本申请提供了一种立式炉前置运输装置、立式炉的晶圆盒传送方法及立式炉系统，其中立式炉前置运输装置包括前置壳体、缓存固定装置、平移机械手、升降模组和平移传输模组，前置壳体上开设有对接口，对接口与立式炉的入口对应连接，缓存固定装置和平移传输模组均设置于前置壳体内，升降模组连接平移机械手和平移传输模组，平移机械手和平移传输模组分别沿第一方向和第二方向移动。本发明专利技术中的立式炉前置运输装置实现了自动化生产，进而有效提高了生产效率，将转移运动拆分为第一方向和第二方向的两个独立运动，有效提高了整体的定位精度和运动准确度，也有效提升了装置的适应能力，进而增加了装置的可靠性和实用性，为产品的最终质量提供了保障。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆加工，具体涉及一种立式炉前置运输装置、立式炉的晶圆盒传送方法及立式炉系统。
技术介绍
1、在半导体加工车间，进行晶圆加工时，需要将盛放晶圆的晶圆盒夹取、转运到立式炉内，以便进行后续的加工，现有技术中一般会采用外置裸露的机械手臂对晶圆盒进行传送，通过设置机械手臂可以在特定的轨道或关节运动范围内精确移动，以使实现将晶圆盒平稳地送入立式炉内的预定位置，还可以采用裸露的传送装置进行传送，通常通过设置一套由电机驱动的传送装置与特定的承载工具(如托盘、舟等)相配合来输送硅片。
2、但是这两种方式都需要经过相当繁琐的前期调试过程，以使机械手臂或传送装置能够精确而稳定地将晶圆盒输送至立式炉内的预设位置，存有准备工作繁琐而且难度大的问题，另外现有技术中的机械手臂通常只具有单一的转动臂，导致其运动轨迹复杂而且运动范围有限，存有实用性不佳和适用范围小的情况。
3、针对上述的现有技术存在的问题，急需设计一种新型立式炉前置运输装置，进而解决上述问题。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中存在的技术问题，本申请提供了一种立式炉前置运输装置、立式炉的晶圆盒传送方法及立式炉系统，从而能够解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本申请提供了一种立式炉前置运输装置，包括：
3、前置壳体，所述前置壳体上开设有对接口，所述对接口与立式炉的入口对应连接；
4、缓存固定装置，所述缓存固定装置设置于所述前置壳体内，所述缓存固定装置用于存放和固定晶圆盒；</p>5、平移机械手，所述平移机械手用于托起所述晶圆盒和沿第一方向转移所述晶圆盒；
6、平移传输模组，所述平移传输模组设置于所述前置壳体内，所述平移传输模组沿第二方向移动；
7、升降模组，所述升降模组连接所述平移机械手和所述平移传输模组，所述升降模组用于抬升和放下所述平移机械手；
8、所述平移机械手在所述升降模组的带动下升起，进而使得所述平移机械手能够对应托起所述晶圆盒，所述平移机械手带动所述晶圆盒沿所述第一方向进行移动，以使所述晶圆盒从所述前置壳体内转移至所述立式炉内，所述平移传输模组带动所述平移机械手沿所述第二方向对所述晶圆盒进行位置调整，进而使所述晶圆盒能够转移至所述立式炉内的预设位置。
9、在一些实施方式中，所述缓存固定装置设置于所述前置壳体内远离所述对接口的一侧，所述第一方向与所述立式炉的入口到所述缓存固定装置的方向平行，所述第二方向与所述第一方向对应垂直。
10、在一些实施方式中，所述升降模组包括升降轨道和升降驱动电机，所述升降轨道沿垂直方向设置，所述平移机械手滑动设置于所述升降轨道上，且与所述升降驱动电机对应电连接，进而实现所述平移机械手能够在所述升降驱动电机的带动下沿所述升降轨道进行升降。
11、通过设置升降轨道和升降驱动电机，平移机械手能够在升降驱动电机的带动下沿升降轨道进行升降，进而实现平移机械手能够提起或放下对应的晶圆盒，有效提升晶圆盒升降的稳定性。
12、在一些实施方式中，所述平移机械手包括大臂、小臂和夹持装置，所述大臂的一端转动连接于所述升降模组上靠近所述晶圆盒的一侧，所述大臂的另一端通过所述小臂转动连接所述夹持装置，以使所述夹持装置能够在所述大臂和所述小臂的配合作用下能够实现水平方向的移动。
13、通过设置大臂、小臂和夹持装置，以能够实现夹持装置在大臂和小臂的联合作用下能够带动晶圆盒从缓存固定装置上移动至立式炉内的预设位置，同时确保转移过程的稳定性和精确性。
14、在一些实施方式中，所述夹持装置包括连接部，所述连接部的两侧均设置有夹爪部，两个所述夹爪部之间形成能够容纳所述晶圆盒的收容空间，而且所述夹爪部上远离所述连接部的一端均设置有托起部，两个所述托起部相对设置，所述托起部上设置有限位凸起；
