【技术实现步骤摘要】
本公开涉及x射线光电子能谱检测领域，特别涉及一种x射线光电子能谱的处理方法以及x射线光电子能谱系统。
技术介绍
1、x射线光电子能谱仪广泛应用于工业量测，在仪器参数设置相同的情况下，针对同一样品的不同次测量得到的光电子能谱会有差异，造成这种差异的主要原因，一是探测器接收到的光电子数服从泊松分布，二是电源等硬件的输出也存在不确定度。为了提升x射线光电子能谱仪运行的稳定性，通常有两种措施：一是提升x光的强度，但这会导致仪器寿命下降；二是延长采谱时间，但这会导致工作效率降低。
技术实现思路
1、本公开提供了一种x射线光电子能谱的处理方法，包括：
2、接收x射线光电子能谱数据；以及
3、通过有限冲激响应(fir)滤波器，对x射线光电子能谱数据进行滤波，以得到经滤波的x射线光电子能谱数据。
4、本公开还提供了一种x射线光电子能谱系统，包括：
5、x射线光电子能谱仪，用于采集x射线光电子能谱数据；以及
6、处理器，与x射线光电子能谱仪通信连接，处理器被配置成执行根据本公开任一项实施例中的x射线光电子能谱的处理方法，以对x射线光电子能谱仪所采集的x射线光电子能谱数据进行滤波，以得到经滤波的x射线光电子能谱数据。
7、本公开还提供了一种计算机设备，包括：
8、存储器，用于存储至少一条指令；以及
9、处理器，与存储器耦合并且用于执行至少一条指令以执行根据本公开任一项实施例中的x射线光电子能谱的处理方法。<...
【技术保护点】
1.一种X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述FIR滤波器包括N个滤波器系数，其中N是大于1的整数，
3.根据权利要求2所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述X射线光电子能谱数据包括M个数值，其中M是大于N的整数，
4.根据权利要求3所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述N个滤波器系数是基于所述FIR滤波器的截止频率和预定的阶数N确定的。
6.根据权利要求5所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述N个滤波器系数是基于所述FIR滤波器的截止频率和sinc函数确定的。
7.根据权利要求6所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述N个滤波器系数是基于所述FIR滤波器的截止频率和sinc函数和Blackman窗函数的乘积确定的。
8.根据权利要求5所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述FIR滤波器的截止频率是基
9.根据权利要求8所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述FIR滤波器的截止频率是基于经滤波的X射线光电子能谱面积的相对标准偏差与X射线光电子能谱面积的相对标准偏差之差以及模拟标准差确定的。
10.根据权利要求9所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述模拟标准差是基于由所述先前X射线光电子能谱数据生成的多组模拟X射线光电子能谱数据的X射线光电子能谱面积的相对标准偏差确定的。
11.根据权利要求10所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，每组模拟X射线光电子能谱数据的X射线光电子能谱面积的相对标准偏差是基于每组模拟X射线光电子能谱数据中的每个模拟X射线光电子能谱数据的X射线光电子能谱面积确定的。
12.根据权利要求10所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述多组模拟X射线光电子能谱数据是通过将所述先前X射线光电子能谱数据中的任意一个计数谱按泊松分布生成多个模拟X射线光电子能谱数据并且将所述多个模拟X射线光电子能谱平均分组而产生的。
13.根据权利要求12所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述每个模拟X射线光电子能谱数据的X射线光电子能谱面积是在对所述每个模拟X射线光电子能谱数据进行能谱背景的扣除后计算得到的。
14.根据权利要求13所述的X射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述能谱背景包括基于多项式拟合的能谱背景，所述X射线光电子能谱面积是基于通过高斯函数与洛伦茨函数的和函数确定的多个能谱参数而计算得到的。
15.一种X射线光电子能谱系统，其特征在于，包括：
16.一种计算机设备，其特征在于，所述计算机设备包括：
17.一种计算机可读存储介质，用于存储至少一条指令，其特征在于，所述至少一条指令由计算机设备执行时致使计算机执行根据权利要求1-14中任一项所述的X射线光电子能谱的处理方法。
...【技术特征摘要】
1.一种x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述fir滤波器包括n个滤波器系数，其中n是大于1的整数，
3.根据权利要求2所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述x射线光电子能谱数据包括m个数值，其中m是大于n的整数，
4.根据权利要求3所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述n个滤波器系数是基于所述fir滤波器的截止频率和预定的阶数n确定的。
6.根据权利要求5所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述n个滤波器系数是基于所述fir滤波器的截止频率和sinc函数确定的。
7.根据权利要求6所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述n个滤波器系数是基于所述fir滤波器的截止频率和sinc函数和blackman窗函数的乘积确定的。
8.根据权利要求5所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述fir滤波器的截止频率是基于先前x射线光电子能谱数据预先确定的。
9.根据权利要求8所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述fir滤波器的截止频率是基于经滤波的x射线光电子能谱面积的相对标准偏差与x射线光电子能谱面积的相对标准偏差之差以及模拟标准差确定的。
10.根据权利要求9所述的x射线光电子能谱的处理方法，其特征在于，所述模拟标准差是基于由所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李鑫，胡鹏，赵嘉峰，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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