【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片检测，特别是涉及一种图像采集装置、硅片检测设备和硅片检测方法。
技术介绍
1、在进行硅片生产时，由于分选机有概率存在漏检或分选时造成二次损伤，需要人工对分选好的整沓硅片进行二次复检，检查是否存在端面和四角崩边、硅落、脏污等缺陷，影响生产效率。因此，如何对整组硅片尽心检测，实现整机免人检具有重要的研究意义。
2、相关技术中公开了通过设置相机对位于检测工位的硅片进行拍照检测，然而，由于检测对象为硅片组，如何实现硅片信息的快速采集和检测成为亟待解决的难题。
3、针对相关技术中硅片检测效率低下的问题，尚未出现有效的解决方案。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对硅片检测效率低下的问题，提供一种图像采集装置、硅片检测设备和硅片检测方法。
2、第一方面，本公开实施方式提供一种图像采集装置，应用于硅片输送线，所述硅片检测装置包括：机架，所述硅片输送线沿硅片组的运输方向贯穿所述机架，所述硅片组包括沿竖直方向堆叠放置的若干硅片；
3、至少一个线扫检测单元，安装于所述机架，所述线扫检测单元的镜头拍摄方向平行于所述硅片组的运输平面，所述线扫检测单元用于沿竖直方向移动以采集所述硅片组的边沿图像。
4、本公开实施方式提供的图像采集装置，基于竖直方向移动的线扫检测单元对堆叠放置的整组硅片进行线扫图像采集，由于光伏行业内对整组硅片的检测通常为150片为一组的210mm硅片；相较于常规的面阵相机检测方案、水平线扫检测方案，本实施例采用竖
5、在其中的一个实施例中，所述机架包括升降组件和至少两组支撑组件；所述支撑组件分设于所述硅片输送线两侧；所述升降组件位于所述硅片输送线的上方并与所述硅片输送线两侧的所述支撑组件连接，所述升降组件用于装载所述线扫检测单元沿所述竖直方向移动。
6、在其中的一个实施例中，所述支撑组件包括至少两个支撑柱和至少一个连接柱；至少两个所述支撑柱的排布方向与所述硅片输送线的延伸方向平行，所述支撑柱的底端固定；所述连接柱的两端分别与所述支撑柱的顶端连接，所述连接柱的延伸方向与所述硅片输送线的延伸方向平行。
7、在其中的一个实施例中，所述机架还包括导向组件，所述导向组件包括若干导轨和滑动件；所述导轨设置于位于所述硅片输送线同侧的支撑柱的相对侧面，所述导轨沿竖直方向延伸；所述滑动件的一侧设置于所述升降组件，另一侧与所述导轨滑动连接，使所述升降组件移动时沿所述导轨的延伸方向上升或下降。
8、在其中的一个实施例中，所述升降组件包括驱动件和装载件；所述驱动件固定于所述支撑组件；所述装载件与所述驱动件连接，在所述驱动件的驱动下上升或下降。
9、在其中的一个实施例中，所述图像采集装置还包括倒角检测单元，所述倒角检测单元沿所述硅片组的对角线方向相对设置于所述升降组件。
10、在其中的一个实施例中，所述图像采集装置还包括到位检测单元，所述到位检测单元包括第一安装柱和识别件，所述第一安装柱的两端分别与分设于所述硅片输送线两侧的支撑组件连接，所述识别件固定于所述第一安装柱且所述识别件的拍摄方向与所述硅片输送线位于同一平面。
11、在其中的一个实施例中，所述图像采集装置还包括压合单元，所述压合单元包括顶升件、第二安装柱以及限位件；所述顶升件设置于所述硅片输送线之间的镂空部，所述顶升件的底端固定，顶端在所述顶升件处于伸展状态时穿过所述镂空部将所述硅片输送线上的所述硅片组顶起；所述第二安装柱的两端与分设于所述硅片输送线两侧的所述支撑组件连接；所述限位件与所述顶升件沿所述竖直方向相对设置于所述第二安装柱，用以配合所述顶升件夹紧所述硅片组。
12、第二方面，本实施例还提供了一种硅片检测设备，该硅片检测设备包括如上述第一方面任一实施例记载的图像采集装置，该硅片检测设备还包括：控制单元，用于控制图像采集装置获取硅片图像，并将所述硅片图像发送至图像识别单元；图像识别单元，用于获取硅片图像，并基于硅片图像进行进行缺陷检测。
13、第三方面，本实施例还提供了一种硅片检测方法，该硅片检测方法包括：到位检测单元获取硅片组的位置信息，顶升单元和压合单元基于所述位置信息压紧所述硅片组，倒角检测单元对压紧后的所述硅片组进行图像采集，得到倒角图像；线扫检测单元沿竖直方向移动，同时对压紧后的所述硅片组进行图像采集得到边沿图像；图像识别单元基于所述倒角图像和所述边沿图像进行硅片缺陷检测。
14、上述图像采集装置，通过采用竖直线扫的方式对堆叠放置的整组硅片进行硅片图像采集，在保证像素要求的基础上，缩小了图像的存储体积，有助于提升算法处理速度，减少工控机、cpu、显卡等硬件的处理压力，进而大幅提高生产线上的硅片组检测效率。
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1.一种图像采集装置，应用于硅片输送线，其特征在于，所述图像采集装置包括：
2.根据权利要求1所述的图像采集装置，其特征在于，所述机架包括升降组件和至少两组支撑组件；
3.根据权利要求2所述的图像材质装置，其特征在于，所述支撑组件包括至少两个支撑柱和至少一个连接柱；
4.根据权利要求3所述的图像采集装置，其特征在于，所述机架还包括导向组件，所述导向组件包括若干导轨和滑动件；
5.根据权利要求2所述的图像采集装置，其特征在于，所述升降组件包括驱动件和装载件；
6.根据权利要求2所述的图像采集装置，其特征在于，所述图像采集装置还包括倒角检测单元，所述倒角检测单元沿所述硅片组的对角线方向相对设置于所述升降组件。
7.根据权利要求2所述的图像采集装置，其特征在于，所述图像采集装置还包括到位检测单元，所述到位检测单元包括第一安装柱和识别件，所述第一安装柱的两端分别与分设于所述硅片输送线两侧的所述支撑组件连接，所述识别件固定于所述第一安装柱且所述识别件的拍摄方向与所述硅片输送线位于同一平面。
8.根据权利要求
9.一种硅片检测设备，其特征在于，所述硅片检测设备包括权利要求1至8任一项所述的图像采集装置，所述硅片检测设备还包括：
10.一种硅片检测方法，其特征在于，所述硅片检测方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种图像采集装置，应用于硅片输送线，其特征在于，所述图像采集装置包括：
2.根据权利要求1所述的图像采集装置，其特征在于，所述机架包括升降组件和至少两组支撑组件；
3.根据权利要求2所述的图像材质装置，其特征在于，所述支撑组件包括至少两个支撑柱和至少一个连接柱；
4.根据权利要求3所述的图像采集装置，其特征在于，所述机架还包括导向组件，所述导向组件包括若干导轨和滑动件；
5.根据权利要求2所述的图像采集装置，其特征在于，所述升降组件包括驱动件和装载件；
6.根据权利要求2所述的图像采集装置，其特征在于，所述图像采集装置还包括倒角检测单元，所述倒角检测单元沿所述硅片组的对角线方向相对设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢龙辉，吴霏霏，黄张楠，张夫明，胥宗朋，李贞周，高莺旗，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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