【技术实现步骤摘要】
本技术涉及薄膜沉积，具体涉及气体喷淋组件及薄膜沉积装置。
技术介绍
1、薄膜沉积是晶圆加工制造中重要的一环，其通过薄膜沉积设备在晶圆表面形成薄膜。化学气相薄膜沉积设备是其中的一种，其通过将晶圆放置在反应腔室内，将反应气体通过气体分配盘进入反应腔，并使用射频装置将反应气体等离子化，反应腔内的加热盘提供晶圆反应所需的温度，使晶圆上沉积薄膜。
2、现有技术中，薄膜沉积装置中的气体喷淋头是一个关键组件。气体喷淋头的作用是将气体均匀地喷洒在晶圆表面，以确保气体薄膜均匀地沉积在表面上。在喷淋板上设置定位柱使喷淋板与盖板紧密结合，然而，由于在喷淋板上布置多个定位柱，可能会干扰到喷淋板上喷淋孔的布局，进而影响晶圆表面的薄膜沉积均匀性。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种气体喷淋组件及薄膜沉积装置，以解决定位柱影响喷淋板上喷淋孔的布局，进而影响晶圆表面薄膜沉积均匀性的问题。
2、第一方面，本技术提供了一种气体喷淋组件，包括：
3、盖板，开设有进气孔和至少一个贯穿所述盖板两侧的通孔；
4、喷淋板，与所述盖板密封连接且之间留有与所述进气孔连通的空腔，所述喷淋板上开设有若干个与所述空腔连通的喷淋孔；
5、定位柱，至少设有一个，与所述通孔一一对应设置，所述定位柱具有连接端和安装端，所述连接端设于所述喷淋板上，所述安装端焊接设于所述通孔内，所述定位柱上设有用于支撑所述盖板的支撑部，所述支撑部设于所述连接端与所述安装端之间并一端延伸至所述连接
6、有益效果：此气体喷淋组件，将盖板盖设在喷淋板上，定位柱的连接端设置在喷淋板上，盖板上开设有与定位柱一一对应的通孔，使定位柱的安装端插入对应的通孔内，从而实现了喷淋板与盖板的精确定位，简化了装配过程，提高了装配效率和精度，避免了错位带来的工艺误差。通过在定位柱上设置支撑部，由支撑部来支撑盖板，避免焊接后盖板因自身受力不均而导致的变形问题。由于支撑部的一端延伸至连接端，并且定位柱连接端的轴向横截面的面积小于定位柱支撑部的轴向横截面的面积，不仅保证了定位柱的自身强度，还减小了定位柱连接端在喷淋板上的占用面积，从而增加了定位柱周边喷淋孔的数量，使得定位柱周边区域的气体通过流量与其他区域的气体通过流量相一致，有效提升了晶圆表面薄膜沉积的均匀性，并保证盖板与喷淋板之间的结合强度，提高了气体喷淋组件的性能和使用寿命。
7、晶圆在进行薄膜沉积时，气体通过进气孔进入至空腔内，然后再通过喷淋板的喷淋孔均匀地喷洒在晶圆表面，以确保气体薄膜均匀地沉积在晶圆表面上。
8、在一种可选的实施方式中，所述支撑部的外表面设有倾斜面，自所述连接端至所述安装端方向，所述支撑部的轴向横截面的面积逐渐变大。
9、有益效果：通过在支撑部的外表面设置倾斜面，有助于均匀地分布支撑部所承受的应力，减小局部应力集中，并且随着轴向横截面面积的逐渐增大，支撑部的结构强度得到增强，使定位柱能够承受更大的载荷，避免定位柱发生断裂或变形。
10、在一种可选的实施方式中，所述支撑部呈圆台状。
11、有益效果：圆台形状的支撑部在轴向上具有逐渐增大的横截面，能够增加支撑部的承载能力，使得支撑部能够承受更大的力而不发生变形，同时圆台状的支撑部便于生产和制造。
12、在一种可选的实施方式中，所述定位柱的外表面与所述通孔内壁之间留有间隙形成焊接槽，所述焊接槽内适于容纳焊料。
13、有益效果：将定位柱外表面与通孔内壁的之间设有间隙以形成焊接槽，操作人员在对定位柱和通孔进行焊接时，可以将焊料填充至焊接槽内，进而对定位柱的外表面与通孔的内壁进行充分焊接，增加了焊接面，进而增强了焊接强度，提高了盖板和喷淋板连接的质量和可靠性，避免定位柱与通孔焊接处因焊料不足而发生断裂的问题。
14、在一种可选的实施方式中，所述定位柱的外表面与所述支撑部之间设有第一圆角。
15、有益效果：通过在定位柱的外表面与支撑部之间设有第一圆角，将定位柱的安装端安装在通孔内时，第一圆角抵接在通孔的底部，进而对通孔的底部进行密封，能够有效阻止焊接槽内的焊料从通孔掉入至空腔内。
16、在一种可选的实施方式中，所述通孔包括装配段和安装段，所述定位柱设于所述装配段内，所述安装段的孔径大于所述装配段的孔径。
17、有益效果：将通孔的安装段孔径设置的大于装配段孔径，在焊接定位柱时，将定位柱安装在装配段内，提供充足的焊接空间，以便于对定位柱的安装端或外表面进行焊接操作。
18、在一种可选的实施方式中，所述安装端设于所述装配段与所述安装段之间。
19、有益效果：将安装端设置在装配段和安装段之间，在对定位柱进行焊接固定时，可以将定位柱的安装端的端面与装配段和安装段之间形成的阶梯面焊接在一起，进一步确保定位柱在通孔内焊接牢固。
20、在一种可选的实施方式中，所述定位柱的所述连接端与所述喷淋板的连接处设有第二圆角。
21、有益效果：在定位柱连接端与喷淋板的连接处设置第二圆角，通过第二圆角进行过渡，防止定位柱的连接端应力集中而导致定位柱变形，延长定位柱和喷淋板的使用寿命。
