【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本揭露内容涉及用于多层加热器构建部的电气互连结构。
技术介绍
1、本节中的陈述仅提供涉及本揭露内容的背景资讯，且可不构成现有技术。
2、典型的多层加热器构建部(例如，陶瓷台座)可包括至少两个电气主动层之间的电气互连结构。举例而言，一或多个电气互连结构可使用在一加热层与一后续路由层之间，所述加热层及路由层通过一电气绝缘层(也就是说，介电层)实体上分开。在其它范例中，一多层加热器构建部可包括若干加热层及若干路由层，且具有在层之间延伸的电气互连结构以及向上延伸至加热器组件的顶部的电气互连结构，于此处他们可或可不作为用于加热器的进一步电气连接的一端子。
3、与电气互连结构/通孔相关联的挑战包括通过一传统的胶带遮罩程序制造一电气互连结构/通孔。此一胶带遮罩通常导致具有尖锐外侧边缘及垂直面的一圆柱形通孔几何形状，这在一路由层之后续涂覆步骤期间造成一挑战。因此，难以沿着这样的边缘及面获得均匀层性质。替代地，在路由层的涂覆之前可以用一导电材料填充通孔，然而，额外的制造步骤将被使用，这会使制造程序复杂化。在半导体处理中建构诸如陶瓷台座的多层加热器的挑战之中，这些挑战为本揭露内容所针对处理者。
技术实现思路
1、本节提供本揭露内容的一大致简要说明，并非是其完整范畴或其所有特征的全面揭露。
2、在一形式中，本揭露内容提供一种用于连接一多层加热器的数层的电气互连件。该电气互连件包含具有一下端部分及一上端部分的一成形体。该下端部分具有比该上端部分的一接触区域更小的一接触区
3、在该电气互连件的变化中，其可独立地或以任何组合实行：该成形体界定一变化的圆形横截面区域；该成形体包含一凹半径，其绕着一周边延伸且邻近该成形体的该下端部分；该成形体包含一凸半径，其绕着一周边延伸且邻近该成形体的该上端部分；该成形体界定一侧壁，其在该下端部分与该上端部分之间以可不超过约45度的一角度延伸；以及该成形体包含数个独立区段。
4、在另一形式中，本揭露内容提供一种多层加热器，其包含一加热层、一介电层、一路由层、及至少一通孔。该介电层设置在该加热层上方。该路由层设置在该介电层上方。该通孔自该加热层延伸穿过该介电层并且至该路由层，借此形成一电气互连件。该通孔包括具有一下端部分及一上端部分的一成形体。该下端部分具有比该上端部分的一接触区域更小的一接触区域，且该下端部分的接触区域靠近该加热层，而该上端部分的接触区域靠近该路由层。
5、在该多层加热器的变化中，其可独立地或以任何组合实行：该加热层包含数个电阻迹线且至少一电阻迹线在该通孔的该下端部分附近及该上端部分下方延伸；该成形体界定一变化的圆形横截面区域；该成形体包含一凹半径，其绕着该成形体的一周边延伸且邻近该下端部分；该成形体包含一凸半径，其绕着该成形体的一周边延伸且邻近该上端部分；该成形体包含数个独立区段；该通孔界定一侧壁，其以可不超过约45度的一角度延伸穿过该介电层；以及该通孔至少部分地延伸进入该加热层中。
6、在又一形式中，本揭露内容提供一种多层加热器，其包含一加热层、一介电层、及一路由层。该介电层设置在该加热层上方且包含暴露该加热层的至少一孔口。该路由层设置在该介电层上方且延伸进入该孔口中并且至该加热层上。该孔口被成形为具有一下端部分及一上端部分。该下端部分具有比该上端部分的一开口更小的一开口，且该下端部分的该开口靠近该加热层，而该上端部分的该开口靠近该路由层。
7、在上一段落的多层加热器的一些变化中，一保护层形成在该路由层上方。
8、在又另一形式中，本揭露内容提供一种形成一多层加热器的程序。该程序包含形成一加热层；在该加热层上方形成一介电层，该介电层包含暴露该加热层的至少一孔口；以及在该介电层上方形成一路由层，该路由层延伸进入该孔口中并且至暴露的加热层上。该孔口被成形为具有一下端部分及一上端部分。该下端部分具有比该上端部分的一开口更小的一开口，且该下端部分的开口靠近该加热层，而该上端部分的开口靠近该路由层。
9、在形成该多层加热器的变化中，其可独立地或以任何组合实行：当形成该介电层时，该孔口通过使用一遮罩而形成；该孔口通过用一减法程序移除该介电层的区域而形成；该加热层的至少一部分通过一减法程序移除；该减法程序选自于由激光剥蚀、机械铣削、化学蚀刻、水刀及前述的组合所构成的群组；该孔口由以下步骤形成：首先将一遮蔽剂沉积及固化至该加热层上，在该遮蔽剂及该加热层上方施加该介电层，移除该遮蔽剂，以及随后移除该介电层的部分以成形该孔口；在该路由层上方形成一保护层；以及将该保护层的一上表面平坦化。
10、在又另一形式中，本揭露内容提供一种形成一多层加热器的程序。该程序包含形成一加热层；在该加热层上方形成一介电层，该介电层包含暴露该加热层的至少一孔口；在该至少一孔口内形成一通孔，该通孔与该加热层接触；以及在该介电层上方形成一路由层，该路由层与该通孔接触。该孔口被成形为具有一下端部分及一上端部分。该下端部分具有比该上端部分的一开口更小的一开口，且该下端部分的该开口靠近该加热层，而该上端部分的该开口靠近该路由层。
