【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜，具体而言，涉及一种镀膜装配装置。
技术介绍
1、在物料的镀膜过程中，靶材通过物理手段或化学手段释放出离子，物料通电后将离子吸附，离子在物料表面沉积形成薄膜。靶材通常朝向物料的镀膜面进行设置，物料通电后产生电场及磁场，而电场和磁场在物料两端的边缘结构处发生变化，使得物料两端的边缘结构处沉积的离子较多，造成物料镀膜的均匀性较差。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种镀膜装配装置，以提升物料镀膜的均匀性。
2、本申请的一实施例提供了一种镀膜装配装置。镀膜装配装置包括固定组件和离子吸收组件。固定组件被配置为能够固定物料。离子吸收组件包括第一吸收件和第二吸收件。第一吸收件和第二吸收件分别与固定组件连接。且第一吸收件和第二吸收件分别与物料的两端间隔设置。第一吸收件和第二吸收件被配置为能够接入电压以吸取部分在镀膜时将沉积于物料两端的离子。
3、上述实施例中，固定组件固定物料，以便于物料接收靶材释放的离子，从而进行镀膜。离子吸收组件通过接入电压，从而也能够接收靶材释放的离子。并且通过将离子吸收组件的第一吸收件和第二吸收件分别与物料的两端间隔设置，使得第一吸收件能够靠近物料的一端，第二吸收件能够靠近物料的另一端，并在通电后改变物料两端附近的电场和磁场分布，在镀膜时可将会富集于物料两端附近部分离子掠夺吸取，避免全都沉积于物料的两端，有利于降低物料两端的膜层过厚的可能，从而提升物料镀膜的均匀性。
4、本申请的一些实施例中，定义第一方向平行于第一吸
5、上述实施例中，通过第一连接件和第二连接件分别固定物料和离子吸收组件，使对物料的在装配和对离子吸收组件的装配相互独立，有利于提升更换、调整物料或离子吸收组件的速度，从而提升镀膜效率。通常靶材与物料的分布方向垂直于第一方向，而第二连接件与第一连接件的分布方向垂直于第一方向，以便于使第一连接件在垂直于第一方向上处于第二连接件与靶材之间，以使物料在垂直于第一方向上处于离子吸收组件与靶材之间，从而在离子从靶材向物料移动时，降低离子吸收组件提前抢夺未到达物料的沉积位置的离子，有利于提升镀膜的均匀性。
6、本申请的一些实施例中，第一连接件设有多个。多个第一连接件沿环形分布。第二连接件设有多个。多个第二连接件沿环形分布。多个第一连接件和多个第二连接件分布的环形的轴线延伸方向均平行于第一方向。第一吸收件为环形，并环设于多个第二连接件朝向多个第一连接件的一侧。第二吸收件为环形，并环设于多个第二连接件朝向多个第一连接件的一侧。
7、上述实施例中，将多个第一连接件环形分布、第一吸收件设置为环形以及第二吸收件设置为环形，一方面提升镀膜装配装置物料设置的数量，以提升镀膜的效率；另一方面，使得任意一个第一连接件上的物料均能通过与其相邻的两个第一连接件及物料平衡电场和磁场，从而降低离子在垂直于第一方向上富集与物料相对两侧的可能，有利于提升物料镀膜的均匀性。
8、本申请的一些实施例中，第一连接件包括第一连杆、第一固定部和第二固定部。第一连杆与固定座连接。第一固定部和第二固定部分别与第一连杆连接。第一固定部和第二固定部沿第一方向间隔分布。沿第一方向，第一固定部和第二固定部之间形成用于固定物料的固定区域。
9、上述实施例中，第一固定部和第二固定部通过第一连杆与固定座固定，第一固定部和第二固定部沿第一方向设于物料的两端，从而将物料固定至固定区域内，提升物料固定的稳定性，有利于提升物料镀膜的均匀性。
10、本申请的一些实施例中，在第一方向上，第一吸收件朝向第二吸收件的一侧与固定区域的一侧齐平，第二吸收件朝向第一吸收件的一侧与固定区域的另一侧齐平。
11、上述实施例中，一方面，在第一方向上，尽可能拉进第一吸收件和第二吸收件沿第一方向与物料两端的距离，从而提升离子吸收组件对物料两端附近的离子的捕获能力，有利于提升物料镀膜的均匀性。另一方面，在离子从靶材移向固定区域的方向上，避免第一吸收件或第二吸收件有部分结构被固定区域遮挡而无法正常吸收离子的可能，从而提升第一吸收件和第二吸收件的利用率。
12、本申请的一些实施例中，定义第一吸收件在第一方向上的延伸长度为l1。定义第二吸收件在第一方向上的延伸长度为l2。定义固定区域在第一方向上的延伸长度为l3。其中，0.1l3≤l1≤0.2l3，0.1l3≤l2≤0.2l3。
13、上述实施例中，通过限制在第一方向上第一吸收件和第二吸收件的结构大小，从而限制第一吸收件和第二吸收件对物料的边缘区域的离子的捕获能力，既降低第一吸收件或第二吸收件捕获能力过大而发生抢夺物料正常镀膜的离子的可能，也降低第一吸收件或第二吸收件捕获能力过小而发生无法吸收多余离子的可能，从而提升物料镀膜的均匀性。
14、本申请的一些实施例中，第一固定部和/或第二固定部活动安装于第一连杆，并能与第一连杆锁紧，以调节固定区域在第一方向上的延伸长度。第一吸收件和/或第二吸收件活动安装于第二连接件，并能与第二连接件锁紧，以调节第一吸收件和第二吸收件在第一方向上的间隔距离。
15、上述实施例中，通过调节固定区域在第一方向上的延伸长度，使得在第一方向上固定区域的延伸长度能够与不同物料相适配，从而使第一固定部与第二固定部能够稳定固定不同大小的物料。同时通过调节第一吸收件和第二吸收件在第一方向上的间距，从而使第一吸收件和第二吸收件能够在第一方向上调节至不同大小的物料的两端处。从而提升镀膜装配装置对不同大小的物料的适配性。
16、本申请的一些实施例中，第一连接件可相对固定座转动。第一连接件转动的轴线延伸方向平行于第一方向。
17、上述实施例中，第一连接件转动带动所固定物料转动，使得物料沿第一方向的两端之间的周面均有机会正面朝向靶材，以提升物料镀膜的均匀性。并使得物料在第一方向上两端的端面的各位置均能靠近或远离离子吸引组件，以提升镀膜的均匀性。
