【技术实现步骤摘要】
本说明书实施例涉及精密设备的，具体涉及一种测试台及测量方法。
技术介绍
1、测试台可以用于复现物料在生产过程中的实际场景需求，并基于实际场景需求测量并获取物料在各个生产环节中可能遇到的数据。测试台获取的数据可以用于反馈并优化实际生产过程中对物料的上料动作、交接动作、或者移动动作等过程的参数调试。目前尚无能够同时实现物料的上料、夹持、传输以及测量验证的综合测试系统，单一功能的测试台无法覆盖多场景使用需求。
技术实现思路
1、本说明书一个或多个实施例提供了一种测试台，包括平台模块；运动模块，设于所述平台模块上，用于承接物料并携物料运动，所述运动模块包括能够于所述平台模块上沿第一方向运动并处于第一检测工位或第二检测工位的载台、与所述载台相连接的用于承载物料的物料吸附装置；物料调整模块，设于所述平台模块上，用于承接物料并调整物料的位置；上下料辅助传输模块，设于所述平台模块上，用于使所述物料调整模块能够于所述平台模块上运动并处于所述第一检测工位；第一检测模块，设于所述第一检测工位，能够沿与所述第一方向垂直的垂向方向运动，用于获取物料在所述物料调整模块的第一位置；第二检测模块，设于所述第二检测工位，能够沿所述垂向方向运动，用于获取所述物料吸附装置携物料运动前的物料的第二位置和/或所述运动模块携物料运动后的物料的第三位置。
2、在一些实施例中，所述运动模块还包括：第一线性驱动装置，所述第一线性驱动装置用于驱动所述载台沿所述第一方向运动；第一导向模组，于所述第一方向上延伸，用于对所述载
3、在一些实施例中，所述运动模块还包括：分别设于所述载台两侧的两个平衡质量块，两个所述平衡质量块沿与所述第一方向相交的第二方向设置；安装于所述平衡质量块和所述载台之间的第一线性驱动装置，所述第一线性驱动装置用于驱动所述载台沿所述第一方向运动；安装于所述平台模块和所述平衡质量块之间的第二线性驱动装置，所述第二线性驱动装置用于驱动所述平衡质量块沿所述第一方向运动，两个所述平衡质量块的运动方向与所述载台的运动方向相反。
4、在一些实施例中，所述运动模块还包括：于所述第一方向上延伸的第一导向模组，用于对所述载台实施导向；于所述第一方向上延伸的两个第二导向模组，分别用于对两个所述平衡质量块实施导向。
5、在一些实施例中，所述平衡质量块包括第一块体和第二块体，所述第一块体连接于所述第一线性驱动装置，所述第二块体连接于所述第二线性驱动装置；其中，所述第一块体和所述第二块体之间通过一个或多个柔性连接件相连接。
6、在一些实施例中，所述运动模块还包括：通过负压使所述载台和所述物料吸附装置锁定于所述平台模块上的到位锁紧装置；所述到位锁紧装置包括：固定块、柔性件、吸附块和预载机构；所述固定块与所述载台固定连接；所述柔性件柔性连接所述固定块和所述吸附块；所述吸附块背离所述固定块的一侧具备一个或多个用于提供负压的负压区域，所述吸附块能够吸附于所述平台模块；所述预载机构连接于所述固定块且向所述吸附块的方向延伸，用于向所述吸附块施加预载力。
7、在一些实施例中，所述固定块包括：环状部，所述环状部的中部形成用于容纳所述预载机构的容置空间；沿所述环状部的外缘向外延伸形成的外侧凸台，所述外侧凸台与所述柔性件固定连接；以及沿所述环状部的内缘向内延伸形成的内侧凸台，所述内侧凸台用于安装所述预载机构；所述柔性件为柔性片；所述柔性片具备与所述固定块固定连接的第一区域以及与所述吸附块固定连接的第二区域；所述第二区域的至少一部分能够相对于所述第一区域所在的平面发生弹性形变；所述柔性片的所述第二区域与所述固定块之间具有间隙，以提供所述第二区域的至少一部分发生弹性形变的空间。
8、在一些实施例中，所述预载机构包括：预载弹性件、第一压板和第二压板，所述第一压板与所述固定块固定连接，所述第二压板直接或间接地抵于所述吸附块，所述预载弹性件的一端抵于所述第一压板，所述预载弹性件的另一端抵于所述第二压板；或，所述预载机构包括：预压气缸，所述预压气缸的缸体和活塞中的一个与所述固定块固定连接，所述预压气缸的缸体和活塞中的另一个直接或间接地与所述吸附块抵接。
9、在一些实施例中，所述物料调整模块包括：调整底座、可气浮支撑地设置于所述调整底座上的调整载台、带动所述调整载台相对于所述调整底座实现平面移动或转动的线性调整运动系统；所述线性调整运动系统包括沿所述第一方向设置在所述调整载台上的至少两组线性调整运动组件以及沿与所述第一方向相交的第二方向设置在所述调整载台上的至少一组线性调整运动组件。
10、在一些实施例中，所述上下料辅助传输模块包括：气浮导轨组件，所述气浮导轨组件包括垂向气浮配合面以及两个相对布置的侧向气浮配合面；所述物料调整模块的调整底座可气浮支撑地设置于所述气浮导轨组件的所述垂向气浮配合面上；所述物料调整模块的调整底座还连接有第一气浮垫和第二气浮垫，所述第一气浮垫和所述第二气浮垫分别气浮支撑于两个所述侧向气浮配合面；所述第一气浮垫和所述第二气浮垫中的一个为刚性气浮垫，所述第一气浮垫和所述第二气浮垫中的另一个为柔性气浮垫。
11、在一些实施例中，所述上下料辅助传输模块包括：第三线性驱动装置，用于驱动所述物料调整模块沿所述第一方向运动，所述第三线性驱动装置位于用于驱动所述载台沿所述第一方向运动的第一线性驱动装置的两侧；于所述第一方向上延伸的第三导向模组，用于对所述物料调整模块实施导向。
12、在一些实施例中，所述平台模块包括：第一平台；第二平台，设于所述第一平台的上方，所述运动模块、所述物料调整模块、所述上下料辅助传输模块设于所述第二平台上；减震器，连接所述第一平台和所述第二平台，用于吸收所述第二平台在所述垂向方向上的冲击力；缓冲限位模块，连接所述第一平台和所述第二平台，用于吸收所述第二平台在所述第一方向和/或第二方向上的冲击力，所述第一方向和所述第二方向位于同一平面内，所述第一方向与所述第二方向相交；安全锁付模块，连接所述第一平台和所述第二平台，至少用于对所述第二平台在与所述第一方向和所述第二方向垂直的所述垂向方向、所述第一方向和/或所述第二方向上实施刚性限位。
