镀膜辅助装置制造方法及图纸

本技术提供一种镀膜辅助装置，包括：支架，包括相对设置的顶座和底座，以及与顶座和底座分别连接的连接件，底座朝向顶座的一侧开设有定位槽；辅助机构，包括装载座、转动件及限位件，装载座插设于顶座，转动件穿设于装载座并与装载座转动连接，转动件朝向底座的一侧开设有收纳槽，限位件连接转动件的一端并位于转动件和底座之间，限位件开设有卡持孔，收纳槽、卡持孔及定位槽同轴设置；承载件，用于承载工件，且一端插设于定位槽，另一端卡持于卡持孔并延伸至收纳槽，底座带动承载件转动，以使承载件通过限位件带动转动件相对装载座转动。上述镀膜辅助装置能够改善承载件的上下端在旋转过程中的同轴度，从而有利于提高工件的镀膜均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜，具体涉及一种镀膜辅助装置。

技术介绍

1、等离子体增强化学气相沉积工艺一般采用具有支架及串杆的镀膜辅助装置带动工件转动，并在工件随串杆的转动过程中在工件的表面形成薄膜。然而，支架与串杆常见的配合方式为串杆的底端插入支架的底端，串杆的顶端插设在支架顶端的限位孔内，因串杆的长度较长，串杆随支架的底端旋转时，串杆的顶端会出现偏心旋转，容易导致串杆上下端形成的薄膜的厚度不均匀，降低了镀膜的质量。

技术实现思路

1、鉴于以上内容，有必要提供一种镀膜辅助装置，以提高工件的镀膜均匀性。

2、本技术实施例提供一种镀膜辅助装置，包括：

3、支架，包括相对设置的顶座和底座，以及与所述顶座和所述底座分别连接的连接件，所述底座朝向所述顶座的一侧开设有定位槽；

4、辅助机构，包括装载座、转动件及限位件，所述装载座插设于所述顶座，所述转动件穿设于所述装载座并与所述装载座转动连接，所述转动件朝向所述底座的一侧开设有收纳槽，所述限位件连接所述转动件的一端并位于所述转动件和所述底座之间，所述限位件开设有卡持孔，所述收纳槽、所述卡持孔及所述定位槽同轴设置；

5、承载件，用于承载工件，所述承载件的一端插设于所述定位槽，所述承载件的另一端卡持于所述卡持孔并延伸至所述收纳槽；其中，

6、所述底座带动所述承载件转动，以使所述承载件通过所述限位件带动所述转动件相对所述装载座转动。

7、上述镀膜辅助装置中，承载件的一端随底座转动时，承载件的另一端通过限位件带动转动件转动，与转动件转动连接的装载座插设于顶座，且收纳槽、卡持孔及定位槽同轴设置，能够减少承载件远离定位槽的一端在转动过程中产生的偏心旋转的幅度，以改善承载件的上下端在旋转过程中的同轴度，从而有利于提高位于承载件上的工件的镀膜均匀性。

8、在一些实施例中，所述装载座包括：

9、装载件，插设于所述顶座并开设有装载槽及安装槽，所述装载槽贯穿所述装载件，所述安装槽开设于所述装载槽的侧壁；

10、轴承，嵌设于所述安装槽并套设于所述转动件。

11、在一些实施例中，所述安装槽的侧壁开设有环槽，所述装载座还包括装载卡环，所述装载卡环收纳于所述环槽并抵持所述轴承至所述安装槽的底壁。

12、在一些实施例中，所述安装槽、所述环槽、所述轴承及所述装载卡环均为两个，两个所述安装槽位于两个所述环槽之间，两个所述轴承与两个所述安装槽一一对应，两个所述装载卡环与两个所述环槽一一对应。

13、在一些实施例中，所述转动件包括：

14、转动体，穿设于所述装载座并与所述装载座转动连接，所述收纳槽开设于所述转动体朝向所述底座的一侧；

15、外沿体，连接所述转动体靠近所述底座的一端的周侧，并与所述限位件连接。

16、在一些实施例中，所述收纳槽包括转动槽及导向槽，所述导向槽开设于所述转动件朝向所述底座的一侧，且所述导向槽的内径沿远离所述底座的方向逐渐减小，所述转动槽开设于所述导向槽的底壁，且所述转动槽的侧壁与所述承载件间隙配合。

17、在一些实施例中，所述转动件远离所述限位件的一端凸出所述装载座，所述辅助机构还包括封盖件，所述封盖件套设于所述转动件远离所述限位件的一端并与所述装载座间隔设置，以封盖所述装载槽。

18、在一些实施例中，所述转动件远离所述限位件的一端的周侧开设有止挡槽，所述辅助机构还包括止挡卡环，所述止挡卡环套设于所述止挡槽并抵持所述封盖件至所述转动件。

19、在一些实施例中，所述限位件包括：

20、限位体，所述卡持孔贯穿所述限位体的相对两侧；

21、限高体，所述限高体的两端分别与所述限位体及所述转动件可拆卸连接。

22、在一些实施例中，所述底座包括：

23、底板，与所述顶座相对设置并与所述连接件连接；

24、驱动件，包括驱动体及定位体，所述驱动体设于所述底板，所述定位体连接于所述驱动体朝向所述顶座的一侧，所述定位槽开设于所述定位体朝向所述顶座的一侧；其中，

25、所述驱动体用于驱动所述定位体带动所述承载件转动。

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【技术保护点】

1.一种镀膜辅助装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述装载座包括：

3.如权利要求2所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述转动件包括：

6.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

7.如权利要求2所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

8.如权利要求7所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

9.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述限位件包括：

10.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述底座包括：

【技术特征摘要】

1.一种镀膜辅助装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述装载座包括：

3.如权利要求2所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的镀膜辅助装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述转动件包括：

【专利技术属性】
技术研发人员：张宗培，李宝刚，苏昱铭，贺威，刘月平，严化，秦安立，
申请(专利权)人：富联裕展科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：

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