System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种PZT高频陶瓷表面金属化方法技术_技高网

一种PZT高频陶瓷表面金属化方法技术

技术编号:43979799 阅读:2 留言:0更新日期:2025-01-10 20:05
本发明专利技术涉及陶瓷金属化技术领域,具体为一种PZT高频陶瓷表面金属化方法,先制备PZT高频陶瓷;在所述PZT高频陶瓷表面制备三元过渡金属硼化物过渡层;最后在三元过渡金属硼化物过渡层表面制备金属化层即可,本申请中三元过渡金属硼化物过渡层处于典型金属向典型陶瓷的过渡区域,性能也介于两者之间,有效弥合了金属和陶瓷之间的性质鸿沟,可以有效地促进PZT高频陶瓷与金属化层间的结合,并有效缓和因两种材料性质差异过大在界面附近造成的热应力,提高金属化层与PZT高频陶瓷间的结合强度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷金属化,具体为一种pzt高频陶瓷表面金属化方法。


技术介绍

1、pzt系列陶瓷是一种重要的压电陶瓷,广泛应用于各种电子元器件中,压电陶瓷表面的金属化直接影响电子元器件的使用寿命和性能。

2、目前,压电陶瓷表面金属化处理的工艺是以丝网印刷法或真空镀膜法。丝网印刷法是直接将银电极浆料通过丝印方式印制在压电陶瓷基片表面,再经过烘干、烧银等工序制备成金属化层。真空镀膜法是将所需的金属块放置在真空镀膜机的匣钵内,以通电加热匣钵的方式使金属受热熔化进而蒸发,在接触到压电陶瓷基片后在基片表面沉积形成金属化层这样一个物理过程。但是由于压电陶瓷与金属的性质差异,所以丝网印刷法或真空镀膜法都有一定的缺陷,所制备金属化层的牢固度较差。


技术实现思路

1、专利技术目的:针对上述技术问题,本专利技术提出了一种pzt高频陶瓷表面金属化方法。

2、所采用的技术方案如下:

3、一种pzt高频陶瓷表面金属化方法,具体如下:

4、先制备pzt高频陶瓷;

5、在所述pzt高频陶瓷表面制备fe2alb2过渡层;

6、最后在所述fe2alb2过渡层表面制备金属化层即可;

7、所述金属化层为ag和/或cu层。

8、进一步地,所述pzt高频陶瓷的化学结构通式如下:

9、pb(zr1/2ti1/2)o3-xwt%ln2o3

10、其中,ln2o3为镧系稀土元素氧化物,0.1≤x≤1。

<p>11、进一步地,ln2o3为dy2o3。

12、进一步地,x=0.8。

13、进一步地,所述pzt高频陶瓷的制备方法如下:

14、将pb3o4、zro2、tio2、ln2o3混合球磨后干燥并在800-850℃预烧1-5h,预烧产物再次球磨后干燥,加入粘结剂造粒,压制成型后升温排胶,最后在1250-1300℃烧结1-5h即可。

15、进一步地,所述fe2alb2过渡层的制备方法如下:

16、将pzt高频陶瓷放置在石英舟中,再将石英舟置于管式炉加热区域的中央位置,随后通入氢氩混合气体,在该气氛保护下将管式炉升温至1000-1150℃,将氯化铁气体、氯化铝气体和氯化硼气体引入管式炉内反应10-60min,反应终止后,自然冷却至室温即可。

17、进一步地,所述氢氩混合气体中氢气与氩气的体积比为1-5:1-5。

18、进一步地,所述金属化层通过磁控溅射方法制备得到。

19、本专利技术的有益效果:

20、本专利技术提供了一种pzt高频陶瓷表面金属化方法,本申请中fe2alb2过渡层处于典型金属向典型陶瓷的过渡区域,性能也介于两者之间,有效弥合了金属和陶瓷之间的性质鸿沟,可以有效地促进pzt高频陶瓷与金属化层间的结合,并有效缓和因两种材料性质差异过大在界面附近造成的热应力,提高金属化层与pzt高频陶瓷间的结合强度,现有技术中稀土元素对于pzt陶瓷压电性能的提升起到了积极作用,本申请进一步发现pzt高频陶瓷中的镧系稀土元素氧化物对于金属化层结合强度也有一定程度的提升效果,原因可能是镧系稀土元素发挥了界面效应,改善了fe2alb2过渡层与pzt高频陶瓷界面间的微观组织结构,使得fe2alb2过渡层紧密结合在pzt高频陶瓷表面,从而一定程度上增加了金属化层的结合强度。

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【技术保护点】

1.一种PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,具体如下:

2.如权利要求1所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,所述PZT高频陶瓷的化学结构通式如下:

3.如权利要求2所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,Ln2O3为Dy2O3。

4.如权利要求2所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,x=0.8。

5.如权利要求2所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,所述PZT高频陶瓷的制备方法如下:

6.如权利要求1所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,所述Fe2AlB2过渡层的制备方法如下:

7.如权利要求6所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,所述氢氩混合气体中氢气与氩气的体积比为1-5:1-5。

8.如权利要求1所述的PZT高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,所述金属化层通过磁控溅射方法制备得到。

【技术特征摘要】

1.一种pzt高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,具体如下:

2.如权利要求1所述的pzt高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,所述pzt高频陶瓷的化学结构通式如下:

3.如权利要求2所述的pzt高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,ln2o3为dy2o3。

4.如权利要求2所述的pzt高频陶瓷表面金属化方法,其特征在于,x=0.8。

5.如权利要求2所述的pzt高频陶瓷表面金...

【专利技术属性】
技术研发人员:方豪杰贺亦文张晓云张国秀方美玲刘建平曾雄
申请(专利权)人:湖南省美程陶瓷科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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