【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别涉及一种晶圆mark区域的检测方法及系统。
技术介绍
1、制造光罩时，各个模块会作为gds形式文件的一部分，放置在切割道上，用以监控制程的测试键(test key,tsk)，用于监控和量测制造过程中各种参数。光罩公司在制造光罩之前，会提供数据文件进行检查。以光刻光罩jdv检查为例，目前采用全人工的方式进行检查mark区域是否存在，并且检查mark区域的位置是否准确。在实际操作中，首先，打开step form文件，找到mark区域对应的坐标。接着，登录job deck view(jdv)软件，并通过jdv软件，找到相应的mark区域。最后，完成mark区域相关量测，并截图保存。如果检查的半导体结构层中有掩膜版的关键尺寸(比如：线宽)检查，则需要一位工程花费2小时左右才能完成。因此，需要消耗大量的人力和时间，检查效率低。
2、为提高检查效率，参图2所示，目前已有的技术，首先通过登录jdv软件系统。接着，通过已有python小程序转化坐标。然后，再通过已有python小程序会自动依序输入坐标截图。最后，生成截图文件，并由工程师做二次判断每次jdv检查结果是否正确。虽然，该种jdv检查方式能够实现坐标自动转化和jdv自动截图。但是，生成的截图文件如图3所示为图像格式，仍然不能与如图2所示的gds形式文件中图像直接进行比对，仍需工程再重新检查下图像是否是所需的mark区域。因此，同样存在检查时间长，效率低的问题。
3、需要说明的是，公开于该专利技术
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本专利技术
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆mark区域的检测方法及系统，以解决检查mark区域存在检查时间长，效率低的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种晶圆mark区域的检测方法，包括：
3、提供一晶圆gds形式文件，以确认被检测的mark区域，所述mark区域具有待检测的图案；
4、将mark区域截图，并抽取图案的轮廓线；
5、获取轮廓线与gds形式文件中图案的相似度，并输出对比结果；
6、设定相似度的对比的阈值，若输出的对比结果在阈值范围内，则该mark区域检测结果输出为ok，若输出的对比结果未在阈值范围内，则该mark区域检测结果输出为ng。
7、优选地，所述提供一晶圆gds形式文件，以确认被检测的mark区域包括：
8、提供一晶圆gds形式文件，所述gds形式文件具有被检测的mark区域的坐标；
9、基于所述mark区域的坐标，以确认被检测的mark区域。
10、优选地，所述晶圆包括多个被检测的mark区域。
11、优选地，所述待检测的图案包括对准标记、测试键、工艺控制标记、缺陷标记、关键尺寸标记。
12、优选地，所述将mark区域截图，并抽取图案的轮廓线包括：
13、登录jdv软件，依据gds形式文件中mark区域的坐标，找到mark区域；
14、将mark区域坐标转换，并将坐标转换之后的mark区域区域进行自动截图。
15、优选地，所述mark区域区域通过python程序中自动截图模块进行自动截图。
16、优选地，所述将mark区域截图，并抽取图案的轮廓线后，其中的轮廓线为gds形式文件。
17、优选地，所述设定相似度的对比的阈值包括：
18、设定抽取的轮廓线与gds形式文件中mark区域中图案的相似度的阈值，所述阈值为0.8～0.9。
19、优选地，通过jdv软件系统获取轮廓线与gds形式文件中图案的相似度，并输出对比结果，并设定相似度的对比的阈值，若输出的对比结果在阈值范围内，则该mark区域检测结果输出为ok，若输出的对比结果未在阈值范围内，则该mark区域检测结果输出为ng。
20、基于相同的专利技术思想，本专利技术还提供了一种晶圆mark区域的检测系统，包括：
21、获取模块，用于提供一晶圆gds形式文件，以确认被检测的mark区域，所述mark区域具有待检测的图案；
22、截图模块，用于将mark区域截图，并抽取图案的轮廓线；
23、对比模块，用于获取轮廓线与gds形式文件中图案的相似度，并输出对比结果；设定相似度的对比的阈值，若输出的对比结果在阈值范围内，则该mark区域检测结果输出为ok，若输出的对比结果未在阈值范围内，则该mark区域检测结果输出为ng。
24、与现有技术相比，本专利技术的晶圆mark区域的检测方法具有如下优点：
25、本专利技术通过抽取mark区域截图的轮廓线，从而能够将mark区域截图转化成gds形式文件，进而能够将抽取mark区域截图的轮廓线图案进行对准和缩放，使得mark区域截图文件与gds形式的图案直接进行比对，起到减少检查时间，提高检查效率的效果。
26、本专利技术提供的晶圆mark区域的检测系统与本专利技术提供的晶圆mark区域的检测方法属于同一专利技术构思，因此，本专利技术提供的晶圆mark区域的检测系统至少具有本专利技术提供的晶圆mark区域的检测方法的所有优点，在晶圆检测mark区域是否存在，以及存在的位置是否正确时，能够起到减少检查时间，提高检查效率的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述提供一晶圆GDS形式文件，以确认被检测的Mark区域包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述晶圆包括多个被检测的Mark区域。
4.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述待检测的图案包括对准标记、测试键、工艺控制标记、缺陷标记、关键尺寸标记。
5.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述将Mark区域截图，并抽取图案的轮廓线包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述Mark区域区域通过Python程序中自动截图模块进行自动截图。
7.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述将Mark区域截图，并抽取图案的轮廓线后，其中的轮廓线为GDS形式文件。
8.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，所述设定相似度的对比的阈值
9.根据权利要求1所述的晶圆Mark区域的检测方法，其特征在于，通过JDV软件系统获取轮廓线与GDS形式文件中图案的相似度，并输出对比结果，并设定相似度的对比的阈值，若输出的对比结果在阈值范围内，则该Mark区域检测结果输出为OK，若输出的对比结果未在阈值范围内，则该Mark区域检测结果输出为NG。
10.一种晶圆Mark区域的检测系统，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆mark区域的检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆mark区域的检测方法，其特征在于，所述提供一晶圆gds形式文件，以确认被检测的mark区域包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆mark区域的检测方法，其特征在于，所述晶圆包括多个被检测的mark区域。
4.根据权利要求1所述的晶圆mark区域的检测方法，其特征在于，所述待检测的图案包括对准标记、测试键、工艺控制标记、缺陷标记、关键尺寸标记。
5.根据权利要求1所述的晶圆mark区域的检测方法，其特征在于，所述将mark区域截图，并抽取图案的轮廓线包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆mark区域的检测方法，其特征在于，所述mark区域区域通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：周侃，周文湛，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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