11、进一步的适用范围将根据本文所提供的说明而变得显易可见。应理解，说明及特定范例意欲仅供例示的目的，而不意欲限制本揭露内容的范畴。
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1.一种用于连接多层加热器的数层的电气互连件，该电气互连件包含具有下端部分及上端部分的成形体，其中该下端部分具有比该上端部分的接触区域更小的接触区域，且该下端部分的该接触区域靠近加热层，以及该上端部分的该接触区域靠近路由层。
2.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体界定变化的圆形横截面区域。
3.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体包含绕着周边延伸且邻近该成形体的该下端部分的凹半径。
4.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体包含绕着周边延伸且邻近该成形体的该上端部分的凸半径。
5.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体界定侧壁，其在该下端部分与该上端部分之间以不超过约45度的角度延伸。
6.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体包含数个独立区段。
7.一种多层加热器，其包含：
8.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该加热层包含数个电阻迹线且至少一个电阻迹线在该至少一个通孔的该下端部分附近及该上端部分下方延伸。
9.根据权利要求7所述的多层加热器，其
10.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该成形体包含绕着该成形体的周边延伸且邻近该下端部分的凹半径。
11.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该成形体包含绕着该成形体的周边延伸且邻近该上端部分的凸半径。
12.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该成形体包含数个独立区段。
13.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该至少一个通孔界定侧壁，其以不超过约45度的角度延伸穿过该介电层。
14.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该至少一个通孔至少部分地延伸进入该加热层中。
15.一种多层加热器，其包含：
16.根据权利要求15所述的多层加热器，其进一步包含形成在该路由层上方的保护层。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于连接多层加热器的数层的电气互连件，该电气互连件包含具有下端部分及上端部分的成形体，其中该下端部分具有比该上端部分的接触区域更小的接触区域，且该下端部分的该接触区域靠近加热层，以及该上端部分的该接触区域靠近路由层。
2.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体界定变化的圆形横截面区域。
3.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体包含绕着周边延伸且邻近该成形体的该下端部分的凹半径。
4.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体包含绕着周边延伸且邻近该成形体的该上端部分的凸半径。
5.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体界定侧壁，其在该下端部分与该上端部分之间以不超过约45度的角度延伸。
6.根据权利要求1所述的电气互连件，其中该成形体包含数个独立区段。
7.一种多层加热器，其包含：
8.根据权利要求7所述的多层加热器，其中该加热...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱利安·米歇尔森，马丁·瓦林格，吉诺特·图福尔，
申请(专利权)人：沃特洛电气制造公司，
类型：新型
国别省市：
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