【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及叠加计量，且更特定来说，涉及一种用于允许叠加目标的紧凑节距设计的叠加计量的系统及方法。
技术介绍
1、减小特征大小及增加特征密度的需求导致对准确且高效叠加计量的需求增加。叠加计量是指样本(例如但不限于半导体装置)上的层的相对对准的测量。
2、叠加目标通常形成于晶片样本的表面上且可包含具有在重叠层中具有各种节距的光栅结构的单元。晶片样本通常安装于平移载物台上且经平移使得叠加目标循序移动到测量视场中。在采用移动及测量(mam)方法的典型计量系统中，样本在每一测量期间是静态的。然而，使平移载物台在测量之前稳定所需的时间可能会负面地影响处理能力。
3、此外，各种来源可将误差引入到叠加计量数据中。此外，晶片上的占用面积空间很有价值。
4、因此，期望提供用于消除上述缺陷的系统及方法。
技术实现思路
1、公开一种根据本公开的一或多个说明性实施例的叠加计量系统。在一个说明性实施例中，所述叠加计量系统可包含包括经配置以执行程序指令的一或多个处理器的控制器，所述程序指令引起所述一或多个处理器执行计量配方。在另一说明性实施例中，所述计量配方可包含从一或多个检测器接收来自样本(例如，晶片)的叠加目标的检测信号及基于所述检测信号确定所述叠加目标的一或多个叠加测量。在另一说明性实施例中，所述叠加目标可包含在所述样本的单元的两个或更多个层上的多层结构。在另一说明性实施例中，所述多层结构可包含每一层中的结构，所述结构在一或多个周期性方向上具有一或多个节距。在
2、应了解，前述一般描述及以下“具体实施方式”两者仅为示范性及说明性，且不一定限制如所主张的本专利技术。并入于本说明书中且构成本说明书的部分的附图说明本专利技术的实施例且连同一般描述一起用来说明本专利技术的原理。
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1.一种叠加计量系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述样本的所述扫描包括一或多个扫描方向上的一或多次扫描，其中所述一或多个扫描方向包括所述第一方向及所述第二方向。
3.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述样本的所述扫描包括一或多个扫描方向上的一或多次扫描，其中所述一或多个扫描方向包括不同于所述第一方向及所述第二方向两者的第三方向。
4.根据权利要求3所述的叠加计量系统，其中所述检测信号包括对应于所述第一方向上的衍射级的第一检测信号，以及对应于所述第二方向上的衍射级的第二检测信号。
5.根据权利要求4所述的叠加计量系统，其中所述一或多个叠加测量的所述确定包括：
6.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个检测器包括定位于光瞳平面中的至少一个检测器。
7.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个检测器包括至少一个二极管阵列传感器。
8.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述照明光束的照明光瞳平面分布是圆形的。
9.根据权利要求1所述的叠
10.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述检测信号包含与来自所述多层结构的一级衍射与零级衍射之间的重叠相关联的时变干扰信号。
11.根据权利要求1所述的叠加计量系统，所述照明子系统进一步包括经配置以产生外部光束作为所述照明光束的部分的光束分离器，其中所述检测信号包含与来自所述多层结构的一级衍射与所述外部光束之间的重叠相关联的时变干扰信号。
12.一种叠加计量系统，其包括：
13.根据权利要求12所述的叠加计量系统，其中所述控制器进一步经配置以通过沿着一或多个扫描方向扫描所述样本而执行所述计量配方，其中所述一或多个扫描方向包括所述第一方向及所述第二方向。
14.根据权利要求12所述的叠加计量系统，其中所述控制器进一步经配置以通过沿着一或多个扫描方向扫描所述样本而执行所述计量配方，其中所述一或多个扫描方向包括不同于所述第一方向及所述第二方向两者的第三方向。
15.根据权利要求12所述的叠加计量系统，其中所述一或多个检测器包括定位于光瞳平面中的至少一个检测器。
16.根据权利要求12所述的叠加计量系统，其中所述一或多个检测器包括至少一个二极管阵列传感器。
17.一种叠加计量目标，其包括：
18.根据权利要求17所述的叠加计量目标，其中所述多层结构包括：
19.根据权利要求17所述的叠加计量目标，其中所述多层结构包括：
20.根据权利要求19所述的叠加计量目标，其中所述多层结构包括：
21.根据权利要求20所述的叠加计量目标，其中所述多层结构经配置以沿着第三方向扫描，其中所述第三方向不同于所述第一方向及所述第二方向。
22.根据权利要求21所述的叠加计量目标，其中所述多层结构沿着所述第三方向具有扫描长度，所述扫描长度大于所述多层结构的宽度，其中正交于所述第三方向测量所述宽度。
23.根据权利要求17所述的叠加计量目标，其中所述多层结构经配置以沿着第三方向扫描，其中所述第三方向不同于所述第一方向及所述第二方向，其中所述第三方向与所述第一方向及所述第二方向相距45度，相差不超过10度。
24.根据权利要求17所述的叠加计量目标，其中所述多层结构进一步包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种叠加计量系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述样本的所述扫描包括一或多个扫描方向上的一或多次扫描，其中所述一或多个扫描方向包括所述第一方向及所述第二方向。
3.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述样本的所述扫描包括一或多个扫描方向上的一或多次扫描，其中所述一或多个扫描方向包括不同于所述第一方向及所述第二方向两者的第三方向。
4.根据权利要求3所述的叠加计量系统，其中所述检测信号包括对应于所述第一方向上的衍射级的第一检测信号，以及对应于所述第二方向上的衍射级的第二检测信号。
5.根据权利要求4所述的叠加计量系统，其中所述一或多个叠加测量的所述确定包括：
6.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个检测器包括定位于光瞳平面中的至少一个检测器。
7.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个检测器包括至少一个二极管阵列传感器。
8.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述照明光束的照明光瞳平面分布是圆形的。
9.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述照明光束的照明光瞳平面分布是环形的。
10.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述检测信号包含与来自所述多层结构的一级衍射与零级衍射之间的重叠相关联的时变干扰信号。
11.根据权利要求1所述的叠加计量系统，所述照明子系统进一步包括经配置以产生外部光束作为所述照明光束的部分的光束分离器，其中所述检测信号包含与来自所述多层结构的一级衍射与所述外部光束之间的重叠相关联的时变干扰信号。
12.一种叠加计量系统，其包括：
13.根据权利要求12所...
【专利技术属性】
技术研发人员：Y·卢巴舍夫斯基，I·戈多尔，D·内格里，E·哈贾，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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