隔膜泵的控制系统和硼扩机台技术方案

本申请公开了一种隔膜泵的控制系统和硼扩机台。其中，该隔膜泵的控制系统包括：废气柜、安装柜、隔板、电箱、控制屏以及快接头，电箱、控制屏以及快接头均安装在隔板上，隔板安装在安装柜上，控制屏和电箱与快接头连接，废气柜上开设有通孔，隔膜泵的电源线、薄膜硅控制线以及通讯网线从通孔引出后连接至快接头，而安装柜与废气柜之间的间隔距离达到预设距离，从而可以隔绝高温对电控部分的影响、且能够避免腐蚀性环境的影响，可以解决相关技术中隔膜泵的电控部分寿命较短的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电池加工，具体而言，涉及一种隔膜泵的控制系统和硼扩机台。

技术介绍

1、能源是世界经济和社会发展的基础，随着传统化石能源的消耗以及人类生存环境的恶化，发展清洁可再生能源引起了大家的高度重视。

2、随着高效电池技术的不断发展，陆续开发了诸多新技术，如：p型钝化发射极及背面接触(perc)太阳能电池技术，n型钝化发射极背面局部扩散(perl)太阳能技术，硅基异质结(shj)太阳能技术，n型隧穿氧化层钝化接触(topcon)太阳能电池技术，背结背接触(ibc)太阳能技术等。

3、硼扩工序就是topcon工艺中的重要工序，目的是在p(n)型衬底上扩散n(p)型杂质形成pn结，达到合适的掺杂浓度ρ/方阻r，获得适合太阳能电池pn结需要的结深、掺杂浓度ρ、方阻r。

4、化学隔膜泵是在硼扩工艺过程中，针对气体持续的、无油抽气的优秀解决方案，拥有极好的极限真空度，能达到1.5mbar。由于它的抽速大，对于高气载应用或要求快速抽气到负压状态的真空箱体，该泵是一个很好的选择。所有沾湿部件均由铝、不锈钢和精心挑选的塑料制成，适用于广泛的无腐蚀性气体应用，可自动调节其电机转速，以保持所需的真空度。这意味着泵运行时非常安静，振动超低，并具有较好的密封性。高柔性纤维增强双fkm膜片是延长泵使用寿命的理想选择。设计包括变频泵和带外置传感器的真空控制器。按需响应的电机转速控制进一步延长了隔膜和阀门已经很长的使用寿命。而且无油运行意味着没有回流污染的风险。

5、n型topcon的工艺路线中，硼扩工序隔膜泵作为真空环境重要组成部分，在营造炉管真空环境中起到了重要作用。

6、现有硼扩机台，隔膜泵整体处在废气柜中，废气柜中温度较高，平均有50-100℃，且有氧化硼粉尘，具有腐蚀性，在此环境下，电控部分寿命仅有3个月，且经常出现突发性损坏，造成批量异常返工。

7、针对上述的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种隔膜泵的控制系统和硼扩机台，以至少解决相关技术中隔膜泵的电控部分寿命较短的技术问题。

2、根据本申请实施例的一个方面，提供了一种隔膜泵的控制系统，包括：废气柜、安装柜、隔板、电箱、控制屏以及快接头；所述隔膜泵安装在所述废气柜内，所述废气柜上开设有通孔，所述隔膜泵的电源线、薄膜硅控制线以及通讯网线均从所述通孔引出；所述电箱、所述控制屏以及所述快接头均安装在所述隔板上，所述隔板安装在所述安装柜上，所述控制屏和所述电箱与所述快接头连接，所述隔膜泵的电源线、所述薄膜硅控制线以及所述通讯网线从所述通孔引出后连接至所述快接头；所述安装柜与所述废气柜之间的间隔距离达到预设距离。

3、根据本申请实施例的另一方面，还提供了一种硼扩机台，包括上述的隔膜泵的控制系统。

4、在本申请实施例中，本申请的隔膜泵的控制系统包括：废气柜、安装柜、隔板、电箱、控制屏以及快接头，电箱、控制屏以及快接头均安装在隔板上，隔板安装在安装柜上，控制屏和电箱与快接头连接，废气柜上开设有通孔，隔膜泵的电源线、薄膜硅控制线以及通讯网线从通孔引出后连接至快接头，而安装柜与废气柜之间的间隔距离达到预设距离，从而可以隔绝高温对电控部分的影响、且能够避免腐蚀性环境的影响，可以解决相关技术中隔膜泵的电控部分寿命较短的技术问题。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种隔膜泵的控制系统，其特征在于，包括：

2.一种硼扩机台，其特征在于，包括权利要求1所述的隔膜泵的控制系统。

【技术特征摘要】

1.一种隔膜泵的控制系统，其特征在于，包括：

2.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张弛，
申请(专利权)人：合肥清电长信光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：