18、本申请的一些实施例中，第二连接件包括第二连杆、第三固定部和第四固定部。第三固定部连接第一吸收件和第二连杆。第四固定部连接第二吸收件和第二连杆。
19、上述实施例中，第一吸收件通过第三固定部固定至第二连杆，第二吸收件通过第四固定部固定至第二连杆，从而便于第一吸收件和第二吸收件相互独立地装配或拆卸，便于根据实际需要灵活调整第一吸收件和第二吸收件。
20、本申请的一些实施例中，固定座包括第一座体和第二座体。第一座体和第二座体在第一方向上间隔设置。第一座体和第二座体分别连接第一连接件。第一座体和第二座体分别连接第二连接件。
21、上述实施例中，第一座体同时连接第一连接件的一端和第二连接件的一端，第二座体同时连接第本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种镀膜装配装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜装配装置，其特征在于：定义第一方向平行于所述第一吸收件和所述第二吸收件的分布方向，所述固定组件包括固定座、第一连接件和第二连接件，所述第一连接件与所述固定座连接，所述第一连接件被配置为连接所述物料，所述第二连接件与所述固定座连接，所述第二连接件与所述第一连接件在垂直于所述第一方向上间隔分布，所述第一吸收件和所述第二吸收件分别与所述第二连接件连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第一连接件设有多个，多个所述第一连接件沿环形分布，所述第二连接件设有多个，多个所述第二连接件沿环形分布，多个所述第一连接件和多个所述第二连接件分布的环形的轴线延伸方向均平行于所述第一方向，
4.根据权利要求2所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第一连接件包括第一连杆、第一固定部和第二固定部，所述第一连杆与所述固定座连接，所述第一固定部和所述第二固定部分别与所述第一连杆连接，所述第一固定部和所述第二固定部沿所述第一方向间隔分布，沿所述第一方向，所述第一固定部和所述第二固定部之间形成
5.根据权利要求4所述的镀膜装配装置，其特征在于：在所述第一方向上，所述第一吸收件朝向所述第二吸收件的一侧与所述固定区域的一侧齐平，所述第二吸收件朝向所述第一吸收件的一侧与所述固定区域的另一侧齐平。
6.根据权利要求4所述的镀膜装配装置，其特征在于：定义所述第一吸收件在所述第一方向上的延伸长度为L1，定义所述第二吸收件在所述第一方向上的延伸长度为L2，定义所述固定区域在所述第一方向上的延伸长度为L3，其中，0.1L3≤L1≤0.2L3，0.1L3≤L2≤0.2L3。
7.根据权利要求4所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第一固定部和/或所述第二固定部活动安装于所述第一连杆，并能与所述第一连杆锁紧，以调节所述固定区域在所述第一方向上的延伸长度；
8.根据权利要求2至7中任一项所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第一连接件可相对所述固定座转动，所述第一连接件转动的轴线延伸方向平行于所述第一方向。
9.根据权利要求2至7中任一项所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第二连接件包括第二连杆、第三固定部和第四固定部，所述第三固定部连接所述第一吸收件和所述第二连杆，所述第四固定部连接所述第二吸收件和所述第二连杆。
10.根据权利要求2至7中任一项所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述固定座包括第一座体和第二座体，所述第一座体和所述第二座体在所述第一方向上间隔设置，所述第一座体和所述第二座体分别连接所述第一连接件，所述第一座体和所述第二座体分别连接所述第二连接件。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜装配装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜装配装置，其特征在于：定义第一方向平行于所述第一吸收件和所述第二吸收件的分布方向，所述固定组件包括固定座、第一连接件和第二连接件，所述第一连接件与所述固定座连接，所述第一连接件被配置为连接所述物料，所述第二连接件与所述固定座连接，所述第二连接件与所述第一连接件在垂直于所述第一方向上间隔分布，所述第一吸收件和所述第二吸收件分别与所述第二连接件连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第一连接件设有多个，多个所述第一连接件沿环形分布，所述第二连接件设有多个，多个所述第二连接件沿环形分布，多个所述第一连接件和多个所述第二连接件分布的环形的轴线延伸方向均平行于所述第一方向，
4.根据权利要求2所述的镀膜装配装置，其特征在于：所述第一连接件包括第一连杆、第一固定部和第二固定部，所述第一连杆与所述固定座连接，所述第一固定部和所述第二固定部分别与所述第一连杆连接，所述第一固定部和所述第二固定部沿所述第一方向间隔分布，沿所述第一方向，所述第一固定部和所述第二固定部之间形成用于固定所述物料的固定区域。
5.根据权利要求4所述的镀膜装配装置，其特征在于：在所述第一方向上，所述第一吸收件朝向所述第二吸收件的一侧与所述固定区域的一侧齐平，所述第二吸收件...
【专利技术属性】
技术研发人员：严化，张宗培，李宝刚，周立，齐林林，贺威，苏昱铭，秦安立，
申请(专利权)人：富联裕展科技深圳有限公司，
类型：新型
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