【技术实现步骤摘要】
本申请涉及读码设备,更具体地说,涉及一种带有检测功能的读码设备。
技术介绍
1、晶圆的主要加工过方式为片加工和批加工,就是同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小,加工方式更倾向于直接零部件标识,在产品本身上做产品标识。晶圆生产厂家在晶圆体上喷上产品字符信息,即节省空间又不易损坏。
2、cn 220933500u的文献提供一种带有检测功能的读码设备,通过设置的校准仪器判断晶圆片是否放置平稳不倾斜,利用读码器对晶圆片进行读码,通过两个传感器来检测的晶圆片的底面高度信号是否不同,以此来判断晶圆片是否经过剪薄,在对晶圆片读码的同时可以对其进行检测,减少错误率,提供产品良率,通过设置第一摄像头和第二摄像头可以消除读码器的识别盲区,保证读码器的读码准确率,通过电机带动放置盘旋转从而带动位于放置盘上端的晶圆片旋转,调整晶圆片的上表面的读取码位置便于读码器读取,当光线不好时可以通过设置的补光器进行补光,提高读码器识别读取码的速。
3、虽然该设备有益效果较多,但依然存在下列问题:在对晶圆进行读码时,工作人员难以根据现场具体情况调节两个读码器之间的间距,从而容易降低该设备使用时的灵活性,鉴于此,我们提出一种带有检测功能的读码设备。
技术实现思路
1、本申请实施例通过提供一种带有检测功能的读码设备,解决了现有技术中在对晶圆进行读码时,工作人员难以根据现场具体情况调节两个读码器之间的间距,从而容易降低该设备使用时的灵活性的技术问题,实现了在对晶圆进行读码时,工作人员能够
2、本申请实施例提供了一种带有检测功能的读码设备,包括:安装架;
3、所述安装架内壁顶部安装有补光灯,所述安装架内侧固定连接有底板,所述底板顶部一侧安装有电机,所述电机的输出轴顶端固定连接有承托板,所述承托板顶部安装有吸盘,用于对晶圆进行放置;
4、所述底板顶部另一侧设有读码机构,用于对晶圆进行读码;
5、所述读码机构包括支撑架,所述支撑架一侧滑动连接有两个滑板,所述滑板一侧安装有读码器,所述支撑架另一侧开设有两组开孔,所述滑板另一侧贯穿滑动连接有插杆,所述插杆一端位于开孔内,两个所述读码器相互靠近一侧均安装有摄像头,从而便于根据晶圆的厚度调节两个读码器之间的间距。
6、通过采用上述技术方案,通过设置读码机构,在对晶圆进行读码时,工作人员能够根据具体情况调节两个读码器之间的间距,从而便于提升该设备使用时的灵活性。
7、可选的,所述插杆另一端固定连接有拉板,所述拉板与滑板之间共同固定连接有弹簧,防止插杆与拉板随意移动。
8、通过采用上述技术方案,通过设置拉板与弹簧,当拉板朝着远离滑板的方向进行移动时,会对弹簧进行拉扯,使得拉板与插杆的移动存在较大的阻力,进而便于防止插杆随意从开孔内移动出来。
9、可选的,所述支撑架顶部与底部均开设有滑槽,所述滑板远离读码器一侧设有滑块,所述滑块滑动连接于滑槽内,便于使得滑板能够进行竖直移动。
10、通过采用上述技术方案,通过设置滑槽与滑块,当滑板进行移动时,能够带动滑块从滑槽内进行移动,从而使得滑板能够沿着滑槽的方向进行水平移动。
11、可选的,所述滑板远离读码器一侧固定连接有横板,所述横板通过螺纹杆与滑块相连接,便于工作人员将滑板进行拆装。
12、通过采用上述技术方案,通过设置横板与螺纹杆,在工作人员将横板置于滑块顶部后,拧上螺纹杆,便于将滑板与滑块进行连接,当拧下螺纹杆后,能够将滑板、横板与滑块分离,从而便于工作人员快速对滑板进行拆装。
13、可选的,所述底板顶部一侧固定连接有固定板,所述固定板底部安装有水平校准仪,用于检测晶圆是否放置水平。
14、通过采用上述技术方案,通过设置水平校准仪,便于在进行读码前,能够对放置在吸盘上的晶圆进行检测,从而便于工作人员确定晶圆是否处于水平状态,进而便于提升读码的精确性。
15、本申请实施例中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果或优点:
16、1.通过设置读码机构,在对晶圆进行读码时,工作人员能够根据具体情况调节两个读码器之间的间距,从而便于提升该设备使用时的灵活性。
17、2.通过设置横板与螺纹杆,在工作人员将横板置于滑块顶部后,拧上螺纹杆,便于将滑板与滑块进行连接,当拧下螺纹杆后,能够将滑板、横板与滑块分离,从而便于工作人员快速对滑板进行拆装。
18、3.通过设置水平校准仪,便于在进行读码前,能够对放置在吸盘上的晶圆进行检测,从而便于工作人员确定晶圆是否处于水平状态,进而便于提升读码的精确性。
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1.一种带有检测功能的读码设备,包括安装架(1),其特征在于:包含:
2.如权利要求1所述的带有检测功能的读码设备,其特征在于,所述插杆(37)另一端固定连接有拉板(38),所述拉板(38)与滑板(32)之间共同固定连接有弹簧(39),防止插杆(37)与拉板(38)随意移动。
3.如权利要求2所述的带有检测功能的读码设备,其特征在于,所述支撑架(31)顶部与底部均开设有滑槽,所述滑板(32)远离读码器(34)一侧设有滑块(33),所述滑块(33)滑动连接于滑槽内,便于使得滑板(32)能够进行竖直移动。
4.如权利要求3所述的带有检测功能的读码设备,其特征在于:所述滑板(32)远离读码器(34)一侧固定连接有横板(7),所述横板(7)通过螺纹杆(8)与滑块(33)相连接,便于工作人员将滑板(32)进行拆装。
5.如权利要求4所述的带有检测功能的读码设备,其特征在于:所述底板(2)顶部一侧固定连接有固定板(9),所述固定板(9)底部安装有水平校准仪(10),用于检测晶圆是否放置水平。
【技术特征摘要】
1.一种带有检测功能的读码设备,包括安装架(1),其特征在于:包含:
2.如权利要求1所述的带有检测功能的读码设备,其特征在于,所述插杆(37)另一端固定连接有拉板(38),所述拉板(38)与滑板(32)之间共同固定连接有弹簧(39),防止插杆(37)与拉板(38)随意移动。
3.如权利要求2所述的带有检测功能的读码设备,其特征在于,所述支撑架(31)顶部与底部均开设有滑槽,所述滑板(32)远离读码器(34)一侧设有滑块(33),所述滑块(3...
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