【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体材料及光电器件测试，尤其涉及一种用于el测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置。
技术介绍
1、led 照明产品正快速实现对传统照明产品的替代，市场规模不断扩大。为提高能效、保护环境、应对全球气候变化，作为新型高效节能照明产品，led 照明产品是世界各国节能照明重点推广产品，世界各国已陆续明确了淘汰白炽灯的时间表。
2、目前中国已成为全球最大的led照明产地，其led照明市场规模不断扩大。2019年，中国led照明市场规模达到6823亿元，led照明产品渗透率达到76%。led照明技术不断创新，产品成本不断下降是其取得成功的重要原因。而这其中，测试技术的不断进步和创新是降低成本的重要一环。
3、在led外延片生产过程中，对产品性能进行判定及监控是量产过程的必要手段。但是目前的技术有以下缺陷：（1）接触不稳定：在电致发光检测中，使用微型电学探针分别接触led外延片的两个电极并注入电流，以记录led芯片的电学性能和发光性能。然而，由于led外延片本身存在翘曲问题，且探针与外延片电极为硬接触，导致接触不稳定。这可能会影响测试数据的准确性。（2）损伤风险：在进行电致发光检测时，需要在led外延片正面破坏后才能做n电极或侧面单个硬接触的n电极，因各类led外延片厚度差异较大，此方法损伤风险和接触问题更加明显。
4、由于目前led外延片测试el点测时，因为p/n电极接触不稳定导致测试结果波动大，进而影响外延片性能监控的判断，当下el测试只能作为外延片性能监控的一个参考，并不能作为标准。
5、然而，这种技术有着不可避免的缺点：通过快测回带赋以外延片电性等级：1、导致产品在制周期长(需要3天时间等快测数据作为性能的标准)；2、如果外延片性能出现异常，若是3天后才发现会出现此3天内生产的产品均出现异常，造成巨大损失；3、回带机制并不能真实呈现每片外延片的电性等级，会出现误判的情况；4、传统外延片电性能的方法测试结果波动大，进而影响外延片性能监控的判断。
6、为了解决接触不稳定和损伤问题，研究人员提出了一些方法，例如使用透明导电膜覆盖待测led芯片，或者采用无接触型检测技术，如光致发光检测。这些方法可以减少对led芯片的物理接触，从而降低损伤风险。
技术实现思路
1、针对
技术介绍
中的提及的问题，本技术提出一种用于el测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置，取代快测回带流程，解决在制周期长、异常发现不及时、回带机制误判外延片电性等级等问题；同时，减少对led芯片的物理接触，降低损伤风险。
2、本技术采用的技术方案如下：
3、一种用于el测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置，包括电流源、与所述电流源连接的p极测试探针和n极测试电极；
4、所述p极测试探针为可伸缩式p极测试探针，包括壳体，壳体内安装有导电弹簧，所述弹簧一端固定在所述壳体顶端并通过导线连接电流源，另一端连接p极测试电极，所述p极测试电极连接待测外延片的一端为导电材料制成的平面，所述p极测试电极通过马达控制移动直接接触待测外延片表面；此设计可以有效避免因外延片在室温下有翘曲，导致测试时下针深度不好掌控，p电极接触不稳定的问题；
5、所述n极测试电极为柔性导电材质制成的环形n极测试电极，所述环形n极测试电极包覆在外延片侧壁裸露的n层上并通过导线连接电流源；此设计可以使得n极测试电极能紧紧的与n层接触，避免因n极接触不稳定导致的测试结果波动。
6、所述导电材料包括银、铜、金、铝、铟锡合金等；
7、所述柔性导电材质包括导电聚合物：例如包括聚对苯二甲酸乙二醇酯（pet）、聚二甲基硅氧烷（pdms）、聚氨酯（pu）等在内的聚合物基体与包括石墨烯、碳纳米管、金属纳米线等在内的纳米导电材料形成柔性的导电材料；导电橡胶：例如导电硅胶，具有良好的柔韧性和导电性能；导电纤维织物：纺织品中添加导电纤维，使其具备导电功能。
8、所述环形n极测试电极为一整片包覆在外延片侧壁裸露的n层上电极或多片环形均匀设置在外延片侧壁裸露的n层上电极。
9、上述用于el测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置的测试方法，包括以下步骤：
10、（1）将外延片置于基座上；
11、（2）将所述可伸缩式p极测试探针的p极测试电极置于外延片表面并通过导线连接电流源，将所述环形n极测试电极包覆在外延片侧壁裸露的n层上并通过导线连接电流源；
12、（3）设置好针压参数，进行电性参数测试。
13、通过以上方法测试的el结果稳定、可靠，经过验证可作为判定外延片性能的标准，可以取消快测流程，缩短在制周期，避免异常发现不及时，并可准确赋以每片外延片电性等级。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于EL测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置，其特征在于，包括电流源、与所述电流源连接的P极测试探针和N极测试电极；
2.根据权利要求1所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述导电材料包括银、铜、金、铝、铟锡合金。
3.根据权利要求1所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述柔性导电材质包括导电聚合物、导电橡胶、导电纤维织物。
4.根据权利要求3所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述导电聚合物为包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷、聚氨酯在内的聚合物基体与包括石墨烯、碳纳米管、金属纳米线在内的纳米导电材料形成柔性的导电材料。
5.根据权利要求3所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述导电橡胶包括导电硅胶。
6.根据权利要求3所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述导电纤维织物为添加导电纤维的纺织品。
7.根据权利要求1所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述环形N极测试电极为一整片包覆在外延片侧壁裸露的N层上电极或多片环形均匀设置在外延片侧壁裸露的N层上电极。
【技术特征摘要】
1.一种用于el测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置，其特征在于，包括电流源、与所述电流源连接的p极测试探针和n极测试电极；
2.根据权利要求1所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述导电材料包括银、铜、金、铝、铟锡合金。
3.根据权利要求1所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述柔性导电材质包括导电聚合物、导电橡胶、导电纤维织物。
4.根据权利要求3所述的外延片电性能测试装置，其特征在于，所述导电聚合物为包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚二甲基...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩，肖卫超，陶冠群，黎国昌，徐志军，江汉，
申请(专利权)人：聚灿光电科技宿迁有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。