【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池领域，涉及一种生产太阳能电池的镀膜设备的灯管加热器，特别涉及一种用于镀膜设备的灯管加热器及镀膜设备。
技术介绍
1、太阳能电池是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件，环保绿色且可再生，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池具有广阔的发展前景。在太阳能电池片的生产过程中，镀膜对于提升电池转化效率起着至关重要的作用。常见的有采用圆腔镀膜设备对太阳能电池片进行镀膜。
2、在现有技术中，圆腔镀膜设备常常使用铠装加热器(如专利cn101534583a)进行加热，但是这种加热器存在如下缺陷：工艺过程复杂，成本较高。
3、由此可见，克服现有技术不足，提供一种改进的加热器，降低加热工艺的复杂程度，最终达到降低加热成本且提高生产效率，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种灯管加热器。本技术所提供的灯管加热器设置简单工艺方便，降低了加热成本且提高了生产效率。
2、本技术第一方面涉及一种用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，包括：
3、环状的加热器主体，用于进行导电；
4、设于加热器主体的上侧的绝缘环，用于进行绝缘；
5、设于加热器主体的下侧的反射板，用于反射热量；
6、设于加热器主体的下侧呈扇形排布在反射板上的多根灯管，用于放出热量进行加热；
7、在每根灯管的下方设有下连接件且在上方设有上连接件，下连接件和上连接件使灯管与
8、设于绝缘环的内部的电极，用于为灯管加热器供电，
9、在加热器主体还内置有金属环。
10、优选地，绝缘环为陶瓷环。
11、优选地，上连接件为绝缘材料，下连接件为金属。
12、优选地，灯管的数量为20-60根。
13、优选地，相邻灯管之间的距离相等。
14、优选地，上连接件为陶瓷材料，下连接件为不锈钢。
15、本技术第二方面涉及一种侧壁钝化镀膜设备，包括本技术第一方面涉及的灯管加热器。
16、与现有技术相比，本技术具有以下优点：
17、根据本技术所提供的灯管加热器，设置简单工艺方便，降低了加热成本且提高了生产效率。
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1.一种用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
3.如权利要求2所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
4.如权利要求3所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
5.如权利要求1所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
6.如权利要求1所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
7.一种镀膜设备，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
3.如权利要求2所述的用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器，其特征在于，
4.如权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：康家乐，陆勇，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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