【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，尤其涉及一种匹配参数确定装置以及具有所述匹配参数确定装置的射频电源系统。
技术介绍
1、目前，射频电源可以产生具有一定输出功率的射频信号。射频电源广泛应用于多个领域，为各种核心制造设备的负载输出射频信号，以向负载供电。在射频电源向负载供电时，需要根据反射系数、反射系数模值、驻波比等匹配参数来确定射频电源与负载之间的阻抗匹配情况，从而避免射频电源的损坏，并提高输出效率。因此，如何快速确定驻波比等匹配参数，成为了需要考虑的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种匹配参数确定装置以及射频电源系统，可快速确定驻波比。
2、第一方面，提供一种匹配参数确定装置，所述匹配参数确定装置用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括驻波比；所述匹配参数确定装置包括第一微带线、两个第一电容、第一运算模块以及处理器：所述第一微带线与所述射频电源和所述负载之间的连接路径耦合，当所述射频电源向所述负载供电时，在所述第一微带线中耦合产生传输电流，所述第一微带线的相对的第一端和第二端分别通过一个所述第一电容接地；所述第一运算模块与所述第一端和所述第二端均连接，用于对所述第一端处的第一电压信号与所述第二端处的第二电压信号分别进行加法、减法运算，以对应得到和电压信号、差电压信号，并对所述和电压信号与所述差电压信号进行除法运算，以得到运算结果信号；所述处理器与所述第一运算模块连接，用于根据所述运算结果信号以及预设系数确定驻波比。
3、在一种可能的实施方式中，所述第
4、在一种可能的实施方式中，所述预设系数为所述磁场感应系数和所述预设特性阻抗值的乘积与所述电场感应系数的比值。
5、在一种可能的实施方式中，所述匹配参数还包括反射系数模值；所述处理器还用于在确定出所述驻波比后，至少根据所述驻波比确定所述反射系数模值。
6、在一种可能的实施方式中，所述匹配参数确定装置还包括第二运算模块，所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均可选择地连接，所述第二运算模块用于在与所述第一端和所述第二端均连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到商电压信号；所述处理器还用于在所述预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数之间满足第一预设关系时，控制所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均连接，以使得所述第二运算模块对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到所述商电压信号，所述处理器并根据所述驻波比、所述商电压信号确定所述反射系数模值；所述处理器在所述预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数之间不满足所述第一预设关系时，控制所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均断开，并仅根据所述驻波比确定所述反射系数模值。
7、在一种可能的实施方式中，在所述处理器根据所述驻波比、所述商电压信号确定所述反射系数模值时，所述处理器基于所述驻波比与所述反射系数模值之间的换算关系，得到所述驻波比对应的反射系数第一模值，并基于所述商电压信号与所述反射系数模值之间的对应关系，得到所述商电压信号对应的反射系数第二模值，并根据所述反射系数第一模值以及所述反射系数第二模值确定所述反射系数模值；在所述处理器根据所述驻波比确定所述反射系数模值时，所述处理器基于所述驻波比与所述反射系数模值之间的换算关系，确定所述驻波比对应的所述反射系数模值。
8、在一种可能的实施方式中，所述第二运算模块包括第二除法器，所述第二除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别可选择地连接，所述第二除法器的输出端与所述处理器连接，所述第二除法器用于在与所述第一端和所述第二端分别连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到所述商电压信号并通过输出端输出；所述处理器控制所述第二除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接或断开，以使得所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均连接或断开。
9、在一种可能的实施方式中，所述匹配参数确定装置还包括采样模块，所述采样模块连接于所述射频电源和所述负载之间的连接路径与地之间，所述采样模块的输出端与所述处理器连接，所述采样模块具有采样系数，用于对所述连接路径的电压进行采样，并根据所述采样系数得到与所述连接路径的电压成比例的采样电压信号；所述处理器还用于获取所述采样电压信号以及所述差电压信号，并根据所述采样电压信号、所述采样系数以及所述电场感应系数得到和电压验证信号，通过所述和电压验证信号对获取的所述和电压信号进行验证。
10、在一种可能的实施方式中，所述第一运算模块包括第一加法器、第一减法器以及第一除法器；所述第一加法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行加法运算，以得到所述和电压信号；所述第一减法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行减法运算，以得到所述差电压信号；所述第一除法器的两个输入端与所述第一加法器的输出端和所述第一减法器的输出端分别连接，用于对所述和电压信号与所述差电压信号进行除法运算，以得到所述运算结果信号；其中，所述处理器与所述第一除法器的输出端连接，以获取所述运算结果信号，并根据所述运算结果信号以及所述预设系数确定所述驻波比。
11、第二方面，还提供一种射频电源系统，所述射频电源系统包括射频电源以及匹配参数确定装置。所述匹配参数确定装置用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括驻波比；所述匹配参数确定装置包括第一微带线、两个第一电容、第一运算模块以及处理器：所述第一微带线与所述射频电源和所述负载之间的连接路径耦合，当所述射频电源向所述负载供电时，在所述第一微带线中耦合产生传输电流，所述第一微带线的相对的第一端和第二端分别通过一个所述第一电容接地；所述第一运算模块与所述第一端和所述第二端均连接，用于对所述第一端处的第一电压信号与所述第二端处的第二电压信号分别进行加法、减法运算，以对应得到和电压信号、差电压信号，并对所述和电压信号与所述差电压信号进行除法运算，以得到运算结果信号；所述处理器与所述第一运算模块连接，用于根据所述运算结果信号以及预设系数确定驻波比。
12、本申请的匹配参数确定装置以及射频电源系统，当所述射频电源向所述负载供电时，通过设置第一微带线与所述射频电源和所述负载之间的连接路径耦合，以在第一微带线中产生传输电流，并通过对所述第一微带线的相对的第一端处的第一电压信号与所述第二端处的第二电压信号进行运算，以得到运算结果信号，进而处理器能够根据所述运算结果信号以及预设系数快速确定驻波比。
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1.一种匹配参数确定装置，其特征在于，用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括驻波比；
