一种防震地基制造技术

本技术提供一种防震地基，涉及半导体技术领域，包括顶板和底板，所述顶板设置在底板上方，所述顶板四个底角均设有第一支撑杆，所述底板四个顶角靠近第一支撑杆也对应安装四根第二支撑杆，所述顶板和底板之间还设有加强筋斜梁，所述加强筋斜梁呈斜向设置，且顶部通过设置消能梁和顶板相连接，所述底板下方设有多个减震板。本技术，通过配置第一支撑杆和第二支撑杆，增强了顶板和底板之间的连接强度，此外，加强筋斜梁与消能梁共同构成一个Y字型的标准消能梁端，这种设计有效地吸收震动，与此同时，底部的多个减震板协同工作，将震动在地面源头消散，从而显著提升了整体结构的抗震能力和安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，尤其涉及一种防震地基。

技术介绍

1、随着半导体行业技术的发展，针对光刻设备需要更高的曝光精度的要求，这就要求对设备的振动水平进行较好的控制。以往都是对设备内部进行减振，但是无法消除全部的振动，导致曝光精度受限，因此需要一种能够在源头消除震动的防震地基。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，现有的半导体的减震设计多设计在设备内部，这种设计无法消除全部震动，导致曝光精度受限。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种防震地基，包括顶板和底板，所述顶板设置在底板上方，所述顶板四个底角均设有第一支撑杆，所述底板四个顶角靠近第一支撑杆也对应安装四根第二支撑杆，所述顶板和底板之间还设有加强筋斜梁，所述加强筋斜梁呈斜向设置，且顶部通过设置消能梁和顶板相连接，所述底板下方设有多个减震板。

3、可选的，所述减震板包括减震板底部、减震板顶部和承压部，所述减震板底部宽度与厚度均大于减震板顶部，且二者背部均贴合在底板底部，所述承压部位于减震板底部最低点。

4、可选的，所述减震板采用弹性减震材质。

5、可选的，所述承压部底部覆盖有橡胶垫片。

6、可选的，所述加强筋斜梁和消能梁设计成y字型。

7、可选的，所述第一支撑杆和第二支撑杆之间设有减震垫块。

8、可选的，所述底板内开设多个线性排列的疏水管道，所述疏水管道的进水孔位于底板顶部,所述疏水管道的排水孔位于底板外周边框上。

9、可选的，所述疏水管道内部设有滤网。

10、与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，

11、1、本技术中，通过配置第一支撑杆和第二支撑杆，增强了顶板和底板之间的连接强度，此外，加强筋斜梁与消能梁共同构成一个y字型的标准消能梁端，这种设计有效地吸收震动，与此同时，底部的多个减震板协同工作，将震动在地面源头消散，从而显著提升了整体结构的抗震能力和安全性。

12、2、本技术中，在底板下方减震板被成对地反向设置，形成对称布局，增强了整体的稳定性，有益于提升抗震能力，此外，这些减震板采用水滴形状设计，不仅有效地吸收和分散震动能量，而且在水流作用下，能有效引导流体，从而进一步增强地基的稳定性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种防震地基，包括顶板(1)和底板(2)，所述顶板(1)设置在底板(2)上方，其特征在于：所述顶板(1)四个底角均设有第一支撑杆(3)，所述底板(2)四个顶角靠近第一支撑杆(3)也对应安装四根第二支撑杆(4)，所述顶板(1)和底板(2)之间还设有加强筋斜梁(6)，所述加强筋斜梁(6)呈斜向设置，且顶部通过设置消能梁(12)和顶板(1)相连接，所述底板(2)下方设有多个减震板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种防震地基，其特征在于：所述减震板(9)包括减震板底部(91)、减震板顶部(92)和承压部(93)，所述减震板底部(91)宽度与厚度均大于减震板顶部(92)，且二者背部均贴合在底板(2)底部，所述承压部(93)位于减震板底部(91)最低点。

3.根据权利要求1所述的一种防震地基，其特征在于：所述减震板(9)采用弹性减震材质。

4.根据权利要求2所述的一种防震地基，其特征在于：所述承压部(93)底部覆盖有橡胶垫片(10)。

5.根据权利要求1所述的一种防震地基，其特征在于：所述加强筋斜梁(6)和消能梁(12)设计成Y字型。p>

6.根据权利要求1所述的一种防震地基，其特征在于：所述第一支撑杆(3)和第二支撑杆(4)之间设有减震垫块(5)。

7.根据权利要求1所述的一种防震地基，其特征在于：所述底板(2)内开设多个线性排列的疏水管道，所述疏水管道的进水孔(7)位于底板(2)顶部,所述疏水管道的排水孔(8)位于底板(2)外周边框上。

8.根据权利要求7所述的一种防震地基，其特征在于：所述疏水管道内部设有滤网(11)。

...

【技术特征摘要】

1.一种防震地基，包括顶板(1)和底板(2)，所述顶板(1)设置在底板(2)上方，其特征在于：所述顶板(1)四个底角均设有第一支撑杆(3)，所述底板(2)四个顶角靠近第一支撑杆(3)也对应安装四根第二支撑杆(4)，所述顶板(1)和底板(2)之间还设有加强筋斜梁(6)，所述加强筋斜梁(6)呈斜向设置，且顶部通过设置消能梁(12)和顶板(1)相连接，所述底板(2)下方设有多个减震板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种防震地基，其特征在于：所述减震板(9)包括减震板底部(91)、减震板顶部(92)和承压部(93)，所述减震板底部(91)宽度与厚度均大于减震板顶部(92)，且二者背部均贴合在底板(2)底部，所述承压部(93)位于减震板底部(91)最低点。

3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕厚海，王野，王印勋，肖博翰，闵中华，
申请(专利权)人：上海芯东来半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：