15、所述限位凸起在抓取所述晶圆盒时，在第一方向上对所述晶圆盒进行限位。
16、通过设置限位凸起和限位凸起，以实现所述夹持件能够在所述大臂和所述小臂的配合作用下移动至所述支撑凸起的下方时能够托起晶圆盒，使晶圆盒脱离缓存固定装置，进而实现能够带动所述晶圆盒进行升降和水平移动。
17、在一些实施方式中，所述缓存固定装置上开设有固定槽，所述固定槽与所述晶圆盒相适配，所述固定槽内设置有定位销，所述晶圆盒上对应开设有与所述定位销相适配的定位孔。
18、通过设置限位槽与限位凸起的配合，以使能够在多个方向上对晶圆盒进行约束，防止其发生不必要的移动。相比单一方向的固定方式，这种多向约束能够极大地增强固定的稳定性，从而确保晶圆盒在移动的过程中的稳定性。
19、在一些实施方式中，所述对接口上设置有连接件，所述连接件对应可拆卸地连接所述立式炉的入口，以使所述前置壳体与所述立式炉稳定连接；
20、所述前置壳体的底部设置有移动装置。
21、本申请还提供一种立式炉的晶圆盒传送方法，基于上述任一实施方式中所述的立式炉前置运输装置来实现，包括以下步骤：
22、步骤s1：将所述晶圆盒放置于所述缓存固定装置上；
23、步骤s2：运行所述平移机械手，以使所述平移机械手移动至所述晶圆盒上的对应位置；
24、步骤s3：运行所述升降模组，抬升所述平移机械手，进而以使所述平移机械手能够带动所述晶圆盒升起以脱离所述缓存固定装置；
25、步骤s4：运行所述平移机械手，以带动所述晶圆盒从所述前置壳体内移动至所述立式炉内；
26、步骤s5：运行所述平移传输模组，以带动所述晶圆盒沿所述第二方向进行位置调整，进而使所述晶圆盒能够移动至所述立式炉内的预设位置。
27、在一些实施方式中，本申请还提供一种立式炉系统，包括：
28、立式炉本体和上述任一实施方式中所述的立式炉前置运输装置，所述立式炉本体与所述立式炉前置运输装置对应连接。
29、本专利技术至少具有以下几种有益效果：
30、1.通过在立式炉前端增设可拆卸的立式炉前置运输装置，实现了自动化生产，进而有效提高整个生产工艺的生产效率，同时通过将转移运动拆分为第一方向和第二方向的两个独立运动，有效提高了整体的定位精度和运动准确度，也通过延伸和拓展装置的活动范围以有效提升了装置的适应能力，进而增加了装置的可靠性和实用性，为产品的最终质量提供了保障；
31、2.通过设置限位槽和限位凸起相配合的结构，限位槽与限位凸起的配合能够在多个方向上对物体进行约束，防止其发生不必要的移动，从而有效增强了晶圆盒移动过程中的稳定性，另外也能实现夹持过程中的晶圆盒和机械手之间的快速对接，即相配合的结构的快速定位，有效提高整体的工作效率，具有准确可靠，操作简单快捷的优点。
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【技术保护点】
1.一种立式炉前置运输装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
5.如权利要求1-4中任一项所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
6.如权利要求5所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
7.如权利要求6所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
8.一种立式炉的晶圆盒传送方法，基于权利要求1-7中任一项所述的立式炉前置运输装置来实现，其特征在于，包括以下步骤：
9.一种立式炉系统，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种立式炉前置运输装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的立式炉前置运输装置，其特征在于，
5.如权利要求1-4中任一项所述的立式炉前置运输装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪萌，周太君，余观水，吴沃祖，秦承伟，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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