【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，特别涉及一种弹性波装置。
技术介绍
1、弹性波器件具有成本低、体积小和功能多等特点，在雷达、通信、导航等领域获得了广泛的应用。手机和基站通信中最常用的弹性波器件有弹性波谐振器、由多个弹性波谐振器组合而成的弹性波滤波器以及由多个弹性波滤波器组合而成的弹性波双工器和弹性波多工器。在任何类型的弹性波器件中，都在压电多层衬底上设置导电材料薄膜图形，以确定若干个叉指换能器电极和反射器电极，并且都利用叉指换能器电极的电信号转换成弹性波的转换功能的频率特性来获得带通特性。
2、移动通信系统正在从3g、4g向5g发展，使用频带则向3ghz以上的频带移动。传统的声表面波装置受制于材料本身的限制，q值和耦合系数较低，不能充分满足移动通讯对器件高性能的要求。基于钽酸锂/铌酸锂压电薄膜的复合多层结构的声表面波装置集低插损、低温漂、大带宽、大功率等优点而备受关注。
3、然而，基于压电薄膜的复合多层结构也会引起诸多寄生杂波问题，例如主模附近的杂波响应，这将恶化滤波器的带内波动，也会引起双工器或射频模块之间的模式串扰，极大地影响通信装置的性能。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种弹性波装置，以解决上述现有技术存在的问题。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案为：
3、第一方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括：
4、高声速构件；
5、钪掺杂的氮化铝层，其设置于所述高声速构件上；
6、压电层，其设置于所述
7、叉指换能器电极，其设置于所述压电层上；以及
8、反射器电极，其设置于所述压电层上，其位于所述叉指换能器电极的两侧；
9、其中，所述钪掺杂的氮化铝层的掺钪比例为15％-40％。
10、在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极和所述反射器电极的材料由铝、铜、铂、钨、金、银、钼、钽中的一种或多种组成。
11、在一种可能的实现方式中，所述高声速构件包括：
12、支承基板，其用于对所述钪掺杂的氮化铝层进行支承；或
13、支承基板、以及设置于所述支承基板与所述钪掺杂的氮化铝层之间的俘获材料层，所述俘获材料层用于对所述钪掺杂的氮化铝层进行支承。
14、在一种可能的实现方式中，所述俘获材料层由非晶硅、多晶硅、非晶锗、多晶锗中的一种或多种组合形成。
15、在一种可能的实现方式中，所述高声速构件和所述钪掺杂的氮化铝层之间还具有低声速层。
16、在一种可能的实现方式中，在所述低声速层中传播的体波的声速比在所述压电层中传播的体波的声速低；在所述高声速构件中传播的体波的声速比在所述压电层中传播的体波的声速高。
17、在一种可能的实现方式中，所述低声速层由二氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽，或者在二氧化硅中添加了以氟、碳、或硼的化合物为主成分的材料中的相对低声速材料的一种或多种组合构成。
18、第二方面，本申请提供了一种滤波器装置，具备：
19、串联臂谐振器；以及
20、并联臂谐振器；
21、其中，所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个谐振器是如上所述的弹性波装置。
22、第三方面，本申请提供了一种多工器，具备：
23、天线端子，其与天线连接；以及
24、多个滤波器装置，其公共连接于所述天线端子；
25、其中，至少一个所述滤波器装置是如上所述的滤波器装置。
26、本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
27、本申请通过在高声速构件上设置钪掺杂的氮化铝层，在钪掺杂的氮化铝层上设置压电层，在压电层上设置叉指换能器电极和反射器电极，反射器电极位于叉指换能器电极的两侧，其中，钪掺杂的氮化铝层的掺钪比例为15％-40％。在此情况下，能够解决现有技术中基于钽酸锂/铌酸锂压电薄膜的复合多层结构的弹性波装置的主模附近的杂波响应、恶化滤波器的带内波动、引起双工器或射频模块之间的模式串扰的问题，可以提高通信装置的整体性能。
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1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述高声速构件包括：
4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的弹性波装置，其特征在于，所述低声速层由二氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽，或者在二氧化硅中添加了以氟、碳、或硼的化合物为主成分的材料中的相对低声速材料的一种或多种组合构成。
8.一种滤波器装置，具备：
9.一种多工器，具备：
【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述高声速构件包括：
4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞振一，傅肃磊，张莉，王绍安，刘平，
申请(专利权)人：无锡市好达电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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