布置用于对空篮外形检测的面阵相机(4800)。
8.根据权利要求7所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述对接装置(4000)包括硅片花篮冷却模块(4900)，所述硅片花篮冷却模块(4900)跨设在...
【技术特征摘要】
1.一种脱插洗选一体设备，其特征在于：所述脱插洗选一体设备包括脱胶机(1000)、插片机(2000)、清洗机(3000)、对接装置(4000)、分选机(5000)和总控制器；
2.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述脱胶机(1000)包括喷淋装置(1100)、脱胶装置(1200)、漂洗装置(1300)、脱胶工作流线(1400)、脱胶机架(1500)、脱胶移载模块(1600)、上料车(1700)、脱胶横移盖板组件(1800)和脱胶检测组件(1900)；喷淋装置(1100)设置在脱胶工作流线(1400)的上游处进行喷淋脱胶，脱胶检测组件(1900)通过光学组件采集硅片料篮里硅片的着胶处的图像。
3.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述插片机(2000)包括依次布置的分片模块(2100)、抽片模块(2200)、预分选插片输送模块(2300)和快速换篮模块(2400)；在快速换篮模块(2400)的下游并排的布置空花篮翻转模块(2500)和满花篮翻输送模块(2600)，在所述空花篮翻转模块(2500)和满花篮翻输送模块(2600)上方布置花篮吊装模块(2700)；所述快速换篮模块(2400)用于空花篮供给和满料花篮退出的循环转运。
4.根据权利要求1所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述清洗机(3000)包括多级水槽(3100)、烘干槽(3200)、抛动机构(3300)、慢拉机构(3400)、料篮回流线(3500)、液控清洗系统(3600)和料篮搬运机构，多级水槽(3100)并排设置且具有同类清洗液的相邻水槽之间采用由工艺清洗下游至上游的阶梯溢流设计，所述烘干槽(3200)布置在所述多级水槽(3100)的末端水槽下游，所述抛动机构(3300)和慢拉机构(3400)布置在多级水槽(3100)的临近烘干槽(3200)的水槽处，所述料篮回流线(3500)布置在多级水槽(3100)和烘干槽(3200)的同一侧端，所述液控清洗系统(3600)连接至所述多级水槽(3100)并提供清洗液，所述料篮搬运机构用于料篮在多级水槽(3100)、烘干槽(3200)和料篮回流线(3500)间的转运。
5.根据权利要求4所述的脱插洗选一体设备，其特征在于：所述多级水槽(3100)包括浸泡槽(3110)、多个清洗槽(3120)和多个洗涤槽(3130)；浸泡槽(3110)设置在清洗工艺上游端，各水槽由液控清洗系统(3600)提供对应成分、比例和保证液位量的清洗液；各水槽上设有温度检测单元，多个清洗槽(3120)和多个洗涤槽(3130)处按需设置超声振动单元和加热单元，临近烘干槽(3200)的末节水槽内设置所述慢拉机构(3400)，末节水槽相邻的上游多个水槽设置所述抛动机构(3300)。
6.根据权利要求5所述的脱插洗选一体设备，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙靖，王承平，徐伟锋，熊勇，薛峰，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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