【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，尤其涉及一种匹配参数确定装置和射频电源系统。
技术介绍
1、目前，射频电源可以产生射频频率且具有一定输出功率的射频信号。射频电源广泛应用于多个领域，为各种核心制造设备的负载输出射频信号，以向负载供电。在射频电源向负载供电时，需要根据反射系数、反射系数模值、驻波比等匹配参数来确定射频电源与负载之间的阻抗匹配情况，从而避免射频电源的损坏，并提高输出效率。因此，如何快速确定反射系数模值等匹配参数，成为了需要考虑的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种匹配参数确定装置以及射频电源系统，可快速确定反射系数模值。
2、第一方面，提供一种匹配参数确定装置，所述匹配参数确定装置用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括反射系数模值，所述匹配参数确定装置包括：电压采样模块、电流采样模块以及匹配参数确定模块；所述电压采样模块与所述射频电源的输出路径连接，所述电压采样模块具有电压采样系数，所述电压采样模块用于对所述输出路径的电压进行采样，并根据所述电压采样系数得到与所述输出路径的电压成比例的电压采样信号；所述电流采样模块包括互相耦合的一次绕组和二次绕组，所述一次绕组位于所述输出路径中，所述电流采样模块具有电流采样系数，所述电流采样模块用于对所述输出路径的电流进行采样，并根据所述电流采样系数得到与所述输出路径的电流成比例的电流采样信号，其中，所述二次绕组具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端连接，且所述第一端和所述第二端连接的中点与所述电压采样模块的输出
3、在一种可能的实施方式中，所述匹配参数确定模块包括减法器和处理器；所述减法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行减法运算，以得到所述第三电压信号；所述处理器与所述减法器的输出端以及所述电压采样模块的输出端均连接，用于获取所述减法器的输出端输出的所述第三电压信号以及所述电压采样模块输出的所述电压采样信号，并至少根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值。
4、在一种可能的实施方式中，所述匹配参数确定模块还包括除法器，所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别可选择地连接，所述除法器的输出端与所述处理器连接，所述除法器用于在与所述第一端和所述第二端分别连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到第四电压信号；所述处理器还用于在所述电压采样系数与所述电流采样系数之间满足第一预设关系时，控制所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，并根据所述第四电压信号、所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值；在所述电压采样系数与所述电流采样系数之间不满足第一预设关系时，控制所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端均断开，并仅根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值。
5、在一种可能的实施方式中，在所述处理器根据所述第四电压信号、所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值时，所述处理器具体根据所述第四电压信号得到反射系数第一模值，并根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数得到反射系数第二模值，然后根据所述反射系数第一模值以及所述反射系数第二模值确定所述反射系数模值。
6、在一种可能的实施方式中，在所述处理器根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值时，所述处理器具体根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定前向波的电压值和反向波的电压值，并根据所述前向波的电压值和所述反向波的电压值确定所述反射系数模值。
7、在一种可能的实施方式中，所述匹配参数还包括驻波比、前向功率值、反向功率值以及传递功率值；所述处理器还用于根据所述前向波的电压值和所述反向波的电压值或者所述反射系数模值确定所述驻波比，和/或根据所述前向波的电压值和所述预设特性阻抗值确定所述前向功率值，和/或根据所述反向波的电压值和所述预设特性阻抗值确定所述反向功率值，和/或根据所述前向波的电压值、所述反向波的电压值以及所述预设特性阻抗值确定所述传递功率值。
8、在一种可能的实施方式中，所述电压采样模块包括第一电容和第二电容，所述第一电容和所述第二电容串联连接于所述射频电源的输出路径与地之间，所述第一电容和所述第二电容之间的连接点与所述第一端和所述第二端之间的连接点连接，并与所述匹配参数确定模块连接；其中，所述第一电容的电容值和所述第二电容的电容值用于使得所述电压采样模块具有所述电压采样系数。
9、在一种可能的实施方式中，所述电压采样模块还包括第一电感，所述第一电感连接于所述第一端和所述第二端连接的中点与地之间，所述第一电感用于使得所述第一端和所述第二端连接的中点处持续反映为所述电压采样信号。
10、在一种可能的实施方式中，所述电压采样模块还包括第一信号跟随器和第二信号跟随器，所述第一信号跟随器连接于所述第一电容和所述第二电容之间的连接点与所述第一端和所述第二端连接的中点之间，所述第二信号跟随器连接于所述第一电容和所述第二电容之间的连接点与所述匹配参数确定模块之间，其中，所述第一信号跟随器和所述第二信号跟随器均用于保持所述电压采样信号的波形。
11、第二方面，还提供一种射频电源系统，所述射频电源系统包括射频电源以及匹配参数确定装置。所述匹配参数确定装置用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括反射系数模值，所述匹配参数确定装置包括：电压采样模块、电流采样模块以及匹配参数确定模块；所述电压采样模块与所述射频电源的输出路径连接，所述电压采样模块具有电压采样系数，所述电压采样模块用于对所述输出路径的电压进行采样，并根据所述电压采样系数得到与所述输出路径的电压成比例的电压采样信号；所述电流采样模块包括互相耦合的一次绕组和二次绕组，所述一次绕组位于所述输出路径中，所述电流采样模块具有电流采样系数，所述电流采样模块用于对所述输出路径的电流进行采样，并根据所述电流采样系数得到与所述输出路径的电流成比例的电流采样信号，其中，所述二次绕组具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端连接，且所述第一端和所述第二端连接的中点与所述电压采样模块的输出端连接，以使得所述第一端和所述第二端根据所述电流采样信本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种匹配参数确定装置，其特征在于，用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括反射系数模值，所述匹配参数确定装置包括：
