一种刻蚀机晶片支撑组件制造技术

本技术公开了一种刻蚀机晶片支撑组件，包括底座，所述底座上安装有圆筒，圆筒的内侧安装有静电吸盘，圆筒的外侧转动安装有外螺纹筒，外螺纹筒的外侧底部安装有齿环，底座上转动安装有转轴，转轴上安装有齿轮和第一锥齿轮，齿轮与齿环啮合，底座上安装有电机，电机的输出轴上安装有第二锥齿轮，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合；该支撑组件通过设置电机可带动转轴上的齿轮旋转，然后通过齿轮与齿环的啮合可控制外螺纹筒转动，从而通过内螺纹筒与外螺纹筒的配合控制放置盘上下移动，取晶片时，首先通过电机控制放置盘向上移动一小段距离，使晶片与静电吸盘先分离，然后再由顶针将晶片顶起，放置盘与晶片接触面较大，从而可以避免造成碎片。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及刻蚀机，具体为一种刻蚀机晶片支撑组件。

技术介绍

1、刻蚀机是一种在半导体工艺制程中常见的设备，其常用于完成在晶片上的刻蚀工艺，晶片支撑组件是在刻蚀机的工艺腔内用于放置晶片的结构，传统的晶片支撑组件结构简单，主要由一个中空的圆盘和一个静电吸盘构成，圆盘位于静电吸盘的工作面上，静电吸盘的下方会设置三个以上穿过静电吸盘工作面且可以上下升降的顶针，设备工作前，顶针会高出静电吸盘的工作面，然后由机械臂将晶片放置到顶针上，然后静电吸盘上升，将晶片吸在其工作面上，最后静电吸盘与顶针一起下降，刻蚀结束后，再由顶针将晶片顶起来，最后由机械臂将晶片取出，然而取晶片时晶片上经常会有电荷残余，在这些残余电荷的作用下可能会出现粘片的现象，而顶针与晶片的接触面较小，在顶起晶片时很容易造成碎片。

2、为此，我们在这里设计一种刻蚀机晶片支撑组件。

技术实现思路

1、本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种刻蚀机晶片支撑组件，以解决
技术介绍
中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种刻蚀机晶片支撑组件，包括底座，所述底座上安装有圆筒，圆筒的内侧安装有静电吸盘，圆筒的外侧转动安装有外螺纹筒，外螺纹筒的外侧底部安装有齿环，底座上转动安装有转轴，转轴上安装有齿轮和第一锥齿轮，齿轮与齿环啮合，底座上安装有电机，电机的输出轴上安装有第二锥齿轮，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，外螺纹筒上通过螺纹连接有内螺纹筒，内螺纹筒的顶部安装有放置盘，放置盘与底座之间安装有导向结构。

3、优选的，所述导向结构包括滑筒、连接块和滑杆，底座上对称安装有两个滑筒，两个滑筒分别位于圆筒的两侧，两个滑筒内均滑动安装有滑杆，放置盘的两侧对称安装有连接块，两个滑杆分别固定在两个连接块的底部。

4、优选的，所述底座上安装有保护罩，内螺纹筒和导向结构均穿过保护罩。

5、优选的，所述放置盘的中间设置有通孔，静电吸盘的工作面与放置盘上的通孔上边缘齐平。

6、优选的，所述保护罩的表面涂有陶瓷涂层。

7、与现有技术相比，本技术提供了一种刻蚀机晶片支撑组件，具备以下有益效果：

8、该刻蚀机晶片支撑组件，通过设置电机可带动转轴上的齿轮旋转，然后通过齿轮与齿环的啮合可控制外螺纹筒转动，从而通过内螺纹筒与外螺纹筒的配合控制放置盘上下移动，取晶片时，首先通过电机控制放置盘向上移动一小段距离，使晶片与静电吸盘先分离，然后再由顶针将晶片顶起，放置盘与晶片接触面较大，从而可以避免造成碎片。

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【技术保护点】

1.一种刻蚀机晶片支撑组件，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上安装有圆筒(2)，圆筒(2)的内侧安装有静电吸盘(13)，圆筒(2)的外侧转动安装有外螺纹筒(3)，外螺纹筒(3)的外侧底部安装有齿环(4)，底座(1)上转动安装有转轴(5)，转轴(5)上安装有齿轮(6)和第一锥齿轮(7)，齿轮(6)与齿环(4)啮合，底座(1)上安装有电机(8)，电机(8)的输出轴上安装有第二锥齿轮(9)，第一锥齿轮(7)与第二锥齿轮(9)啮合，外螺纹筒(3)上通过螺纹连接有内螺纹筒(10)，内螺纹筒(10)的顶部安装有放置盘(11)，放置盘(11)与底座(1)之间安装有导向结构(12)。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机晶片支撑组件，其特征在于：所述导向结构(12)包括滑筒(121)、连接块(122)和滑杆(123)，底座(1)上对称安装有两个滑筒(121)，两个滑筒(121)分别位于圆筒(2)的两侧，两个滑筒(121)内均滑动安装有滑杆(123)，放置盘(11)的两侧对称安装有连接块(122)，两个滑杆(123)分别固定在两个连接块(122)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机晶片支撑组件，其特征在于：所述底座(1)上安装有保护罩(14)，内螺纹筒(10)和导向结构(12)均穿过保护罩(14)。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机晶片支撑组件，其特征在于：所述放置盘(11)的中间设置有通孔，静电吸盘(13)的工作面与放置盘(11)上的通孔上边缘齐平。

5.根据权利要求3所述的一种刻蚀机晶片支撑组件，其特征在于：所述保护罩(14)的表面涂有陶瓷涂层。

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【技术特征摘要】

1.一种刻蚀机晶片支撑组件，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上安装有圆筒(2)，圆筒(2)的内侧安装有静电吸盘(13)，圆筒(2)的外侧转动安装有外螺纹筒(3)，外螺纹筒(3)的外侧底部安装有齿环(4)，底座(1)上转动安装有转轴(5)，转轴(5)上安装有齿轮(6)和第一锥齿轮(7)，齿轮(6)与齿环(4)啮合，底座(1)上安装有电机(8)，电机(8)的输出轴上安装有第二锥齿轮(9)，第一锥齿轮(7)与第二锥齿轮(9)啮合，外螺纹筒(3)上通过螺纹连接有内螺纹筒(10)，内螺纹筒(10)的顶部安装有放置盘(11)，放置盘(11)与底座(1)之间安装有导向结构(12)。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机晶片支撑组件，其特征在于：所述导向结构(12)包括滑筒(121)、连接块(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫金凯，牛一帆，闫益豪，
申请(专利权)人：唐山凯泰润科技有限公司，
类型：新型
国别省市：