22、在一种可选的实施方式中，所述定位柱设有多个，多个所述定位柱与所述喷淋板为一体成型设置。
23、有益效果：多个定位柱设置在喷淋板上，可以为盖板提供均匀的支撑点，确保了整个盖板和喷淋板在安装和工作时的稳定性，减少了因受力不均而引起的变形或偏移位。通过将定位柱与喷淋板一体化成型设置，可以确保定位柱与喷淋板之间无接合缝隙，结构连续无弱点，大大增强了整体的机械强度和抗扭转力，适合承受高温、振动等恶劣工况，延长了喷淋结构的使用寿命。
24、第二方面，本技术还提供了一种薄膜沉积装置，包括：
25、腔室；
26、气体喷淋组件，所述喷淋板设于所述腔室内。
27、有益效果：此薄膜沉积装置，将喷淋板设置在腔室内，通过喷淋板的喷淋孔均匀地将气体喷洒在晶圆表面上，进行薄膜沉积。由于支撑部的一端延伸至连接端，并且定位柱连接端的轴向横截面的面积小于定位柱支撑部的轴向横截面的面积，不仅保证了定位柱的自身强度，还减小了定位柱连接端在喷淋板上的占用面积，从而增加了定位柱周边喷淋孔的数量，使得定位柱周边区域的气体通过流量与其他区域的气体通过流量相一致，有效提升了晶圆表面薄膜沉积的均匀性。
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1.一种气体喷淋组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述支撑部(403)的外表面设有倾斜面(4031)，自所述连接端(401)至所述安装端(402)方向，所述支撑部(403)的轴向横截面的面积逐渐变大。
3.根据权利要求2所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述支撑部(403)呈圆台状。
4.根据权利要求2所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面与所述通孔(102)内壁之间留有间隙形成焊接槽(5)，所述焊接槽(5)内适于容纳焊料。
5.根据权利要求4所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面与所述支撑部(403)之间设有第一圆角(404)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述通孔(102)包括装配段(1021)和安装段(1022)，所述定位柱(4)设于所述装配段(1021)内，所述安装段(1022)的孔径大于所述装配段(1021)的孔径。
7.根据权利要求6所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述安装端(402)设于
8.根据权利要求1至5中任一项所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述定位柱(4)的所述连接端(401)与所述喷淋板(2)的连接处设有第二圆角(405)。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述定位柱(4)设有多个，多个所述定位柱(4)与所述喷淋板(2)为一体成型设置。
10.一种薄膜沉积装置，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种气体喷淋组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述支撑部(403)的外表面设有倾斜面(4031)，自所述连接端(401)至所述安装端(402)方向，所述支撑部(403)的轴向横截面的面积逐渐变大。
3.根据权利要求2所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述支撑部(403)呈圆台状。
4.根据权利要求2所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面与所述通孔(102)内壁之间留有间隙形成焊接槽(5)，所述焊接槽(5)内适于容纳焊料。
5.根据权利要求4所述的气体喷淋组件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面与所述支撑部(403)之间设有第一圆角(404)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的气...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晨，耿德会，赵旭日，
申请(专利权)人：无锡金源半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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