【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅片加工领域，具体涉及硅片花篮循环转运装置和硅片花篮循环转运方法。
技术介绍
1、在光伏硅片的制造过程中，硅片分片后要进行清洗、插片等工序，硅片插片效率也决定了整个制造过程的效率。插片技术将硅片插入片篮中，这个过程需要用提供空花篮和搬运走满料花篮，传统的料篮提供和搬运采用机械臂或人工等处理，即便是半自动化也极大地限制了整体效率。因此，需要设计一种空篮和满篮的高效供给系统。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种硅片花篮循环转运装置和硅片花篮循环转运方法，其能解决上述问题。
2、一种硅片花篮循环转运装置，包括转运安装立板、横移模块、升降模块和夹篮；所述夹篮安装至所述升降模块上，所述升降模块安装至所述横移模块上，所述横移模块安装至所述转运安装立板的侧面上；所述夹篮被驱控的在所述转运安装立板的侧面沿着口字形路径移动，实现空花篮供给和满花篮退出的循环转运。
3、进一步的，所述横移模块采用齿轮齿条驱动模组的形式驱动，包括横移齿条、横移齿轮、横移导轨组件、横移安装板、横移驱动器、横移限位件、横移端部位移感应组件；所述横移齿条、横移导轨组件的导轨、横移限位件、横移端部位移感应组件的感应器本体设置在转运安装立板的同一侧面上；其中，设置两个横移导轨组件增强稳定性，两个横移限位件设置在转运安装立板的前后两端，两个横移端部位移感应组件设置在横移路径的两端点处；所述横移安装板与所述横移导轨组件的滑块与转运安装立板上的导轨配合连接；所述横移驱动器
4、进一步的，所述升降模块包括升降驱动体和升降活动部，升降驱动体安装至所述横移模块的横移安装板上，所述升降活动部安装所述夹篮。
5、进一步的，所述夹篮包括截面呈凹型的夹篮框模组、夹篮夹紧模组和夹篮规整模组，其中，夹篮框模组的一个背板面安装至升降模块，夹篮夹紧模组设置在夹篮框模组边框上用于待容纳硅片花篮的推夹定位，所述夹篮规整模组安装至所述夹篮框模组的侧边，用于开合的对硅片花篮内插的硅片从侧面规整。
6、进一步的，所述夹篮还包括花篮导向模组，所述花篮导向模组安装至所述夹篮框模组的顶部和/或底部，用于硅片花篮进出的导向定位。
7、本专利技术还提供了一种基于前述硅片花篮循环转运装置的硅片花篮循环转运方法，硅片花篮循环转运方法包括以下步骤。
8、s1、空花篮入框，将空花篮移入硅片花篮循环转运装置的位于进出料原点位的夹篮中。
9、s2、空篮下移，夹篮带动空花篮下移至进出料位的下止点。
10、s3、空篮平移，夹篮带动空花篮平移至插片位的下止点。
11、s4、逐层插片，夹篮在插片位逐层上移，硅片花篮逐层插片，花篮插片满篮并上移至插片位的上止点。
12、s5、满篮平移，夹篮带动满片的花篮平移至进出料位的上止点。
13、s6、满篮移出，将满片花篮从夹篮中移出。
14、相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：本申请采口字或回字形路径移送夹篮，从而实现空花篮供给和满花篮退出的循环转运，同时，夹篮设有规整模组，保证了花篮在插片过程中的侧边平齐，提高了工作效率，便于在半导体硅片检测及生产加工领域等领域推广应用。
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1.一种硅片花篮循环转运装置，其特征在于：装置包括转运安装立板(10)、横移模块(20)、升降模块(30)和夹篮(40)；
2.根据权利要求1所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
3.根据权利要求1或2所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
8.一种基于权利要求1-7任一项所述的硅片花篮循环转运装置的硅片花篮循环转运方法，其特征在于，硅片花篮循环转运方法包括：
【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮循环转运装置，其特征在于：装置包括转运安装立板(10)、横移模块(20)、升降模块(30)和夹篮(40)；
2.根据权利要求1所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
3.根据权利要求1或2所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的硅片花篮循环转运装置，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：徐伟锋，孙靖，尤梦龙，王承平，薛峰，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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