【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种承接花篮，具体为一种自适应型晶圆清洗用承接花篮，属于晶圆清洗花篮。
技术介绍
1、在半导体器件的生产过程中，维持高度洁净度至关重要，以避免微小污染可能导致的器件性能下降或失效。在这个过程中，晶圆花篮的作用至关重要，尤其是在晶圆清洗阶段。pfa花篮是半导体制造行业中常用的工具之一，通常由pfa(全氟烷氧基乙烯)材料制成，具有优异的化学稳定性、耐高温性和耐腐蚀性。这种材料能够有效抵御清洗过程中使用的各种化学品的侵蚀，从而确保晶圆在清洗过程中的安全性和效果。
2、然而，传统的pfa花篮设计通常只适用于特定尺寸的晶圆，并且晶圆承接处通常是镂空设计。这意味着在实际操作中，需要为每种尺寸的晶圆准备相应尺寸的清洗花篮，导致增加了工装成本和操作复杂度。
技术实现思路
1、为了解决以上现有技术的全部或部分问题，本技术提供了一种自适应型晶圆清洗用承接花篮，利用弹性连接件和间距调节结构的组合，使得花篮能够根据晶圆的尺寸进行调节，无需额外更换不同尺寸的花篮，提高了操作的灵活性和效率。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种自适应型晶圆清洗用承接花篮，包括：
4、第一承接座和第二承接座，所述第一承接座和第二承接座之间形成有用于承接晶圆的容置空间；
5、间距调节结构，安装在所述第一承接座和/或第二承接座上，用于在晶圆清洗前，调节所述第一承接座和第二承接座的间距；
6、弹性连接件，一端连接所述第一承接座，另一端
7、通过间距调节结构，可以精确调节两个承接座之间的间距，以适应不同尺寸的晶圆。弹性连接件起到支撑作用，并在调整间距时能够灵活地压缩和回弹，确保对晶圆的稳固支持。在清洗结束后，弹性连接件回弹至初始状态，晶圆随着承接座间距的扩张会下降一段距离，利用惯性力将晶圆表面的水分快速甩除，有助于提高沥干效率。
8、所述第一承接座和第二承接座均包括竖直段、倾斜段以及从所述竖直段表面延伸至所述倾斜段表面的若干安装槽；所述倾斜段的上端与所述竖直段的下端连接，所述倾斜段的下端朝所述容置空间的方向倾斜。通过倾斜段的设计，晶圆在容置空间内可以得到良好的支撑和稳定性，倾斜段采用了非镂空设计，这意味着在清洗结束后，当弹性连接件由压缩状态开始回弹时，晶圆可以沿着两个承接座的外扩方向下降一段距离，这样的设计利用了惯性力，帮助将晶圆表面的水分迅速甩除。
9、所述弹性连接件为内置有弹簧元件的弹性连杆，所述弹性连杆为四根，两两对称设置于所述第一承接座和第二承接座的两侧。这些弹性连杆提供了可靠的支撑功能，有助于确保晶圆清洗过程中的平衡和稳定性，同时具备一定的弹性，通过压缩和释放弹性连杆可以实现晶圆清洗过程中的水分排除，提高了沥干效率。
10、所述间距调节结构包括安装在所述第一承接座上的第一连接件和安装在所述第二承接座上的第二连接件，所述第一连接件包括若干长短不一的第一连接端，所述第二连接件包括第二连接端，若干所述第一连接端可切换地与所述第二连接端相连。这种间距调节结构的设计使得承接花篮能够灵活地调整晶圆之间的间距，而无需改变整个结构或重新安装，通过第一连接件和第二连接件的切换组合，可以适应不同大小的晶圆。
11、所述间距调节结构为两组，对称设置于所述第一承接座和第二承接座的两侧。有助于保持结构的平衡和稳定性，避免因不对称而导致的不稳定或倾斜。
12、所述第一连接件包括转动基座，若干长短不一的所述第一连接端安装在所述转动基座上。通过转动基座，可以方便地旋转和调整第一连接端的位置，以适应不同尺寸的晶圆。
13、所述第一连接件还包括固定基座，所述固定基座上设置有第一限位结构，所述转动基座上对应所述第一连接端分别设置有第二限位结构，所述第一限位结构与所述第二限位结构相匹配。这样的设计使得在切换第一连接端时，可以轻松地将转动基座上的限位结构与固定基座上的相应限位结构匹配，从而确保连接的稳固性和准确性。
14、所述第一连接端为中空的第一连接杆，所述第一连接杆上卡设有卡接孔，所述第二连接端为第二连接杆，所述第二连接杆上设有可回缩的卡接块，所述第二连接杆的外径小于所述第一连接杆的内径。通过这种设计，第二连接杆可以轻松地插入第一连接杆的中空内部，并且可回缩的卡接块可以自动展开并固定在第一连接杆的卡接孔中，从而实现稳固的连接。
15、还包括至少一根导向限位杆，所述导向限位杆穿过所述第一承接座和第二承接座，所述限位杆与所述第一承接座和第二承接座以具有显著摩擦的滑动方式连接。通过与导向限位杆的滑动连接，可以增加摩擦阻尼，使得承接座在移动和调整时更加平稳，减少突然移动或摆动可能带来的损坏风险。
16、还包括底部具有排水孔的沥干盒，所述导向限位杆的两端分别安装在所述沥干盒的两侧。排水孔允许水分快速排出，保持沥干盒内部干燥。
17、与现有技术相比，本技术至少具有以下有益效果：
18、通过弹性连接件和间距调节结构的巧妙组合，实现了对晶圆尺寸的自适应调节，无需更换不同尺寸的花篮。间距调节结构提供了灵活的调整机制，可以根据不同晶圆的尺寸精确调节两个承接座之间的间距，以适应不同尺寸的晶圆。弹性连接件在提供稳固支撑的同时，还具有良好的回弹性质；在清洗结束后，间距调节结构打开，弹性连接件依靠自身的回弹力将两个承接座进行外扩，恢复至初始状态，在此过程中，晶圆会迅速下降一段距离，利用下降的惯性力帮助甩除晶圆表面的水分；在更换不同尺寸的晶圆时，通过间距调节结构调整承接座之间的间距，弹性连接件能够相应地压缩或回弹，以适应间距的变化，确保每个尺寸的晶圆都能获得均匀而稳定的支撑。承接座采用了非镂空设计，使得在清洗结束后，当弹性连接件由压缩状态开始回弹时，晶圆可以沿着两个承接座的外扩方向下降一段距离。
