半导体器件分选机高温加热缓存送料装置制造方法及图纸

本技术涉及一种半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，包括机架，所述机架上设置有经驱动机构驱动进行横向往复平移运动的活动座体，所述活动座体上固连有若干个横向排布的加热仓，所述加热仓的内部均设置有竖直的落料滑道，所述落料滑道的顶部均具有入口、底部均具有出口，并且出、入口上均设置有开关闸门。能够大大提高缓存加热料量与送料效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体器件分选机高温加热缓存送料装置。

技术介绍

1、半导体器件在高温环境下的可靠性是制造商和用户十分关注的问题。现有技术中，高温检测常用的测试温度范围为100℃到300℃，通常使用恒温炉或烤箱等设备，将元器件置于其中并设置一定的高温温度，当达到设定时间以后，再检测元器件的电性能，该检测对半导体元器件的研发、生产和使用都具有重要意义。

2、现有技术具有以下不足之处：用以高温储放半导体器件的设备相对独立，不具有“承上启下”的功能，即无法与半导体器件的进料轨道相连，也无法与半导体器件的出料轨道相连，导致进料轨道-出料轨道之间的半导体器件送料困难，效率低下。

技术实现思路

1、鉴于现有技术的不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种半导体器件分选机高温加热缓存送料装置。

2、为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，包括机架，所述机架上设置有经驱动机构驱动进行横向往复平移运动的活动座体，所述活动座体上固连有若干个横向排布的加热仓，所述加热仓的内部均设置有竖直的落料滑道，所述落料滑道的顶部均具有入口、底部均具有出口，并且出、入口上均设置有开关闸门。

3、优选的，所述落料滑道的横截面形状与处于下落姿态的半导体器件外轮廓形状相适应。

4、优选的，所述加热仓内部在落料滑道的背面均埋设有加热管，所述加热管均沿着落料滑道的长度方向竖直通长设置。

5、优选的，所述开关闸门均包括水平设置的闸板，所述加热仓的顶部与底部均开设有闸孔，顶部闸板均水平穿设过闸孔后进入落料滑道，用以启闭入口，底部闸板均水平穿设过闸孔后进入落料滑道，用以启闭出口。

6、优选的，所述机架上在活动座体的旁侧固连有一用以驱动入口的开关闸门的上驱动组件、一用以驱动出口的开关闸门的下驱动组件，上驱动组件与下驱动组件横向错位设置，用以同时对应于两个相邻的加热仓。

7、优选的，所述上驱动组件与下驱动组件均包括固连在机架上的闸门气缸，所述闸门气缸的活塞杆端均固连有转接架，所述转接架上均安装有轴向竖直的滚轮；所述闸板上均固连有转接块，所述转接块均经闸孔旁侧固连的导杆穿过，所述导杆前端均固连有限位块，所述限位块与转接块之间的导杆上均套设有弹簧，所述转接块上均固设有用以随活动座体平移至与滚轮相对应的顶接块，所述顶接块位于滚轮前侧。

8、与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：该半导体器件分选机高温加热缓存送料装置通过设置有活动座体，活动座体上固连有若干个横向排布的加热仓，加热仓的内部均设置有竖直的落料滑道，落料滑道的顶部均具有入口、底部均具有出口，并且出、入口上均设置有开关闸门。

9、当活动座体位于半导体器件的进料轨道与出料轨道之间时，通过活动座体的往复平移运动控制，可将加热仓的顶部入口依次对准进料轨道，将半导体器件缓存入所有加热仓中，实现高温环境下的缓存；当加热仓内部半导体器件达到设定时间的设定加热温度后，通过活动座体的往复平移运动控制，可将加热仓的底部出口依次对准出料轨道，将半导体器件输出至出料轨道，以便于后续的电性能检测，能够大大提高缓存加热料量与送料效率。

10、下面结合附图和具体实施方式对本技术做进一步详细的说明。

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【技术保护点】

1.一种半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设置有经驱动机构驱动进行横向往复平移运动的活动座体，所述活动座体上固连有若干个横向排布的加热仓，所述加热仓的内部均设置有竖直的落料滑道，所述落料滑道的顶部均具有入口、底部均具有出口，并且出、入口上均设置有开关闸门。

2.根据权利要求1所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述落料滑道的横截面形状与处于下落姿态的半导体器件外轮廓形状相适应。

3.根据权利要求1所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述加热仓内部在落料滑道的背面均埋设有加热管，所述加热管均沿着落料滑道的长度方向竖直通长设置。

4.根据权利要求1所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述开关闸门均包括水平设置的闸板，所述加热仓的顶部与底部均开设有闸孔，顶部闸板均水平穿设过闸孔后进入落料滑道，用以启闭入口，底部闸板均水平穿设过闸孔后进入落料滑道，用以启闭出口。

5.根据权利要求4所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述机架上在活动座体的旁侧固连有一用以驱动入口的开关闸门的上驱动组件、一用以驱动出口的开关闸门的下驱动组件，上驱动组件与下驱动组件横向错位设置，用以同时对应于两个相邻的加热仓。

6.根据权利要求5所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述上驱动组件与下驱动组件均包括固连在机架上的闸门气缸，所述闸门气缸的活塞杆端均固连有转接架，所述转接架上均安装有轴向竖直的滚轮；所述闸板上均固连有转接块，所述转接块均经闸孔旁侧固连的导杆穿过，所述导杆前端均固连有限位块，所述限位块与转接块之间的导杆上均套设有弹簧，所述转接块上均固设有用以随活动座体平移至与滚轮相对应的顶接块，所述顶接块位于滚轮前侧。

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【技术特征摘要】

1.一种半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设置有经驱动机构驱动进行横向往复平移运动的活动座体，所述活动座体上固连有若干个横向排布的加热仓，所述加热仓的内部均设置有竖直的落料滑道，所述落料滑道的顶部均具有入口、底部均具有出口，并且出、入口上均设置有开关闸门。

2.根据权利要求1所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述落料滑道的横截面形状与处于下落姿态的半导体器件外轮廓形状相适应。

3.根据权利要求1所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述加热仓内部在落料滑道的背面均埋设有加热管，所述加热管均沿着落料滑道的长度方向竖直通长设置。

4.根据权利要求1所述的半导体器件分选机高温加热缓存送料装置，其特征在于：所述开关闸门均包括水平设置的闸板，所述加热仓的顶部与底部均开设有闸孔，顶部闸板均水...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢名富，吴成君，张民贵，吕鹏飞，
申请(专利权)人：福州派利德电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：