2.根据权利要求1所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述第一微带线具有电场感应系数以及磁场感应系数；其中，所述预设系数与预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数相关。
3.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述预设系数为所述磁场感应系数和所述预设特性阻抗值的乘积与所述电场感应系数的比值。
4.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数还包括反射系数模值；所述处理器还用于在确定出所述驻波比后，至少根据所述驻波比确定所述反射系数模值。
5.根据权利要求4所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定装置还包括第二运算模块，所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均可选择地连接，所述第二运算模块用于在与所述第一端和所述第二端均连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到商电压信号；所述处理器还用于在所述预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数之间
6.根据权利要求5所述的匹配参数确定装置，其特征在于，在所述处理器根据所述驻波比、所述商电压信号确定所述反射系数模值时，所述处理器基于所述驻波比与所述反射系数模值之间的换算关系，得到所述驻波比对应的反射系数第一模值，并基于所述商电压信号与所述反射系数模值之间的对应关系，得到所述商电压信号对应的反射系数第二模值，并根据所述反射系数第一模值以及所述反射系数第二模值确定所述反射系数模值；在所述处理器根据所述驻波比确定所述反射系数模值时，所述处理器基于所述驻波比与所述反射系数模值之间的换算关系，确定所述驻波比对应的所述反射系数模值。
7.根据权利要求5所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述第二运算模块包括第二除法器，所述第二除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别可选择地连接，所述第二除法器的输出端与所述处理器连接，所述第二除法器用于在与所述第一端和所述第二端分别连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到所述商电压信号并通过输出端输出；所述处理器控制所述第二除法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接或断开，以使得所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均连接或断开。
8.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定装置还包括采样模块，所述采样模块连接于所述射频电源和所述负载之间的连接路径与地之间，所述采样模块的输出端与所述处理器连接，所述采样模块具有采样系数，用于对所述连接路径的电压进行采样，并根据所述采样系数得到与所述连接路径的电压成比例的采样电压信号；所述处理器还用于获取所述采样电压信号以及所述差电压信号，并根据所述采样电压信号、所述采样系数以及所述电场感应系数得到和电压验证信号，通过所述和电压验证信号对获取的所述和电压信号进行验证。
9.根据权利要求1所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述第一运算模块包括第一加法器、第一减法器以及第一除法器；所述第一加法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行加法运算，以得到所述和电压信号；所述第一减法器的两个输入端与所述第一端和所述第二端分别连接，用于对所述第一电压信号与所述第二电压信号进行减法运算，以得到所述差电压信号；所述第一除法器的两个输入端与所述第一加法器的输出端和所述第一减法器的输出端分别连接，用于对所述和电压信号与所述差电压信号进行除法运算，以得到所述运算结果信号；其中，所述处理器与所述第一除法器的输出端连接，以获取所述运算结果信号，并根据所述运算结果信号以及所述预设系数确定所述驻波比。
10.一种射频电源系统，其特征在于，包括射频电源以及如权利要求1-9任一项所述的匹配参数确定装置。
...【技术特征摘要】
1.一种匹配参数确定装置，其特征在于，用于确定射频电源向负载供电时的匹配参数，所述匹配参数至少包括驻波比；
2.根据权利要求1所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述第一微带线具有电场感应系数以及磁场感应系数；其中，所述预设系数与预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数相关。
3.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述预设系数为所述磁场感应系数和所述预设特性阻抗值的乘积与所述电场感应系数的比值。
4.根据权利要求2所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数还包括反射系数模值；所述处理器还用于在确定出所述驻波比后，至少根据所述驻波比确定所述反射系数模值。
5.根据权利要求4所述的匹配参数确定装置，其特征在于，所述匹配参数确定装置还包括第二运算模块，所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均可选择地连接，所述第二运算模块用于在与所述第一端和所述第二端均连接时，对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到商电压信号；所述处理器还用于在所述预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数之间满足第一预设关系时，控制所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均连接，以使得所述第二运算模块对所述第二电压信号与所述第一电压信号进行除法运算，以得到所述商电压信号，所述处理器并根据所述驻波比、所述商电压信号确定所述反射系数模值；所述处理器在所述预设特性阻抗值、所述电场感应系数以及所述磁场感应系数之间不满足所述第一预设关系时，控制所述第二运算模块与所述第一端和所述第二端均断开，并仅根据所述驻波比确定所述反射系数模值。
6.根据权利要求5所述的匹配参数确定装置，其特征在于，在所述处理器根据所述驻波比、所述商电压信号确定所述反射系数模值时，所述处理器基于所述驻波比与所述反射系数模值之间的换算关系，得到所述驻波比对应的反射系数第一模值，并基于所述商电压信号与所述反射系数模值之间的对应关系，得到所述商电压信号对应的反射系数第二模值，并根据所述反射系数第一模值以及所述反射系数第二模值确定所述反射系数模值；在所述处理器根据所述驻波比确定所述反射系数模值时，所述处理器基于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，林炯康，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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