【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及天车搬运设备，特别是一种天车装置及其控制方法。
技术介绍
1、天车系统主要部分为天车、轨道。轨道悬挂在洁净工厂天花板龙骨上，天车在轨道上运行，天车内置电机带动皮带可以带动抓取装置可以抓取晶圆盒暂存至天车腹腔，并通过贯通全厂的轨道移动到目标机台上方，天车内置电机带动皮带升降同时带动抓取装置抓取的晶圆盒放至到设备载台。从而实现自动上下物料的功能。天车系统代替了传统人力搬运，解决了工厂人力不足的难题，提高了搬运的准确性及生产效率，降低了人为造成的产品损失。因此自动搬运的天车系统备受芯片制造等高端制造业的青睐。
2、传统的天车一台一趟最多只能搬运一盒晶圆，在某些特殊的制造工艺和步骤，需要同时加工两盒或三盒晶圆，也就是说需要多台天车搬运或者一台天车搬运多次才能满足设备需求。传统做法是同时调用多台天车，而在最后一盒晶圆进入设备前，设备一直处于等待状态，严重影响了生产，极大的制约了芯片制造工厂的产能。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺点，本专利技术的目的是提供一种天车装置及其控制方法，解决传统天车运载能力不足，单次只能运载一盒晶圆的问题。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种天车装置，其特征在于，包括天车主体、侧移装置和抓取装置，所述天车主体上设有至少一个缓存载台，所述侧移装置与所述天车主体连接，所述抓取装置与侧移装置连接，所述侧移装置带动抓取装置移动至缓存载台上方。
3、作为本专利技术的进一步改进：所述侧移装置包括传动
4、作为本专利技术的进一步改进：所述侧移装置包括第一层主体、第二层主体、第一层皮带机构和第二层皮带机构，所述第一层主体通过第一层皮带机构与天车主体连接，所述第一层皮带机构连接有第一驱动件，所述第二层主体通过第二层皮带机构与第一层主体连接，所述第二层皮带机构连接第二驱动件，所述第二层主体与抓取装置固定连接。
5、作为本专利技术的进一步改进：所述第一层主体与天车主体之间设有第一滑块滑轨结构，所述第二层主体与第一层主体之间设有第二滑块滑轨结构。
6、作为本专利技术的进一步改进：天车主体的左右两侧分别设有至少一个缓存载台。
7、本专利技术还提供了一种天车装置的控制方法，若接收到搬运至少两个晶圆至第一机台指令，调用路径测算规则确定目标天车，路径测算规则具体包括以下步骤：
8、分别计算当前天车到每个晶圆盒地点的出发距离，当前天车为未分配搬运指令的天车；
9、以出发距离最短的晶圆盒地点作为第一站目的地，接着以运输距离最短原则依次确定第n站目的地和终点站目的地，n为大于等于2的正整数；
10、确定终点站目的地到第一机台地点的最后距离；
11、测算当前天车的运输用时，确定运输用时最短对应的目标天车，生成第一搬运指令并发送至目标天车。
12、作为本专利技术的进一步改进：若先接收到搬运至少两个晶圆盒至第一机台的第一指令，调用路径测算规则确定目标天车，生成第一搬运指令并发送至目标天车；
13、目标天车执行第一搬运指令过程中，接收到搬运至少一个晶圆盒至第二机台的第二指令；
14、满足以下任意一个条件时，将第二指令下达目标天车，否则，目标天车只执行第一搬运指令；
15、(1)第一指令中终点站目的地与第一机台位置之间没有第二指令中的晶圆盒或者第二机台；
16、(2)第二指令中的终点站目的地与第二机台位置之间没有第一指令中的晶圆盒或者第二机台。
17、作为本专利技术的进一步改进：还包括：若先接收到搬运第一晶圆盒、第二晶圆盒至第一机台的第一指令，调用路径测算规则确定目标天车，生成第一搬运指令并发送至目标天车；
18、目标天车执行第一搬运指令过程中，接收到搬运第三晶圆盒至第二机台的第二指令；满足以下任意一个条件时，将第二指令下达目标天车，否则，目标天车只执行第一搬运指令；
19、(1)第二晶圆盒和第一机台位置之间没有第二指令中的第三晶圆盒或第二机台；(2)第三晶圆盒和第二机台位置之间没有第一晶圆盒或第二晶圆盒或第一机台。
20、作为本专利技术的进一步改进：还包括：
21、若先接收到搬运第一晶圆盒至第一机台的第一指令；
22、计算当前天车到第一晶圆盒地点的出发距离，当前天车为未分配搬运指令的天车，及计算第一晶圆盒地点到第一机台的最后距离；
23、测算当前天车的运输用时，确定运输用时最短对应的目标天车，生成第一搬运指令并发送至目标天车；
24、目标天车执行第一搬运指令过程中，接收到搬运第二晶圆盒、第三晶圆盒至第二机台的第二指令，调用路径测算规则确定第二指令的终点站目的地；
25、满足以下任意一个条件时，将第二指令下达目标天车，否则，目标天车只执行第一搬运指令；
26、(1)第一晶圆盒地点与第一机台位置之间没有第二指令中的第二晶圆盒或者第三晶圆盒或者第二机台；
27、(2)第二指令中的终点站目的地与第二机台位置之间没有第一晶圆盒或者第一机台。
28、作为本专利技术的进一步改进：还包括：
