【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体制造领域，并且更为具体地，涉及一种晶片存储器。
技术介绍
1、在半导体行业中，晶片存储器作为一种自动化存储设备，通过与自动化物料搬运系统的协同作业，实现晶片在不同工艺之间的流转。晶片存储器内部设有存储仓和交换室。存储仓用于存放晶片盒。晶片盒可以从外部环境经交换室送入存储仓，也可以从存储仓经交换室送出到外部环境。然而，在以往的晶片存储器中，晶片盒行进路线较长，搬运效率较低。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开提供一种晶片存储器，以改善以往晶片盒送入和送出晶片存储器时，搬运效率低的问题。
2、该晶片存储器包括存储仓、交换室、内窗板、内窗框以及搬运装置。存储仓用于存放晶片盒。晶片盒从外部环境经交换室送入存储仓，并且从存储仓经交换室送出到外部环境。内窗板打开和关闭交换室与存储仓交互的内侧窗口。当内侧窗口打开时，晶片盒能够经内侧窗口在交换室和存储仓之间移动。内窗框包括与内窗板形状匹配的上框部，使得内窗板相对内窗框上升至与上框部接触而关闭内侧窗口。搬运装置用于将晶片盒在存储仓和交换室之间搬运，搬运装置具有沿上下方向延伸的主轴线。在俯视视角下，内窗板和上框部向背离主轴线的方向凹陷。
3、作为一种可能的实现方式，在俯视视角下，内窗板和上框部均具有向背离主轴线的方向凹陷的弧线的形状。
4、作为一种可能的实现方式，在俯视视角下，弧线为以主轴线为圆心的圆弧线。
5、作为一种可能的实现方式，交换室内设有多个暂存台，在俯视视角下，多个暂存台沿着
6、作为一种可能的实现方式，在俯视视角下，多个暂存台到弧线的距离相等。
7、作为一种可能的实现方式，在俯视视角下，内窗板和上框部均具有向背离主轴线的方向凹陷的多段线的形状。
8、作为一种可能的实现方式，在俯视视角下，多段线的多个直线段到主轴线的距离相等。
9、作为一种可能的实现方式，交换室内设有多个暂存台，多段线包括多个直线段，多个暂存台与多个直线段分别对应。在俯视视角下，多个暂存台沿着多段线间隔排列，并且每个暂存台隔着对应的直线段与主轴线相对。
10、作为一种可能的实现方式，每个暂存台到对应的直线段的距离相等。
11、作为一种可能的实现方式，交换室内设有暂存台。晶片存储器还包括驱动机构。在内侧窗口打开的情况下，驱动机构用于驱动暂存台在第一位置和第二位置间移动。当暂存台位于第一位置时，晶片盒全部位于交换室内。当暂存台位于第二位置时，晶片盒与搬运装置结合的部分跨过内侧窗口而伸入存储仓内。
12、本公开晶片存储器中交换室的内窗板和上框部向背离主轴线的方向凹陷，使得晶片盒通过搬运装置在存储仓和交换室之间搬运时，在水平方向上需要移动的距离减少，提升了晶片盒的搬运效率。
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1.一种晶片存储器，其特征在于，所述晶片存储器包括：
2.根据权利要求1所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述内窗板和所述上框部均具有向背离所述主轴线的方向凹陷的弧线的形状。
3.根据权利要求2所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述弧线为以所述主轴线为圆心的圆弧线。
4.根据权利要求2所述的晶片存储器，其特征在于，所述交换室内设有多个暂存台，在俯视视角下，多个所述暂存台沿着所述弧线间隔排列。
5.根据权利要求4所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述多个暂存台到所述弧线的距离相等。
6.根据权利要求1所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述内窗板和所述上框部均具有向背离所述主轴线的方向凹陷的多段线的形状。
7.根据权利要求6所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述多段线的多个直线段到所述主轴线的距离相等。
8.根据权利要求6所述的晶片存储器，其特征在于，所述交换室内设有多个暂存台，所述多段线包括多个直线段，所述多个暂存台与所述多个直线段分别对应；在俯视视
9.根据权利要求8所述的晶片存储器，其特征在于，每个暂存台到对应的直线段的距离相等。
10.根据权利要求1所述的晶片存储器，其特征在于，所述交换室内设有暂存台；还包括驱动机构；在所述内侧窗口打开的情况下，所述驱动机构用于驱动所述暂存台在第一位置和第二位置间移动；当所述暂存台位于所述第一位置时，所述晶片盒全部位于所述交换室内；当所述暂存台位于所述第二位置时，所述晶片盒与所述搬运装置结合的部分跨过所述内侧窗口而伸入所述存储仓内。
...【技术特征摘要】
1.一种晶片存储器，其特征在于，所述晶片存储器包括：
2.根据权利要求1所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述内窗板和所述上框部均具有向背离所述主轴线的方向凹陷的弧线的形状。
3.根据权利要求2所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述弧线为以所述主轴线为圆心的圆弧线。
4.根据权利要求2所述的晶片存储器，其特征在于，所述交换室内设有多个暂存台，在俯视视角下，多个所述暂存台沿着所述弧线间隔排列。
5.根据权利要求4所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述多个暂存台到所述弧线的距离相等。
6.根据权利要求1所述的晶片存储器，其特征在于，在俯视视角下，所述内窗板和所述上框部均具有向背离所述主轴线的方向凹陷的多段线的形状。
7.根据权利要求6所述的晶片存储器，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振强，戚汉凌，于奇，王成鑫，郑瑜谦，
申请(专利权)人：北京和崎精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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