【技术实现步骤摘要】
本技术涉及籽晶清洗,尤其是涉及一种籽晶立式清洗工装。
技术介绍
1、我司在单晶硅棒拉制过程中,会使用籽晶进行引放,籽晶是非常关键的辅料。籽晶掏制后需进行抛光、酸洗后才能使用。酸洗是籽晶最后一道工序,酸洗会对籽晶掏制、抛光过程中产生的金属和氧化层进行腐蚀,保证了纯度,避免杂质进入拉晶环节(单晶硅棒拉制过程)。
2、当前酸洗籽晶时,会向耐酸碱料槽内加入一定比例且适量的氢氟酸与硝酸,再在耐酸碱料槽内以卧躺或平放的方式一次放置12根待酸洗的籽晶,浸泡约8-10min,浸泡过程中需要不断使用耐酸碱镊子对籽晶进行翻转,直至清洗完毕。
3、但目前籽晶酸洗的过程存在以下缺陷:
4、1、卧躺或平放的籽晶在酸洗时,相互之间易发生碰撞、破损、隐裂。
5、2、操作人员对籽晶进行翻转时,无法保证每个面均被腐蚀或腐蚀的程度不一(籽晶未完全被酸液浸没,或者,籽晶与料盒底部大面积接触),进而导致籽晶锥度面各处锥度不一致。
技术实现思路
1、针对上述情况,本技术提供一种籽晶立式清洗工装,旨在解决籽晶酸洗过程中碰撞破损、腐蚀的程度不一的问题。。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
3、本技术提供一种籽晶立式清洗工装,其包括:
4、清洗容器;
5、用于放置籽晶的支架,能够自由进出所述清洗容器,并能够在所述清洗容器中旋转;
6、所述支架包括:
7、底座,用于支撑籽晶;
8、立柱,一
9、限位板,位于所述底座的上方并连接于所述立柱;所述限位板上分布有多个与籽晶相匹配的限位孔。
10、在本技术的一些实施例中,所述限位孔的数量大于或等于16个。
11、在本技术的一些实施例中,至少两个所述限位板沿所述立柱的轴向间隔设置。
12、在本技术的一些实施例中,还包括容器盖;所述立柱能够贯穿所述容器盖。
13、在本技术的一些实施例中,所述立柱连接有旋转手柄。
14、在本技术的一些实施例中,所述清洗容器呈桶状。
15、在本技术的一些实施例中,所述底座上设置有支撑柱,所述支撑柱的顶部用于与籽晶的底端接触。
16、在本技术的一些实施例中,所述底座上开设有定位孔,所述支撑柱与所述定位孔过盈配合。
17、在本技术的一些实施例中,所述支撑柱的上部侧壁上具有防脱凸块。
18、在本技术的一些实施例中,所述支撑柱的顶部呈锥形或圆台状。
19、本技术实施例至少具有如下优点或有益效果:
20、一、通过限位板和限位孔能够对籽晶起到支撑、分隔和保护的作用,避免籽晶相互之间发生碰撞、破损、隐裂。
21、二、支架可在清洗容器内旋转,使籽晶和酸液均产生移动、晃动,有利于使籽晶各部位均与酸液接触,籽晶各个面酸洗腐蚀的程度一致,从而避免籽晶因锥度不均匀造成与引晶过程所使用夹头(用于带动籽晶升降)之间出现卡顿的情况(装配问题)。
22、三、支架不仅能够在酸洗过程中放置籽晶,还能在酸洗后的清洗、风干、检查等过程中放置、转运籽晶。
23、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得明显,或者通过实施本技术而了解。
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1.一种籽晶立式清洗工装,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述限位孔的数量大于或等于16个。
3.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,至少两个所述限位板沿所述立柱的轴向间隔设置。
4.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,还包括容器盖;所述立柱能够贯穿所述容器盖。
5.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述立柱连接有旋转手柄。
6.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述清洗容器呈桶状。
7.根据权利要求1~6任一项所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述底座上设置有支撑柱,所述支撑柱的顶部用于与籽晶的底端接触。
8.根据权利要求7所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述底座上开设有定位孔,所述支撑柱与所述定位孔过盈配合。
9.根据权利要求8所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述支撑柱的上部侧壁上具有防脱凸块。
10.根据权利要求7所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述支撑
...【技术特征摘要】
1.一种籽晶立式清洗工装,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述限位孔的数量大于或等于16个。
3.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,至少两个所述限位板沿所述立柱的轴向间隔设置。
4.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,还包括容器盖;所述立柱能够贯穿所述容器盖。
5.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗工装,其特征在于,所述立柱连接有旋转手柄。
6.根据权利要求1所述的籽晶立式清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员:祝中良,袁中华,张军,马自成,黄仕建,刘一林,余忠琴,李东梅,王煜臻,唐驰,田志谋,姜欧洋,龚星,周华军,朱守琴,代琴,谢庆,
申请(专利权)人:四川永祥光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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