29、若目标天车执行搬运第一晶圆盒至第一机台的第一指令时，接收到搬运第二晶圆盒至第二机台的第二指令；
30、第一晶圆盒与第一机台位置之间没有第二晶圆盒或者第二机台时，将第二指令发送至目标天车；
31、目标天车执行第一指令和第二指令时，还接收到搬运第三晶圆盒至第三机台的第三指令时，且存在以下三种场景之一，将第三指令直接下达给目标天车，否则目标天车只执行第一指令和第二指令；
32、(1)第一晶圆盒和第一机台之间没有第三指令中的晶圆盒；(2)
33、第二晶圆盒和第二机台之间没有第三指令中的晶圆盒；(3)第三晶圆盒和第三机台之间没有第一指令和第二指令中的晶圆盒。
34、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
35、本专利技术通过在天车主体上设置至少一个缓存载台用以暂时存放晶圆盒，天车主体上设置侧移装置以带动抓取装置移动至缓存载台的上方，由抓取装置抓取晶圆盒释放至缓存载台上，天车运行过程中抓取装置保留抓取一个晶圆盒的功能，实现单个天车运载多个晶圆盒的功能，极大提高天车的运载能力。
36、本专利技术提供的天车可以同时搬运两盒以上晶圆盒，提高了天车的运载能力，解决了传统天车运载能力不足的难题。对于某些需要同时加工两盒或三盒晶圆的特殊制造工艺和步骤，具有极大的效益提升，提高了工厂芯片的产能上限，具备极大的经济价值。
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1.一种天车装置，其特征在于，包括天车主体、侧移装置和抓取装置，所述天车主体上设有至少一个缓存载台，所述侧移装置与所述天车主体连接，所述抓取装置与侧移装置连接，所述侧移装置带动抓取装置移动至缓存载台的上方。
2.根据权利要求1所述的一种天车装置，其特征在于，所述侧移装置包括传动件和驱动件，所述驱动件安装于天车主体上，所述传动件与抓取装置连接，所述驱动件提供一驱使传动件带动抓取装置进行直线往返运动的作用力。
3.根据权利要求1所述的一种天车装置，其特征在于，所述侧移装置包括第一层主体、第二层主体、第一层皮带机构和第二层皮带机构，所述第一层主体通过第一层皮带机构与天车主体连接，所述第一层皮带机构连接有第一驱动件，所述第二层主体通过第二层皮带机构与第一层主体连接，所述第二层皮带机构连接有第二驱动件，所述第二层主体与抓取装置固定连接。
4.根据权利要求2或3所述的一种天车装置，其特征在于，所述第一层主体与天车主体之间设有第一滑块滑轨结构，所述第二层主体与第一层主体之间设有第二滑块滑轨结构。
5.根据权利要求1所述的一种天车装置，其特征在于，
6.一种天车装置的控制方法，其特征在于，若接收到搬运至少两个晶圆至第一机台指令，调用路径测算规则确定目标天车，路径测算规则具体包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的一种天车装置的控制方法，其特征在于，若先接收到搬运至少两个晶圆盒至第一机台的第一指令，调用路径测算规则确定目标天车，生成第一搬运指令并发送至目标天车；
8.根据权利要求6所述的一种天车装置的控制方法，其特征在于，还包括：若先接收到搬运第一晶圆盒、第二晶圆盒至第一机台的第一指令，调用路径测算规则确定目标天车，生成第一搬运指令并发送至目标天车；
9.根据权利要求6所述的一种天车装置的控制方法，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求6所述的一种天车装置的控制方法，其特征在于，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种天车装置，其特征在于，包括天车主体、侧移装置和抓取装置，所述天车主体上设有至少一个缓存载台，所述侧移装置与所述天车主体连接，所述抓取装置与侧移装置连接，所述侧移装置带动抓取装置移动至缓存载台的上方。
2.根据权利要求1所述的一种天车装置，其特征在于，所述侧移装置包括传动件和驱动件，所述驱动件安装于天车主体上，所述传动件与抓取装置连接，所述驱动件提供一驱使传动件带动抓取装置进行直线往返运动的作用力。
3.根据权利要求1所述的一种天车装置，其特征在于，所述侧移装置包括第一层主体、第二层主体、第一层皮带机构和第二层皮带机构，所述第一层主体通过第一层皮带机构与天车主体连接，所述第一层皮带机构连接有第一驱动件，所述第二层主体通过第二层皮带机构与第一层主体连接，所述第二层皮带机构连接有第二驱动件，所述第二层主体与抓取装置固定连接。
4.根据权利要求2或3所述的一种天车装置，其特征在于，所述第一层主体与天车主体之间设有第一滑块滑轨结构...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘学成，
申请(专利权)人：珠海格力电子元器件有限公司，
类型：发明
国别省市：
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