19、通过调节第一连接件的不同连接端来灵活调整第一承接座和第二承接座之间的距离，从而适配不同尺寸的晶圆，实现了对不同晶圆的自适应承接。第一连接件采用简单的旋转控制方式，使切换不同第一连接端变得简单便捷，用户可以轻松地调整花篮以满足不同尺寸晶圆的需求。与传统的固定式承接装置相比，这一新型结构具有更高的灵活性和适用性。不仅能够适应不同尺寸的晶圆，而且操作简便，无需繁琐的调整步骤。此外，由于第一连接件的设计使得整体结构形变幅度较小，因此在使用过程中不易损坏，具有更长的使用寿命。
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1.一种自适应型晶圆清洗用承接花篮，其特征在于，所述承接花篮包括：
2.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述第一承接座(1)和第二承接座(2)均包括竖直段(101)、倾斜段(102)以及从所述竖直段(101)表面延伸至所述倾斜段(102)表面的若干安装槽；所述倾斜段(102)的上端与所述竖直段(101)的下端连接，所述倾斜段(102)的下端朝所述容置空间的方向倾斜。
3.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述弹性连接件(5)为内置有弹簧元件的弹性连杆，所述弹性连杆为四根，两两对称设置于所述第一承接座(1)和第二承接座(2)的两侧。
4.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述间距调节结构包括安装在所述第一承接座(1)上的第一连接件(3)和安装在所述第二承接座(2)上的第二连接件(4)，所述第一连接件(3)包括若干长短不一的第一连接端，所述第二连接件(4)包括第二连接端，若干所述第一连接端可切换地与所述第二连接端相连。
5.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述间距调节结构为两组，对称设置于所述第一承接
6.根据权利要求4所述的承接花篮，其特征在于，所述第一连接件(3)包括转动基座(302)，若干长短不一的所述第一连接端安装在所述转动基座(302)上。
7.根据权利要求6所述的承接花篮，其特征在于，所述第一连接件(3)还包括固定基座(301)，所述固定基座(301)上设置有第一限位结构(3011)，所述转动基座(302)上对应所述第一连接端分别设置有第二限位结构(3021)，所述第一限位结构(3011)与所述第二限位结构(3021)相匹配。
8.根据权利要求4所述的承接花篮，其特征在于，所述第一连接端为中空的第一连接杆，所述第一连接杆上开设有卡接孔(3022)，所述第二连接端为第二连接杆，所述第二连接杆上设有可回缩的卡接块(401)，所述第二连接杆的外径小于所述第一连接杆的内径。
9.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，还包括至少一根导向限位杆(6)，所述导向限位杆(6)穿过所述第一承接座(1)和第二承接座(2)，所述限位杆与所述第一承接座(1)和第二承接座(2)以具有摩擦的滑动方式连接。
10.根据权利要求9所述的承接花篮，其特征在于，还包括底部具有排水孔(701)的沥干盒(7)，所述导向限位杆(6)的两端分别安装在所述沥干盒(7)的两侧。
...【技术特征摘要】
1.一种自适应型晶圆清洗用承接花篮，其特征在于，所述承接花篮包括：
2.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述第一承接座(1)和第二承接座(2)均包括竖直段(101)、倾斜段(102)以及从所述竖直段(101)表面延伸至所述倾斜段(102)表面的若干安装槽；所述倾斜段(102)的上端与所述竖直段(101)的下端连接，所述倾斜段(102)的下端朝所述容置空间的方向倾斜。
3.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述弹性连接件(5)为内置有弹簧元件的弹性连杆，所述弹性连杆为四根，两两对称设置于所述第一承接座(1)和第二承接座(2)的两侧。
4.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述间距调节结构包括安装在所述第一承接座(1)上的第一连接件(3)和安装在所述第二承接座(2)上的第二连接件(4)，所述第一连接件(3)包括若干长短不一的第一连接端，所述第二连接件(4)包括第二连接端，若干所述第一连接端可切换地与所述第二连接端相连。
5.根据权利要求1所述的承接花篮，其特征在于，所述间距调节结构为两组，对称设置于所述第一承接座(1)和第二承接座(2)的两侧。
6.根据权利要求4所述的承接花篮，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：别墅君，曹大东，朱竹兰，
申请(专利权)人：常州时创新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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