2.根据权利要求1所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定模块包括减法器和处理器；所述减法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行减法运算，以得到所述第三电压信号；所述处理器与所述减法器的输出端以及所述电压采样模块的输出端均连接，用于获取所述减法器的输出端输出的所述第三电压信号以及所述电压采样模块输出的所述电压采样信号，并至少根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值。
3.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定模块还包括除法器，所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别可选择地连接，所述除法器的输出端与所述处理器连接，所述除法器用于在与所述第一端和所述第二端分别连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到第四电压信号；所述处理器还用于在所述电压采
4.根据权利要求3所述的匹配参数确定装置，其特征在于，在所述处理器根据所述第四电压信号、所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值时，所述处理器具体根据所述第四电压信号得到反射系数第一模值，并根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数得到反射系数第二模值，然后根据所述反射系数第一模值以及所述反射系数第二模值确定所述反射系数模值。
5.根据权利要求3所述的匹配参数确定装置，其特征在于，在所述处理器根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值时，所述处理器具体根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定前向波的电压值和反向波的电压值，并根据所述前向波的电压值和所述反向波的电压值确定所述反射系数模值。
6.根据权利要求5所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数还包括驻波比、前向功率值、反向功率值以及传递功率值；所述处理器还用于根据所述前向波的电压值和所述反向波的电压值或者所述反射系数模值确定所述驻波比，和/或根据所述前向波的电压值和预设特性阻抗值确定所述前向功率值，和/或根据所述反向波的电压值和所述预设特性阻抗值确定所述反向功率值，和/或根据所述前向波的电压值、所述反向波的电压值以及所述预设特性阻抗值确定所述传递功率值。
7.根据权利要求1所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述电压采样模块包括第一电容和第二电容，所述第一电容和所述第二电容串联连接于所述射频电源的输出路径与地之间，所述第一电容和所述第二电容之间的连接点与所述第一端和所述第二端之间的连接点连接，并与所述匹配参数确定模块连接；其中，所述第一电容的电容值和所述第二电容的电容值用于使得所述电压采样模块具有所述电压采样系数。
8.根据权利要求7所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述电压采样模块还包括第一电感，所述第一电感连接于所述第一端和所述第二端连接的中点与地之间，所述第一电感用于使得所述第一端和所述第二端连接的中点处持续反映为所述电压采样信号。
9.根据权利要求7所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述电压采样模块还包括第一信号跟随器和第二信号跟随器，所述第一信号跟随器连接于所述第一电容和所述第二电容之间的连接点与所述第一端和所述第二端连接的中点之间，所述第二信号跟随器连接于所述第一电容和所述第二电容之间的连接点与所述匹配参数确定模块之间，其中，所述第一信号跟随器和所述第二信号跟随器均用于保持所述电压采样信号的波形。
10.一种射频电源系统，其特征在于，包括射频电源以及如权利要求1-9任一项所述的匹配参数确定装置。
...【技术特征摘要】
1.一种匹配参数确定装置，其特征在于，用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括反射系数模值，所述匹配参数确定装置包括：
2.根据权利要求1所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定模块包括减法器和处理器；所述减法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行减法运算，以得到所述第三电压信号；所述处理器与所述减法器的输出端以及所述电压采样模块的输出端均连接，用于获取所述减法器的输出端输出的所述第三电压信号以及所述电压采样模块输出的所述电压采样信号，并至少根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值。
3.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定模块还包括除法器，所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别可选择地连接，所述除法器的输出端与所述处理器连接，所述除法器用于在与所述第一端和所述第二端分别连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到第四电压信号；所述处理器还用于在所述电压采样系数与所述电流采样系数之间满足第一预设关系时，控制所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，并根据所述第四电压信号、所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值；在所述电压采样系数与所述电流采样系数之间不满足第一预设关系时，控制所述除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端均断开，并仅根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值。
4.根据权利要求3所述的匹配参数确定装置，其特征在于，在所述处理器根据所述第四电压信号、所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数确定所述反射系数模值时，所述处理器具体根据所述第四电压信号得到反射系数第一模值，并根据所述第三电压信号、所述电压采样信号、所述电压采样系数以及所述电流采样系数得到反射系数第二模值，然后根据所述反射系数第一模值以及所述反射系数第二模值确定所述反射系数模值。
5.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，林炯康，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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