13、在一些实施例中，所述安全锁付模块包括顶板、限位杆、底座和锁付限位组件；所述顶板与所述第二平台固定连接，所述底座与所述第一平台固定连接；所述限位杆的一端与所述顶板固定连接；所述限位杆的另一端可活动地设置在所述底座上；所述锁付限位组件套设在所述限位杆外部，用于限制所述顶板和/或所述限位杆相对于所述底座的运动。
14、在一些实施例中，所述锁付限位组件包括调节螺母和锁付固定构件；所述调节螺母套设于所述限位杆外且能够相对于所述限位杆滑动；所述锁付固定构件与所述底座固定连接，所述锁付固定构件套设于所述限位杆和所述调节螺母外，所述调节螺母能够相对于所述锁付固定构件移动并固定；所述锁付限位组件还包括缓冲垫，所述缓冲垫设于所述锁付固定构件上，所述顶板能够抵于所述调节螺母和/或所述缓冲垫。...
【技术保护点】
1.一种测试台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：
3.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：
4.根据权利要求3所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：
5.根据权利要求3或4所述的运动平台，其特征在于，所述平衡质量块包括第一块体和第二块体，所述第一块体连接于所述第一线性驱动装置，所述第二块体连接于所述第二线性驱动装置；
6.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：通过负压使所述载台和所述物料吸附装置锁定于所述平台模块上的到位锁紧装置；
7.根据权利要求6所述的测试台，其特征在于，所述固定块包括：环状部，所述环状部的中部形成用于容纳所述预载机构的容置空间；沿所述环状部的外缘向外延伸形成的外侧凸台，所述外侧凸台与所述柔性件固定连接；以及沿所述环状部的内缘向内延伸形成的内侧凸台，所述内侧凸台用于安装所述预载机构；
8.根据权利要求6所述的测试台，其特征在于，所述预载机构包括：预载弹性件、第一压板和第二压
9.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述物料调整模块包括：调整底座、可气浮支撑地设置于所述调整底座上的调整载台、带动所述调整载台相对于所述调整底座实现平面移动或转动的线性调整运动系统；
10.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述上下料辅助传输模块包括：气浮导轨组件，所述气浮导轨组件包括垂向气浮配合面以及两个相对布置的侧向气浮配合面；
11.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述上下料辅助传输模块包括：第三线性驱动装置，用于驱动所述物料调整模块沿所述第一方向运动，所述第三线性驱动装置位于用于驱动所述载台沿所述第一方向运动的第一线性驱动装置的两侧；
12.根据权利要求1或3所述的测试台，其特征在于，所述平台模块包括：
13.根据权利要求12所述的测试台，其特征在于，所述安全锁付模块包括顶板、限位杆、底座和锁付限位组件；
14.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，还包括：第三检测模块，用于获取物料的面型。
15.一种测试台的测量方法，其特征在于，适用于权利要求1至14中任意一项所述的测试台，所述测量方法包括对准测量方法、滑移测量方法、面型测量方法中的一个或多个：
...【技术特征摘要】
1.一种测试台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：
3.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：
4.根据权利要求3所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：
5.根据权利要求3或4所述的运动平台，其特征在于，所述平衡质量块包括第一块体和第二块体，所述第一块体连接于所述第一线性驱动装置，所述第二块体连接于所述第二线性驱动装置；
6.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述运动模块还包括：通过负压使所述载台和所述物料吸附装置锁定于所述平台模块上的到位锁紧装置；
7.根据权利要求6所述的测试台，其特征在于，所述固定块包括：环状部，所述环状部的中部形成用于容纳所述预载机构的容置空间；沿所述环状部的外缘向外延伸形成的外侧凸台，所述外侧凸台与所述柔性件固定连接；以及沿所述环状部的内缘向内延伸形成的内侧凸台，所述内侧凸台用于安装所述预载机构；
8.根据权利要求6所述的测试台，其特征在于，所述预载机构包括：预载弹性件、第一压板和第二压板，所述第一压板与所述固定块固定连接，所述第二压板直接或间接地抵于所述吸附块，所述预载弹性件的一端抵于所述第一压板，所述预...
【专利技术属性】
技术研发人员：禹洪亮，吴火亮，郝振洲，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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