【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及搬运装置。
技术介绍
1、在专利文献1中公开了如下的光掩模基板等的搬运工具：将可动框转动自如地与能够伸缩的固定框连结，在固定框及可动框的端部设置基板支承构件，在可动框的与固定框的连结部附近设置手柄。通过使用两个该搬运工具并将固定框彼此连结，能够搬运大型的基板材料。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2001－168182号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、专利文献1所记载的搬运工具用于将收容于壳体等的光掩模基板搬运至清洗支架等装置。由该搬运工具搬运的光掩模基板装置（例如，检查装置）的外部水平地载置于夹具的载置面之后，连同夹具一起移动到装置的内部。光掩模基板向夹具的载置及夹具的移动由作业者手动进行。
3、然而，在通过手动作业使夹具移动时，由于夹具与装置内部的部件碰撞等，夹具的一部分缺损，有可能在装置内部产生尘埃。装置内部的尘埃成为检查对象的光掩模基板的污染的原因。
4、本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够防止尘埃的产生的搬运装置。
5、用于解决课题的手段
6、为了解决上述课题，本专利技术的搬运装置例如是将具有载置板状的对象物的载置平面的保持构件经由框体的开口部从所述框体的外部的第一位置向所述框体的内部的第二位置搬运的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置具备：第一轨道、第二轨道、第三轨道以及第四轨道，它们沿着水平方向设置
7、根据本专利技术的搬运装置，在与保持构件的搬运方向大致平行的第一直线、第二直线上分别设置有第一轨道及第二轨道、第三轨道及第四轨道，在第一轨道、第二轨道、第三轨道以及第四轨道上分别设置有小齿轮以及辊。保持构件载置于多个辊，另外，在与搬运方向大致平行的两个侧面设置有与小齿轮啮合的齿条。因此，在保持构件的搬运时，保持构件在与搬运方向正交的方向上被定位。由此，保持构件不会与设想外的部件等碰撞，其结果能够防止尘埃的产生。
8、可以的是，所述保持构件具有：主体部，其具有所述载置平面；以及把持部，其设置于所述主体部，在所述保持构件位于所述第二位置时，所述主体部的周缘插入到配置于所述第二位置的保持部，设置于所述第二轨道以及所述第四轨道的所述小齿轮中的至少一个与所述齿条中的设置于所述把持部的第一齿条啮合。由此，从小齿轮向保持构件传递力，能够使保持构件可靠地移动到第二位置。
9、可以的是，所述主体部具有与所述载置平面相邻的两个侧面即第一侧面及第二侧面，所述第一侧面及所述第二侧面分别具有以随着朝向所述载置平面而所述保持构件的宽度变窄的方式相对于铅垂方向倾斜的第一倾斜面和与所述载置平面垂直的垂直面，所述第一倾斜面与所述保持部的第二倾斜面抵接，所述齿条具有设置于所述垂直面的第二齿条。由此，能够将保持构件（主体部）在与搬运方向正交的方向以及铅垂方向上定位，并且能够沿搬运方向搬运保持构件。
10、可以的是，所述把持部具有：棒状的把持棒，其以与所述第一直线及所述第二直线大致正交的方式延伸设置；以及板状的第一连结部以及第二连结部，它们将所述把持棒的两端与所述主体部分别连结，所述第一连结部以及所述第二连结部的高度比所述垂直面的高度高，所述第一齿条设置于所述第一连结部以及所述第二连结部的整个端面，所述第一齿条与所述第二齿条位于同一面上。由此，第一齿条的高度比第二齿条的高度高，在将保持构件压入第二位置时容易传递来自小齿轮的力。
11、可以的是，所述保持构件具有在该保持部位于所述第一位置时与所述框体对置的前端面，所述保持构件具有供所述前端面抵接的抵接面，在所述抵接面设置有空气吸引部，该空气吸引部具有连接器和与所述连接器接合的吸引软管，所述保持构件具有空气孔，该空气孔的一端在所述前端面开口，另一端在所述载置平面开口，所述连接器具有能够与所述空气孔接合的接合部，所述接合部能够沿着所述搬运方向移动，在所述前端面未与所述抵接面抵接的状态下，所述接合部与所述空气孔接合。由此，能够在前端面与抵接面抵接之前朝向载置平面吸引对象物，从而使对象物不会因前端面与抵接面抵接时的冲击而偏移。
12、可以的是，所述小齿轮设置于第二旋转轴，在所述第二旋转轴设置有带轮，在设置于所述第一轨道以及所述第三轨道的所述带轮卷绕有第一带，在设置于所述第二轨道以及所述第四轨道的所述带轮卷绕有第二带。由此，能够使设置于第一轨道、第三轨道的所有小齿轮同时旋转相同的量，并且能够使设置于第二轨道、第二轨道的所有小齿轮同时旋转相同的量。
13、可以的是，所述第一轨道设置为能够在与所述搬运方向正交的方向上移动。由此，能够防止小齿轮与齿条碰撞而破损、产生尘埃。
14、可以的是，所述保持构件的包含所述载置平面的中央部由铝形成，所述保持构件的形成所述齿条的外侧部由铁或陶瓷形成，所述中央部在表面形成有氧化被膜。由此，能够大幅削减齿条与小齿轮碰撞所引起的尘埃的产生。
15、专利技术效果
16、根据本专利技术，能够防止尘埃的产生。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种搬运装置，其是将具有载置板状的对象物的载置平面的保持构件经由框体的开口部从所述框体的外部的第一位置向所述框体的内部的第二位置搬运的搬运装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，
5.根据权利要求2至4中任一项所述的搬运装置，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种搬运装置，其是将具有载置板状的对象物的载置平面的保持构件经由框体的开口部从所述框体的外部的第一位置向所述框体的内部的第二位置搬运的搬运装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，
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